Feldemissions-Rasterelektronenmikroskop mit EDX, EBSD und in situ Nanoindenter

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Die Rasterelektronenmikroskopie mit ihren verschiedenen Kontrastarten, der energiedispersiven Röntgenanalyse (EDX) und Elektronenrückstreubeugung (EBSD), ist eine der in der modernen Werkstoffwissenschaft unverzichtbaren Analysetechniken. Hinsichtlich seiner Ortsauflösung nimmt es eine sehr wichtige Zwischenstellung zwischen der optischen Mikroskopie und Transmissionselektronenmikroskopie ein. Das beantragte hochauflösende Feldemissionsrasterelektronenmikroskop soll innerhalb unterschiedlicher Forschungsprojekte einschließlich zweier Sonderforschungsbereiche, insbesondere zur Mikrostrukturanalyse von nichtoxidischen Hartstoffen, metallischen und keramischen Werkstoffen sowie von entsprechenden Kompositen unter Nutzung verschiedener Abbildungs- und Analysemodi einschließlich in situ Nanoindentation verwendet werden. Ein Schwerpunkt der Aufgaben ist die Aufnahme simultaner EBSD/EDX-Maps, welche Grundlage für eine Mikrostrukturanalyse im Sinne einer Element- und Phasenverteilung einschließlich Kristallitorientierungsinformation ist. Eine zuverlässige und zügige Aufnahme solcher Maps wird durch einen hohen Strahlstrom und aufeinander hinsichtlich Effizienz abgestimmter EBSD und EDX-Detektoren sichergestellt. Entsprechende Mikrostrukturanalyse ist auch Vorbedingung zur lokalen Analyse mechanischer Eigenschaften durch Nanoindentation. Entsprechende Gerätekapazität steht derzeit an der TU Bergakademie Freiberg nicht zur Verfügung.