Untersuchungen an leitfähigen Polymerkompositen zur Anwendbarkeit in Mikrobolometer-Arrays

Ziel des beantragten projects ist die Untersuchung von Polymeren als Widerstände <s:1>红外-(Mikro-)辐射热计-阵列，[j] z.B. Wärmebildgeräten安文栋发现。Die spezielle Nutzung fsr Bolometer erfordert， ass geeignete敏感Schichten einen großen temperature - effizizien des Widerstandes aufweises und Schichten herstellbar sind: Perkolative polymere Netzwerke vereinen dabei Die Vorteile einellbaren， hinreichendkleinen Leitfähigkeit （durch den fellstoff, z.B. aus Halbleitermaterial）。In dieser Weise besitzen sie ein großes电位，传统材料在halbleiter技术（无定形硅，钒）abzulösen， um preiswerte微热计-阵列在genauigkeiten和forderungen zu schaffen。在微热计-阵列特性分析中，研究了微热计-阵列特性分析和微热计阵列特性分析。hierf<s:1> soll vor allem der Halbleiter Tellur als leitfähiger fllstoff verwendet werden, der sowohl elektrisch gnstige Eigenschaften, der auch infach durch chemische reduction in verschiedenen Formen synthestisiert werden kann。Die Herstellung freitragender leitfähiger Schichten soltels Opferschicht- der Stempeltechnologien realisierwerden。研究方向：研究空间空间与空间空间的关系；研究空间空间与空间空间的关系；Der Aufbau von microbolometer test struckturen mit Der Bestimmung sämtlicher相关传感器参数stellt den Abschluss Der geplanten forschungsaren dar。

Ziel des beantragten Projekts ist die Untersuchung von Polymeren als Widerstände für Infrarot-(Mikro-)Bolometer-Arrays, wie sie z.B. in Wärmebildgeräten Anwendung finden. Die spezielle Nutzung für Bolometer erfordert, dass geeignete sensitive Schichten einen großen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes aufweisen und dass sie wegen der geforderten thermischen Isolation als freitragende dünne Schichten herstellbar sind: Perkolative polymere Netzwerke vereinen dabei die Vorteile einer einstellbaren, hinreichend kleinen Leitfähigkeit (durch das Polymer) und eines großen Temperaturkoeffizienten des Widerstandes (durch den Füllstoff, z.B. aus Halbleitermaterial). In dieser Weise besitzen sie ein großes Potenzial, traditionelle Materialien in der Halbleitertechnologie (amorphes Silizium, Vanadiumoxid) abzulösen, um preiswerte Mikrobolometer-Arrays mit allerdings geringeren Genauigkeitsanforderungen zu schaffen. Es sollen verschiedene perkolative polymere Netzwerke hergestellt werden, welche hinsichtlich der vorhandenen Leitungsmechanismen und der daraus resultierenden Eignung in Mikrobolometer-Arrays charakterisiert werden sollen. Hierfür soll vor allem der Halbleiter Tellur als leitfähiger Füllstoff verwendet werden, der sowohl elektrisch günstige Eigenschaften hat, als auch einfach durch chemische Reduktion in verschiedenen Formen synthetisiert werden kann. Die Herstellung freitragender leitfähiger Schichten soll mittels Opferschicht- oder Stempeltechnologien realisiert werden. Hierbei sollen insbesondere Verfahren angewendet werden, die hochparallele und kostengünstige Herstellungstechniken ermöglichen. Der Aufbau von Mikrobolometerteststrukturen mit der Bestimmung sämtlicher relevanter Sensorparameter stellt den Abschluss der geplanten Forschungsarbeiten dar.