Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit EDX/EBSD-Analytik

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„Der Schwerpunkt der Arbeiten der Arbeitsgruppe liegt in der Materialentwicklung, basierend auf einem Verständnis der Zusammenhänge zwischen Herstellung, MikroStruktur und Eigenschaften. Aufgrund des großen Umfangs der anfallenden Arbeiten wird ein Rasterelektronenmikroskop im Rahmen der Grundausstattung benötigt. Das derzeit vorhandene Mikroskop, welches 1992 beschafft wurde, wird vermutlich schon sehr bald nicht mehr reparabel sein, so dass die Beschaffung eines Ersatzes für das vorhandene Gerät auf der Basis des heutigen Standes der Technik zwingend erforderlich ist. Da die Mikrostrukturmerkmale im Nanometer- bis Mikrometerbereich angesiedelt sind und zunehmend Materialien untersucht werden, deren Primärpartikelgröße im Nanometerbereich und deren Korngrößen in der Größenordnung von einigen 10 nm liegen, ist ein REM mit hoher Auflösung notwendig. Außerdem soll das REM mit einem kombinierten EDX/EBSD (Electron Backscattered Diffraction)-System ausgestattet sein. Die EDX-Analyse dient zur ortsaufgelösten Analyse der chemischen Zusammensetzung der Materialien; während der EBSD-Detektor die Bestimmung der Kornorientierungen erlaubt. Bei der Wahl des EBSD-Systems wird ein Gerät mit möglichst hoher Auflösung angestrebt.“