Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit energiedispersiver Röntgenspektroskopie

具有能量色散 X 射线光谱的场发射扫描电子显微镜

• 批准号: 323111803
• 金额: --
• 依托单位: Ruprecht-Karls-Universität Heidelberg
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2016
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2015-12-31 至 无数据
• 项目状态: 未结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/323111803?language=en
• 关键词: Feldemissions; Rasterelektronenmikroskop; mit; energiedispersiver; ntgenspektroskopie

Um den neuen wissenschaftlichen Schwerpunkt (Nanomaterialien, organische Halbleiter, Plasmonik) des Lehrstuhls und der kooperierenden Arbeitsgruppen (Sackes, Zharnikov, Dahint, Vaynzof etc.) zu verwirklichen ist ein modernes Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop (SEM) mit zusätzlicher energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDS) notwendig. Die angestrebten Proben umfassen in erster Linie weiche organische Materialien (z.B. halbleitende Polymere und Polymermischungen), Netzwerke von Kohlenstoffnanoröhrchen, plasmonische Antennen und zwei-dimensionale halbleitende Materialien (z.B. Graphen, Übergangsmetallchalkogenide, schwarzer Phosphor). An der Universität Heidelberg gibt es derzeit kein System, was die folgenden Anforderungen zur vollständigen Charakterisierung dieser Proben erfüllt: sehr hohe Ortsauflösung (<1.8 nm bei 1 kV, <1.4 nm bei 30 kV) bei geringem Strahlstrom und kleiner Strahlstromdichte (zur Vermeidung von Aufladungen nichtleitender Proben), große Probenkammer (bis 3 inch Wafer), Möglichkeit des Verkippens der Probe bzw. Probenhalter mit Winkel für die Abbildung von Querschnitten/Bruchstellen, Analyse der lokalen elementaren Probenzusammensetzung mittels EDS mit geringen Totzeiten. Das beantragte System erfüllt alle genannten Anforderungen und stellt das beste Verhältnis von Preis zu Leistung dar. Es erlaubt durch seine Bedienungsfreundlichkeit einen Betrieb mit vielen Nutzern und somit maximale Auslastung.

Um den neuen wissenschaftlichen Schwerpunkt（Nanomaterialialien，organische Halbleiter，Plasmonik）des Lehrstuhls und der kooperierenden Arbeitsgruppen（Sackes，Zharnikov，Dathint，Vaynzof etc.）zu vertenklichen ist ein modernes Feldemissions-Rastektronenmikroskop（SEM）mit zusätzlicher energiedisperver Röntgenspektroskopie（EDS）notwendig.第一种组织材料中的焦虑可能性（z.B. halbleitende Polymere und Polymermischungen），Netzwerke von Kohlenstoffnanoröhrchen，plasmonische plannen und zwei-dimensional halbleitende Materialien（z.B. Graphen，Übergangsmetallchalkogenide，schwarzer Phosphor）。海德堡大学提供的是一个没有特色的系统，它是一个专门研究探测器特性的工具：最大的探测器电流（<1.8 nm bei 1 kV，<1.4 nm bei 30 kV），用于测量Strahlstrom和小的Strahlstrom电流（zur Vermeidung von Aufladungen nichtleitender Proben），大的探测器（bis 3 in Wafer），Möglichkeit des Verkippens der Probe bzw。Probenhalter mit温克尔für die Abbildung von Querschnitten/Bruchstellen，Analyse der lokalen elementaren Probenzusammensetzung mittels EDS mit geringen Totzeiten.这一体系使所有的保险公司都受益，并使最佳的保险公司能够获得最大的收益。这是通过一个有着丰富营养和最大需求的宠物来实现的。