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Development of High-Resolution Energy Sensors for In-Situ Monitoring of Thin Film Manufacturing

Development of High-Resolution Energy Sensors for In-Situ Monitoring of Thin Film Manufacturing
开发用于薄膜制造现场监控的高分辨率能量传感器
批准号：
9423141
负责人：
Arunava Majumdar
金额：
$0.0万
依托单位：
University of California-Santa Barbara
依托单位国家：
美国
项目类别：
Standard Grant
财政年份：
1995
资助国家：
美国
项目状态：
已结题
起止时间：
1995-03-15 至 1998-08-31
来源：
https://www.nsf.gov/awardsearch/showAward?AWD_ID=9423141&HistoricalAwards=false
关键词：
DevelopmentResolutionEnergySensorsSitu

项目摘要

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ABSTRACT This work will monitor the deposition and growth of thin films onto a surface at the molecular level using a novel microcalorimeter to measure the energy release during deposition of the film. Besides the development of a diagnostic tool and the fundamental measurement of energy release during molecular-thickness thin-film deposition, the work may lead to a method for control of industrial thin-film deposition.
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会议论文
U.S.-Japan Seminar: Nanoscale Thermal Science and Engineering
  • 批准号：
    0135632
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $1.7万
  • 财政年份：
    2002
  • 负责人：
    Arunava Majumdar
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
NIRT: Novel Energy Conversion Devices Based on Nanowire Heterostructures
  • 批准号：
    0103609
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $134.32万
  • 财政年份：
    2001
  • 负责人：
    Arunava Majumdar
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
SGER: DNA-BASED NANOSTRUCTURE SELF-ASSEMBLY AND PATTERN REPLICATION
  • 批准号：
    0000539
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $9.93万
  • 财政年份：
    2000
  • 负责人：
    Arunava Majumdar
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
SGER: Surface and Sub-Surface Imaging at Nanometer Scales Using Picosecond Thermoacoustic Microscopy
  • 批准号：
    9910823
  • 项目类别：
    Standard Grant
  • 资助金额：
    $8.41万
  • 财政年份：
    1999
  • 负责人：
    Arunava Majumdar
  • 依托单位：
    University of California-Berkeley
国内基金
海外基金
基于Resolution算法的交互时态逻辑自动验证机
  • 批准号：
    61303018
  • 项目类别：
    青年科学基金项目
  • 资助金额：
    22.0万元
  • 批准年份：
    2013
  • 负责人：
    章岚
  • 依托单位：
    首都经济贸易大学