Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit EDX/EBSD-Analytik

“Der Schwerpunkt der Arbeitsgruppe liegt in der Materialentwicklung，basierend auf einem Verständnis der Zusammenhänge zwischen Herstellung，MikroStruktur und Eigenschaften.随着工人们的壮大，他们将在基础设施的基础上建立一个Rastektronenmikroskop。在1992年的时候，Mikroskop已经被淘汰了，但这并不是梅尔能够弥补的，因此，在最新技术标准的基础上，对Mikroskop进行了一次评估。纳米级微结构--纳米级微结构既能使材料变得韦尔登，又能使材料在纳米级微结构中形成初级颗粒，使材料在10 nm波长处形成颗粒，这是一种具有更高吸收率的快速眼动。我们使用EDX/EBSD（电子背散射衍射）系统测量REM。EDX-分析成分用于材料化学成分的分析; EBSD-检测仪用于材料定向的测定。Bei der Wahl des EBSD-Systems wird ein Gerät mit möglichst hoher Auflösung angestrebt.“

„Der Schwerpunkt der Arbeiten der Arbeitsgruppe liegt in der Materialentwicklung, basierend auf einem Verständnis der Zusammenhänge zwischen Herstellung, MikroStruktur und Eigenschaften. Aufgrund des großen Umfangs der anfallenden Arbeiten wird ein Rasterelektronenmikroskop im Rahmen der Grundausstattung benötigt. Das derzeit vorhandene Mikroskop, welches 1992 beschafft wurde, wird vermutlich schon sehr bald nicht mehr reparabel sein, so dass die Beschaffung eines Ersatzes für das vorhandene Gerät auf der Basis des heutigen Standes der Technik zwingend erforderlich ist. Da die Mikrostrukturmerkmale im Nanometer- bis Mikrometerbereich angesiedelt sind und zunehmend Materialien untersucht werden, deren Primärpartikelgröße im Nanometerbereich und deren Korngrößen in der Größenordnung von einigen 10 nm liegen, ist ein REM mit hoher Auflösung notwendig. Außerdem soll das REM mit einem kombinierten EDX/EBSD (Electron Backscattered Diffraction)-System ausgestattet sein. Die EDX-Analyse dient zur ortsaufgelösten Analyse der chemischen Zusammensetzung der Materialien; während der EBSD-Detektor die Bestimmung der Kornorientierungen erlaubt. Bei der Wahl des EBSD-Systems wird ein Gerät mit möglichst hoher Auflösung angestrebt.“