Development of High-Resolution Energy Sensors for In-Situ Monitoring of Thin Film Manufacturing

开发用于薄膜制造现场监控的高分辨率能量传感器

基本信息

  • 批准号:
    9423141
  • 负责人:
  • 金额:
    --
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    美国
  • 项目类别:
    Standard Grant
  • 财政年份:
    1995
  • 资助国家:
    美国
  • 起止时间:
    1995-03-15 至 1998-08-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

ABSTRACT This work will monitor the deposition and growth of thin films onto a surface at the molecular level using a novel microcalorimeter to measure the energy release during deposition of the film. Besides the development of a diagnostic tool and the fundamental measurement of energy release during molecular-thickness thin-film deposition, the work may lead to a method for control of industrial thin-film deposition.
摘要本研究将利用一种新型的微量热计来测量薄膜沉积过程中的能量释放,从而在分子水平上监测薄膜在表面上的沉积和生长。除了开发诊断工具和分子厚度薄膜沉积过程中能量释放的基本测量外,这项工作还可能导致控制工业薄膜沉积的方法。

项目成果

期刊论文数量(0)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

Arunava Majumdar其他文献

Utilisation de polymeres specifiques a la sequence dans la detection chimique
在检测化学中序列中特定聚合物的利用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2005
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Arunava Majumdar;Mark O. Trulson
  • 通讯作者:
    Mark O. Trulson

Arunava Majumdar的其他文献

{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

{{ truncateString('Arunava Majumdar', 18)}}的其他基金

U.S.-Japan Seminar: Nanoscale Thermal Science and Engineering
美日研讨会:纳米热科学与工程
  • 批准号:
    0135632
  • 财政年份:
    2002
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
NIRT: Novel Energy Conversion Devices Based on Nanowire Heterostructures
NIRT:基于纳米线异质结构的新型能量转换器件
  • 批准号:
    0103609
  • 财政年份:
    2001
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
SGER: DNA-BASED NANOSTRUCTURE SELF-ASSEMBLY AND PATTERN REPLICATION
SGER:基于 DNA 的纳米结构自组装和图案复制
  • 批准号:
    0000539
  • 财政年份:
    2000
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
SGER: Surface and Sub-Surface Imaging at Nanometer Scales Using Picosecond Thermoacoustic Microscopy
SGER:使用皮秒热声显微镜进行纳米尺度的表面和次表面成像
  • 批准号:
    9910823
  • 财政年份:
    1999
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
U.S.-Japan Joint Seminar: Molecular and Microscale Thermophysical Phenomena in Nanotechnology
美日联合研讨会:纳米技术中的分子和微观热物理现象
  • 批准号:
    9815245
  • 财政年份:
    1999
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
Development of High-Resolution Energy Sensors for In-Situ Monitoring of Thin Film Manufacturing
开发用于薄膜制造现场监控的高分辨率能量传感器
  • 批准号:
    9896252
  • 财政年份:
    1998
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
Microscale Heat Transfer in Porous Silicon
多孔硅中的微尺度传热
  • 批准号:
    9615903
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Thermal Probing of Novel Devices, Nanostructures and Interfaces
新型器件、纳米结构和界面的热探测
  • 批准号:
    9796166
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Continuing Grant
NSF Young Investigator
NSF 青年研究员
  • 批准号:
    9796132
  • 财政年份:
    1997
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Continuing Grant
Thermal Probing of Novel Devices, Nanostructures and Interfaces
新型器件、纳米结构和界面的热探测
  • 批准号:
    9625812
  • 财政年份:
    1996
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Continuing grant

相似国自然基金

基于Resolution算法的交互时态逻辑自动验证机
  • 批准号:
    61303018
  • 批准年份:
    2013
  • 资助金额:
    22.0 万元
  • 项目类别:
    青年科学基金项目

相似海外基金

Development of Energy-Efficient High-Resolution Analog-to-Digital Data Converters for Power-Constrained Applications
开发适用于功率受限应用的节能高分辨率模数数据转换器
  • 批准号:
    RGPIN-2020-04679
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Development of a remote data collection system for high resolution waste heat energy mapping.
开发用于高分辨率废热能绘图的远程数据收集系统。
  • 批准号:
    573917-2022
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    University Undergraduate Student Research Awards
Development of scintillation detector with high energy resolution
高能量分辨率闪烁探测器的研制
  • 批准号:
    22K18997
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
High-resolution, Acquisition, Waveform, Kontinuous and Synchronous Big-data Instrument (HAWKSBI) device development for improving renewable energy and power grid efficiency
高分辨率、采集、波形、连续和同步大数据仪器 (HAWKSBI) 设备开发,用于提高可再生能源和电网效率
  • 批准号:
    10004690
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Collaborative R&D
Development of Energy-Efficient High-Resolution Analog-to-Digital Data Converters for Power-Constrained Applications
开发适用于功率受限应用的节能高分辨率模数数据转换器
  • 批准号:
    RGPIN-2020-04679
  • 财政年份:
    2021
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Development of Energy-Efficient High-Resolution Analog-to-Digital Data Converters for Power-Constrained Applications
开发适用于功率受限应用的节能高分辨率模数数据转换器
  • 批准号:
    RGPIN-2020-04679
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Discovery Grants Program - Individual
Development of image processing method to significantly improve the energy resolution of WDS-PIXE
开发图像处理方法显着提高WDS-PIXE的能量分辨率
  • 批准号:
    20K05385
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Fundamentals of Innovative Atomic Resolution Field Emission Microscope and Development of Low Energy Electron Microscope
创新原子分辨率场发射显微镜的基础知识和低能电子显微镜的发展
  • 批准号:
    18H01882
  • 财政年份:
    2018
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
Development of high-resolution interaction-energy-space decomposition analysis for next-generation in silico drug discovery
开发用于下一代计算机药物发现的高分辨率相互作用-能量-空间分解分析
  • 批准号:
    15K21632
  • 财政年份:
    2015
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
MRI: Development of a New Low Energy High Mass Resolution Beamline for the 11MV Tandem Accelerator
MRI:为 11MV 串联加速器开发新型低能量高质量分辨率光束线
  • 批准号:
    1337608
  • 财政年份:
    2013
  • 资助金额:
    --
  • 项目类别:
    Standard Grant
{{ showInfoDetail.title }}

作者:{{ showInfoDetail.author }}

知道了