Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung von Mehrschichtsystemen

在德国开姆尼茨和德国魏茨坦，德国弗劳恩霍夫研究所（德国）与德国德国开姆尼茨合作sächsischen德国弗劳恩霍夫研究所与德国德国开姆尼茨和德国魏茨坦合作，德国弗劳恩霍夫研究所与德国德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作，德国弗劳恩霍夫研究所合作。在这本ziel4萤石umfassend努尔erreicht了,要是一张neuartige UHV-PLD-Beschichtungsanlage konzipiert和beschafft将,死死aufeinander folgende Beschichtung冯wenigstens 5 Substraten麻省理工学院4海关Durchmesser麻省理工学院dickenhomogenen kontaminations——和partikulatfreien Schichtstapeln来自10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermoglicht。在<s:1>神经系统动力学研究<e:1>中，在<s:1>神经系统动力学研究<e:1>中，在<s:1>神经系统动力学研究<e:1>中，在摩擦学研究中，在摩擦学研究中，在动力系统动力学研究中，在摩擦学研究中，在摩擦学研究中。

Um den geplanten industriellen Einsatz der im laufenden Forschungsprojekt Spintronik untersuchten und optimierten Schichtstapel zu ermöglichen, soll gemeinsam mit dem Fraunhofer Institut ENAS in Chemnitz und weiteren sächsischen Partnern aus Forschung und Industrie das Verfahren der Laserpulsabscheidung für die Erzeugung von Spintronik-Schichtstapeln qualifiziert werden. Dieses Ziel kann umfassend nur erreicht werden, wenn eine neuartige UHV-PLD-Beschichtungsanlage konzipiert und beschafft wird, die die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermöglicht. Die Anlage soll darüber hinaus auch für die Abscheidung von neuartigen Schichtstapeln unter anderem für Verschleißschutz- und tribologische Anwendungen zum Beispiel auf Bauteilen im Motorenbau eingesetzt werden.