Ultrahochvakuum-Beschichtungsanlage für die Laserpulsabscheidung von Mehrschichtsystemen

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Um den geplanten industriellen Einsatz der im laufenden Forschungsprojekt Spintronik untersuchten und optimierten Schichtstapel zu ermöglichen, soll gemeinsam mit dem Fraunhofer Institut ENAS in Chemnitz und weiteren sächsischen Partnern aus Forschung und Industrie das Verfahren der Laserpulsabscheidung für die Erzeugung von Spintronik-Schichtstapeln qualifiziert werden. Dieses Ziel kann umfassend nur erreicht werden, wenn eine neuartige UHV-PLD-Beschichtungsanlage konzipiert und beschafft wird, die die aufeinander folgende Beschichtung von wenigstens 5 Substraten mit 4 Zoll Durchmesser mit dickenhomogenen, kontaminations- und partikulatfreien Schichtstapeln aus 10 verschiedenen Materialien im Ultrahochvakuum ermöglicht. Die Anlage soll darüber hinaus auch für die Abscheidung von neuartigen Schichtstapeln unter anderem für Verschleißschutz- und tribologische Anwendungen zum Beispiel auf Bauteilen im Motorenbau eingesetzt werden.