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Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Focused-Ion-Beam-System

具有集成聚焦离子束系统的场发射扫描电子显微镜

基本信息

批准号：
46895318
负责人：
金额：
--
依托单位：
Technische Universität Dresden
依托单位国家：
德国
项目类别：
Major Research Instrumentation
财政年份：
2007
资助国家：
德国
起止时间：
2006-12-31 至无数据
项目状态：
未结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/46895318?language=en
关键词：
Feldemissions Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Focused

项目摘要

„An der im Oktober 2004 neubesetzten Professur für Anorganisch-Nichtmetallische Werkstoffe an der TU Dresden befindet sich das Arbeitsgebiet „Kombinatorische Nano- und Mikroelektrochemie zur Charakterisierung und Präparation Anorganisch-Nichtmetallischer Werkstoffe im fortgeschrittenen Aufbau. Mittlerweile hat die Arbeitsgruppe über 10 aus Drittmitteln finanzierte Mitarbeiter. Die Arbeitsgruppe befasst sich mit der Präparation und elektrochemischen Charakterisierung von ultradünnen keramischen Schichten und Strukturen im Submikro- und Nanometerbereich. Ein weiteres Arbeitsfeld betrifft die Entwicklung von Dünnschichtmaterialien für die Mikroelektronik. Derzeit laufen Projekte im Bereich „high-k Materialentwicklung für DRAM Chip Speicherkondensatoren und Dünnschicht Hartmaskenentwicklung für das Ätzen von Si-Strukturen mit ultra-hohem Aspektverhältnis. Darüber hinaus wurde ein Transregio/SFB (39) Projekt zur Analyse und Präparation von Piezokeramiken eingeworben. Für eine vollständige Charakterisierung dieser Strukturen ist der Einsatz eines FESEM mit FIB-Präparationstechnik in der Ausführung als in-situ Kopplung essentiell, da ansonsten die genannten Projekte nicht bearbeitet werden können. Diese Technologie stellt die einzige Kombination aus Präparationstechnik und hochauflösendem REM dar, mit der es möglich ist, Strukturen von Keramiken und Keramikverbundwerkstoffen vom Mikro- bis in den Nanometerbereich zielgenau zu präparieren und zu charakterisieren.“

2004年10月，德累斯顿大学出版了《2004年德国金属工业协会和德累斯顿金属工业联合会》，这是一项新的技术和技术研究。米特尔韦尔的帽子是由米塔贝特公司提供的。这是一种特殊的电化学法制备和电化学法，在亚微克罗和纳米技术中得到应用。这是一件很重要的事情，因为这件事发生在德国。Derzeit Laufen Projekte im Bereich“High-k Materialentwickung für DRAM Chip Speicherkondenatoren and Dünschicht Hartmaskenentwickung für dasétzen von Si-Strukturen MIT Ultrahoem Aspecktverhältnis。Darüber hinaus wurde ein TransRegio/SFB(39)Projekt zur分析和制备von Piezokeramiken eingeworben.在这里，您可以在Ausführung Als in-Site Kopplung essentiell，da ansonsten die genannten Projekte nht beitet beitet den Kopplung essentiell，dansonstten die genannten in der Ausführung als in in-site Kopplung essentiell，da ansonsten die genannten Projekte niht behht beitet we den k‘nnen.从技术上来说，这是一种新的技术，它是一种新的技术，是一种新的技术。