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Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und kinetischen Eigenschaften von Gitterleerstellen in Silicium

硅晶格空位热力学和动力学性质的实验测定

基本信息

批准号：
16912745
负责人：
Professor Dr.-Ing. Heiner Ryssel
金额：
--
依托单位：
Abteilung Bauelemente
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2006
资助国家：
德国
起止时间：
2005-12-31 至 2010-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/16912745?language=en
关键词：
Experimentelle Bestimmung der thermodynamischen und

项目摘要

Transportprozesse in Silicium werden maßgeblich von den intrinsischen Punktdefekten, d.h. Gitterleerstellen und Eigenzwischengitteratome, beeinflusst. Gitterleerstellen dominieren dabei die Diffusion und Aktivierung von Dotieratomen wie Arsen und Antimon, die Diffusion und das Gettern von Metallatomen bei niedrigen Temperaturen, die Bildung von Defekten während der Kristallzucht und die Nukleation von Sauerstoffpräzipitaten. Die experimentelle Bestimmung ihrer Eigenschaften, speziell von Diffusionskoeffizient und Konzentration im thermodynamischen Gleichgewicht, ist deshalb seit Jahrzehnten ein erstrangiges Ziel der Forschung. Die aktuelle Schätzungen aus diversen Veröffentlichungen streuen jedoch bei einer bestimmten Temperatur um bis zu 10 Größenordnung und nur das Produkt der beiden Parameter ist experimentell gut bekannt. Der vorliegende Antrag bietet erstmals die Möglichkeit, die beiden Parameter unabhängig voneinander für Gitterleerstellen zu bestimmen. Die experimentelle Vorgangsweise beruht auf einem Kurzzeit-Ausheilprozess mit Prozesszeit im Millisekundenberich. Beim Aufheizen werden Gitterleerstellen an der Oberfläche thermisch generiert und diffundieren in die Siliciumprobe. Sobald die Probe wieder abgekühlt wird, bildet ein Teil dieser Gitterleerstellen Paare mit den in der Probe vorhandenen Phosphoratomen, deren Profil nach dem Abkühlen per Kapazitätstransientenspektroskopie gemessen werden kann. Aus diesem Profil ist es dann möglich, die gewünschten Parameter durch numerische Simulationen des Gesamtprozesses zu extrahieren.

转运蛋白在硅质合金中的应用。这就是我们要做的事。国家和地区的扩散和反扩散、金属和金属的扩散和扩散、水晶和核武器的扩散和扩散。从热力学的角度看，这是一种新的实验方法，它是一种新的实验方法。他说：“这是一件非常重要的事情，因为这是一件非常重要的事情。这是一种新的生活方式，也是一种新的生活方式。我要做的就是做实验，然后再做一些事情。在硅胶探头中，它是一种常见的和扩散的方法。Sobald Die Probe Wird，bildet ein teil Dieser Gitterleerstellen Paare MIT DIT DIT Der Probe Vor Handenen Phosoromen，Deren Profiler nach Dem Abkühlen per Kapazitätstransientspktroskopie geessen wann.在此基础上，设计了一种新的计算方法，用于计算模拟过程中的参数。