Grundlagenuntersuchung zur Wirkungsweise von Einflüssen auf das Messergebnis in der Mikro- und Nanoprüftechnik (Weiterförderung des Projekts "Modellierung für die praxisgerechte Messunsicherheitsermittlung in der Mikro- und Nanoprüftechnik")
Grundlagenuntersuchung zur Wirkungsweise von Einflüssen auf das Messergebnis in der Mikro- und Nanoprüftechnik (Weiterförderung des Projekts "Modellierung für die praxisgerechte Messunsicherheitsermittlung in der Mikro- und Nanoprüftechnik")
批准号:
5436121
负责人:
Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
金额:
$0.0万
依托单位国家:
德国
项目类别:
Priority Programmes
财政年份:
2004
资助国家:
德国
项目状态:
已结题
起止时间:
2003-12-31 至 2010-12-31
中文摘要
他说,这是一件不可能的事。《测量中不确定度的表示指南》、《MIT Allen wirkenden Einflüssen Modelliert》、《De Standardunsicheriten ermittelt and Daraus die erweiterte Messunsicheit Errechnet Werchnet》。从纳米技术的角度来看,这是一件非常重要的事情,因为这是一种新的技术。在此基础上,提出了一种新的解决方案,即从最大限度地降低成本,提高效率。拉曼系统中的索尔赫模块已完成,并提供了预算、标准和许可证。它是一种实践,是一种实践,是一种新的技术和技术。他说:“这是一件非常重要的事情。”
英文摘要
Die Messunsicherheitsangabe ist unverzichtbarer Teil eines vollständigen Messergebnisses. Zu ihrer Ermittlung muss, basierend auf GUM (engl.:Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement), die Auswertung des zugrunde gelegten Messprozesses mit allen wirkenden Einflüssen modelliert, die Standardunsicherheiten ermittelt und daraus die erweiterte Messunsicherheit errechnet werden. Gerade bei den Messprozessen der Mikro- und Nanotechnik fehlen Erkenntnisse, in welcher Art Einflüsse auf das Messergebnis wirken und zur Messunsicherheit beitragen. Ziel des Projektes ist das Gewinnen von Erkenntnissen zur Wirkungsweise von solchen Einflüssen bei der Erfassung von dimensionellen Messgrößen im Mikro- und Nanometerbereich, sowie das Definieren einer praxisgerechten, strukturierten, universellen Vorgehensweise für das Erstellen von Modulen zur Aufstellung des Modells der Auswertung unter einbeziehen vielfältiger messprozessspezifischer Einflüsse. Solche Module können in ein Rahmensystem eingebracht werden, welches das Unsicherheitsbudget, die kombinierte Standardunsicherheit, sowie die erweiterte Messunsicherheit ermittelt. Die gewonnenen Erkenntnisse, die Richtigkeit der Annahmen und die Tragfähigkeit der Ergebnisse werden an praktischen Anwendungen aus der optischen- und der Rastersondenmesstechnik demonstriert. Die Ergebnisdarstellung erfolgt dergestalt, dass darauf orts- und plattformunabhängig zugegriffen werden kann.
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Publikation zum Schwerpunktprogramm 1159: Neue Strategien der Mess- und Prüftechnik für die Produktion von Mikrosystemen und Nanostrukturen (StraMNano)
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批准号:200513871
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项目类别:Priority Programmes
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2011
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
Hochpräzise Erfassung stark gekrümmter Oberflächen durch neigungsabhängige dynamische Sensornachführung mittels rotatorischer Festkörpergelenke
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批准号:35614863
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2007
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
Fuzzy-Logik-gestützte Strategieplanung für die Statistische Versuchsmethodik
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批准号:5446295
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2005
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
Automatisierte Segmentierung, Registrierung und Fusion von Messpunktwolken zur Prüfung von Mikrobauteilen mit Standardgeometrie Elementen
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批准号:5436131
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项目类别:Priority Programmes
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2004
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
Methodology for integrated environmental and economic evaluation of products and processes with support of the fuzzy-set theory
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批准号:5352720
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:2002
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
Dreidimensionale optische Wanddickenmessung und Reißererkennung
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批准号:5182406
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:1999
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
Reduktion von Meßdaten aus optischen und taktilen Gestaltmessungen zur funktionsorientierten Auswertung von Standardformelementen
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批准号:5219462
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:1999
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
Integrated computerbased assistence system for coordinate Measurements
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批准号:5206008
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项目类别:Research Grants
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资助金额:$0.0万
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财政年份:1999
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负责人:Professor Dr.-Ing. Albert Weckenmann
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依托单位:
国内基金
海外基金
锌调蛋白Zur识别两类靶标DNA的结构基础
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批准号:31700052
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项目类别:青年科学基金项目
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资助金额:22.0万元
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批准年份:2017
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负责人:明振华
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依托单位: