Ultrasonic assistent lapping fot the manufacture of complex and high surface quality microstructures on brittle materials

这是一项非常明智的计划和程序分析，并将从美国的Mikroläppens im Hinblick auf den in spröden Werkzeugverschlei und die Oberflächung beder Fertigung be der Fertigung von Mikrostrukturen in spröden Werkstoffen Silizium，Glas und Keramik von Mikrostrukturen in spröden Werkstoffen Silizium，Glas und Keramik；他说：“这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。这句话的意思是：“这是一种普遍存在的机制和一种有效的化学方法。这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。这是一种新的形式和形式，是一种新的形式。

Die wissenschaftlichen Ziele dieses Projekts sind die Prozessanalyse und -bewertung sowie die Verfahrensverbesserung des ultraschall-unterstützten (US) Mikroläppens im Hinblick auf den werkstoffspezifischen Abtragsmechanismus, den Werkzeugverschleiß und die Oberflächenqualität bzw. -schädigung bei der Fertigung von Mikrostrukturen in spröden Werkstoffen wie Silizium, Glas und Keramik. Für die Verschleißreduzierung sollen diamantbeschichtete Mikrowerkzeuge entwickelt und die Prozessstabilität durch eine kontinuierliche emissionsschall-basierte Prozesssteuerung verbessert werden. Zur Verbesserung der Oberflächenqualität ist die Verfeinerung des Abtragsmechanismuses und der Einsatz chemischer Effekte vorgesehen. Das verbesserte Verfahren wird dann für die Fertigung verschiedener Mikrostrukturen eingesetzt, um die Möglichkeiten und Grenzen des US-Mikroläppens für die Erzeugung von 2D- und 3D-Strukturen zu bestimmen. Die Untersuchungsergebnisse werden die notwendigen Kenntnisse und das Verständnis für das angestrebte US-Mikroläppverfahren bereitstellen sowie ein leistungsgesteigertes Prototypenwerkzeug für vielseitige Anwendungen.