Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit integriertem Focused-Ion-Beam-System

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„An der im Oktober 2004 neubesetzten Professur für Anorganisch-Nichtmetallische Werkstoffe an der TU Dresden befindet sich das Arbeitsgebiet „Kombinatorische Nano- und Mikroelektrochemie zur Charakterisierung und Präparation Anorganisch-Nichtmetallischer Werkstoffe im fortgeschrittenen Aufbau. Mittlerweile hat die Arbeitsgruppe über 10 aus Drittmitteln finanzierte Mitarbeiter. Die Arbeitsgruppe befasst sich mit der Präparation und elektrochemischen Charakterisierung von ultradünnen keramischen Schichten und Strukturen im Submikro- und Nanometerbereich. Ein weiteres Arbeitsfeld betrifft die Entwicklung von Dünnschichtmaterialien für die Mikroelektronik. Derzeit laufen Projekte im Bereich „high-k Materialentwicklung für DRAM Chip Speicherkondensatoren und Dünnschicht Hartmaskenentwicklung für das Ätzen von Si-Strukturen mit ultra-hohem Aspektverhältnis. Darüber hinaus wurde ein Transregio/SFB (39) Projekt zur Analyse und Präparation von Piezokeramiken eingeworben. Für eine vollständige Charakterisierung dieser Strukturen ist der Einsatz eines FESEM mit FIB-Präparationstechnik in der Ausführung als in-situ Kopplung essentiell, da ansonsten die genannten Projekte nicht bearbeitet werden können. Diese Technologie stellt die einzige Kombination aus Präparationstechnik und hochauflösendem REM dar, mit der es möglich ist, Strukturen von Keramiken und Keramikverbundwerkstoffen vom Mikro- bis in den Nanometerbereich zielgenau zu präparieren und zu charakterisieren.“