Methodische Auslegung von berührungslosen Handhabungssystemen mittels Leistungsultraschall

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Berührungslose Handhabung mittels Leistungsultraschall ermöglicht die schonende Manipulation hochempfindlicher Bauteile, beispielsweise von ausgedünnten Wafern in der Halbleiter- und Solarzellenfertigung oder Glasscheiben für Flachbildschirme. Die physikalischen Grundlagen der Handhabungstechnologie sind soweit erforscht, jedoch fehlt es an einer grundlegenden Auslegungsmethode für den industriellen Einsatz eines berührungslosen Handhabungssystems mit Ultraschall. Die systematische Erarbeitung der Auslegungsmethode vereint dabei die Fachgebiete der Fluidund Strukturmechanik und der Steuer- und Regelungstechnik. Das Ziel des beantragten Vorhabens liegt in der Erarbeitung von Strategien zur Auslegung von frequenz-, leistungs- und prozessflexiblen Teilkomponenten, die zusammengesetzt optimal an die jeweilige Handhabungsaufgabe angepasst sind.