Methodische Auslegung von berührungslosen Handhabungssystemen mittels Leistungsultraschall

使用功率超声波的非接触式处理系统的系统设计

• 批准号: 185454863
• 负责人: Professor Dr.-Ing. Gunther Reinhart
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Betriebswissenschaften und Montagetechnik
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2010
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2009-12-31 至 2013-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/185454863?language=en
• 关键词: Methodische; Auslegung; von; ber; hrungslosen

Berührungslose Handhabung mittels Leistungsultraschall ermöglicht die schonende Manipulation hochempfindlicher Bauteile, beispielsweise von ausgedünnten Wafern in der Halbleiter- und Solarzellenfertigung oder Glasscheiben für Flachbildschirme. Die physikalischen Grundlagen der Handhabungstechnologie sind soweit erforscht, jedoch fehlt es an einer grundlegenden Auslegungsmethode für den industriellen Einsatz eines berührungslosen Handhabungssystems mit Ultraschall. Die systematische Erarbeitung der Auslegungsmethode vereint dabei die Fachgebiete der Fluidund Strukturmechanik und der Steuer- und Regelungstechnik. Das Ziel des beantragten Vorhabens liegt in der Erarbeitung von Strategien zur Auslegung von frequenz-, leistungs- und prozessflexiblen Teilkomponenten, die zusammengesetzt optimal an die jeweilige Handhabungsaufgabe angepasst sind.

操作过程中，操作过程中会出现操作不当的情况，例如将晶片放入光罩和太阳能电池中，或将其放置在玻璃上。出于研究目的，机械手技术的物理原理是一种与 Ultraschall 相结合的工业特殊机械手系统的基本原理方法。该方法是流体结构机械和控制技术的快速发展的系统化方法。 Das Ziel des beantragten Vorhabens liegt in der earbeitung von Strategien zur Auslegung von Teilkomponenten, die zusammengesetzt optimization and die jeweilige Handhabungsaufgabe angepasst sind.