Methodische Auslegung von berührungslosen Handhabungssystemen mittels Leistungsultraschall

使用功率超声波的非接触式处理系统的系统设计

• 批准号: 185454863
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Gunther Reinhart
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Betriebswissenschaften und Montagetechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/185454863?language=en
• 关键词: Methodische; Auslegung; von; ber; hrungslosen

Berührungslose Handhabung mittels Leistungsultraschall ermöglicht die schonende Manipulation hochempfindlicher Bauteile, beispielsweise von ausgedünnten Wafern in der Halbleiter- und Solarzellenfertigung oder Glasscheiben für Flachbildschirme. Die physikalischen Grundlagen der Handhabungstechnologie sind soweit erforscht, jedoch fehlt es an einer grundlegenden Auslegungsmethode für den industriellen Einsatz eines berührungslosen Handhabungssystems mit Ultraschall. Die systematische Erarbeitung der Auslegungsmethode vereint dabei die Fachgebiete der Fluidund Strukturmechanik und der Steuer- und Regelungstechnik. Das Ziel des beantragten Vorhabens liegt in der Erarbeitung von Strategien zur Auslegung von frequenz-, leistungs- und prozessflexiblen Teilkomponenten, die zusammengesetzt optimal an die jeweilige Handhabungsaufgabe angepasst sind.

Berührungslose Handhabung mittels Leistungsultraschall ermöglicht die schonoughManipulation hochempfindlicher Bauteile，beispielsweise von ausgedünnten Wafern in der Halbleiter- und Solarzellenfertigung or der Glasscheiben für Flachbildschirme. Handhabungstechnologie的物理学基础是一项非常重要的研究，但它仍然是一种非常重要的方法，用于工业上使用超声波的便携式系统。该方法的系统性主要体现在流体力学、结构力学和控制与调节技术方面.这一系列的预处理设备主要是为了提高设备的频率、频率和处理灵活性，使其最佳化，并使其具有较好的便携性。