Development of High-Resolution Energy Sensors for In-Situ Monitoring of Thin Film Manufacturing
开发用于薄膜制造现场监控的高分辨率能量传感器
基本信息
- 批准号:9423141
- 负责人:
- 金额:--
- 依托单位:
- 依托单位国家:美国
- 项目类别:Standard Grant
- 财政年份:1995
- 资助国家:美国
- 起止时间:1995-03-15 至 1998-08-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
ABSTRACT This work will monitor the deposition and growth of thin films onto a surface at the molecular level using a novel microcalorimeter to measure the energy release during deposition of the film. Besides the development of a diagnostic tool and the fundamental measurement of energy release during molecular-thickness thin-film deposition, the work may lead to a method for control of industrial thin-film deposition.
摘要本研究将利用一种新型的微量热计来测量薄膜沉积过程中的能量释放,从而在分子水平上监测薄膜在表面上的沉积和生长。除了开发诊断工具和分子厚度薄膜沉积过程中能量释放的基本测量外,这项工作还可能导致控制工业薄膜沉积的方法。
项目成果
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