Strukturbildung und Stickstoffeinbau in Oxidnitriden

反应性直流-磁控-溅射技术的研究与应用。Dabei fhrt der Einbau selbst von kleinen Konzentrationen von Stickstoff in das oxiditter zu berraschendgrosten Eigenschaftsveränderungen and einer klaren Abnahme der bandlcke and einer deutlichen Zunahme der kristallinen Struktur soverde Brechungsindexes。[4][0][0][0][0][0][0][0][0]。大贝斯特尔斯特拉斯特拉斯，达斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉斯特拉尔。氧化氮化物的化学成分与化学成分的关系。模具黏着度和动力学参数können在einem von von enwickelten模型中，动力学参数和动力学参数在einem von von enwickelten模型中，动力学参数和动力学参数在einem von von enwickelten模型中的积分和动力学参数在einem von von enwickelten模型中的积分和动力学参数在einem von von enwickelten模型中的积分。过敏症是一种常见的过敏症。该项目销售了父亲的模具原子力学的粘滞特性aufklären和自己的模具相关的Fitgrößen实验告诉我们最好的。朱德姆出售了一种新型的粘性材料，这种材料被称为“粘性材料”。[3][大苏].实验研究<s:1>细胞动力学与生物动力学。]

Das reaktive DC-Magnetron-Sputtern erlaubt die gezielte Substitution von Sauerstoffanionen durch Stickstoffionen bei niedrigen Substrattemperaturen. Dabei führt der Einbau selbst von kleinen Konzentrationen von Stickstoff in das Oxidgitter zu überraschend großen Eigenschaftsveränderungen wie einer klaren Abnahme der Bandlücke und einer deutlichen Zunahme der kristallinen Struktur sowie des Brechungsindexes. Daher haben wir zunächst geklärt, warum der Einbau von Stickstoff in die Oxide schwierig ist. Dabei stellt sich heraus, dass die Schichten sogar mehr Stickstoff enthalten, als die Thermodynamik voraussagt. Offensichtlich spielt die Wachstumskinetik bei der Bildung von Oxidnitriden eine entscheidende Rolle. Die Stickstoffkonzentration und andere wichtige Parameter können in einem von uns entwickelten Modell beschrieben werden, das sowohl energetische als auch kinetische Aspekte integriert und so das Wachstum der Schichten durch einige wenige freie Parameter simuliert. Allerdings ist die Benutzung freier Fitparameter unbefriedigend. Das Projekt soll daher die atomaren Mechanismen des Stickstoffeinbaus aufklären und mithelfen die relevanten Fitgrößen experimentell zu bestimmen. Zudem soll der Einfluss der Stickstoffatome auf die Strukturbildung identifiziert werden. Dazu sollen Experimente durchgeführt werden, die ein mikroskopisches Bild von Schichtzusammensetzung und Strukturbildung liefern.