Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit Kathodolumineszenz-Analysesystem

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„Das ca. 20 Jahre alte REM des Instituts für Halbleitertechnik stößt hinsichtlich der Auflösung von Nanostrukturen schnell an seine Grenzen (Wolfram-Kathode). Darüber hinaus fehlt eine Möglichkeit, Kathodolumineszenzmessungen mit hoher örtlicher und spektraler Auflösung durchzuführen. Diese Messungen sind z.B. zur Bestimmung der optischen Qualität GaN basierter Mikro- und Nanostrukturen bzw. NanoLEDs essentieller Bestandteil der Forschung der Antragsteller, können aber bislang lediglich über Kooperationspartner realisiert werden. Das hier beantragte Feldemissions-REM mit Kathodolumineszenzsystem soll mit einem schon vorhandenen Manipulatoraufbau (Nano-Manipulatoren) kombiniert werden. Damit sind elektrische Messungen zusammen mit optischer Charakterisierung im REM an kleinsten Strukturen möglich, was ein herausragendes Alleinstellungsmerkmal darstellt. Durch den umfangreichen Aufbau innerhalb des REM werden besondere Anforderungen z.B. an die Kammergröße, die Anordnung der Detektoren und die Probenbühne gestellt. Das beantragte Gerät wird eine hervorragende Grundlage für die Durchführung sämtlicher laufender und geplanter Projekte der beteiligten Institutionen darstellen und zahlreiche zusätzliche wissenschaftliche Arbeiten ermöglichen.“