Multibeam Focussed Ion Beam Gerät (FIB/SEM)

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„Das beantragte Multibeam FIB (Focussed Ion Beam) - SEM (Rasterelektronenmikroskop) Gerät wird in den Materialwissenschaften genauso wie in der Biologie und den Lebenswissenschaften eingesetzt werden. Materialwissenschaftliche Anwendungen sind zum einen die Zielpräparation transmissionselektronenmikroskopischer Proben aus integrierten Schaltkreisen, zum anderen die elektronenmikroskopische Zielpräparation defektreicher Bereiche aus Halbleiterbauelementen nach Hochleistungsbetrieb. In der Biologie und in den Lebenswissenschaften wird das Gerät zur dreidimensionalen Strukturaufklärung dicker Zellen und Zellverbünde ebenso wie von Viren eingesetzt werden (FIB-Tomographie). Diese zusätzliche Infrastruktur wird einerseits für Forschergruppen (GRK 1216 Intra und interzellulärer Transport und Kommunikation, GRK 1782 Funktionalisierung von Halbleitern und andererseits auch für Verbundprojekte des Landes und des Bundes (LOEWE-Zentrum Synthetische Mikrobiologie, BMBF MonoLaCMOS) eingesetzt werden.“