Räumliche Winkelverteilung von gesputterten und rückgestreuten Atomen bei der Ionenbestrahlung unter streifenden Winkeln

Fokussierte Ionenstrahlen(聚焦离子束，FIB)被放置在Mikroelektronik zur lokalen Abtragung von Materien dch das Ionensputtern verwendet中。他说：“我不知道这是怎么回事。”从材料的角度来看，这是一件非常重要的事情。Einer Dieseser Effecte ist Des Gesputten Material Des Gesputten Material in Kombination MIT einer beonderen Beonderen Underen Form der Gesputten atome Des Gesputten atome.在Der Lage，dieörtliche AuflöSong der FIB-Strukturierung im Nanomterterberich adäquat zu bechreiben in der Lage，dieörtliche AuflöSong der FIB-Strukturierung im Nanomterterbereich adäquat zu bechreiben in der Lage，dieörtliche AuflöSong der FIB-Strukturierung vernachlässigen Diistierenden Modelle der FIB-Strukturierung vernachlässigen Diistierenden Modelle der FIB-Strukturierung vernachlässigen Diistierenden Model der FIB-Strukturierung本文从理论和实验两个方面对各向异性材料进行了实验和理论研究。在物理模型中的唯一一种是FIB-Strukturierung aufegellt和一个手工实验者Daten Verifiziert。

Fokussierte Ionenstrahlen (Focused Ion Beams, FIB) werden in der Mikroelektronik zur lokalen Abtragung von Materialien durch das Ionensputtern verwendet. Durch eine sehr feine Fokussierung von Ionenstrahlen können Halbleiterstrukturen mit kritischen Abmessungen im Nanometerbereich angefertigt werden. Die örtliche Auflösung der Materialstrukturierung mit fokussierten Ionenstrahlen wird durch mehrere physikalische Effekte beschränkt. Einer dieser Effekte ist die Redeposition des gesputterten Materials in Kombination mit einer besonderen anisotropen Form der Winkelverteilungen der gesputterten Atome. Die existierenden Modelle der FIB-Strukturierung vernachlässigen die Anisotropie der Winkelverteilungen und sind deshalb nicht in der Lage, die örtliche Auflösung der FIB-Strukturierung im Nanometerbereich adäquat zu beschreiben. In diesem Projekt sollen die anisotrope Winkelverteilungen der gesputterten Atome, die beim streifenden Ioneneinfall auftreten, experimentell und theoretisch untersucht werden. Es soll ein physikalisches Modell für die FIB-Strukturierung aufgestellt und anhand experimenteller Daten verifiziert werden.