Hochvakuum Beschichtungsanlage mit Load-Lock Kammer

带负载锁定室的高真空镀膜系统

• 批准号: 66782664
• 金额: --
• 依托单位: Universität Regensburg
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Major Research Instrumentation
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2006-12-31 至 2009-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/66782664?language=en
• 关键词: Hochvakuum; Beschichtungsanlage; mit; Load; Lock

Das beantragte System soll eingesetzt werden, um ohmsche Kontakte, Leiterbahnen und Gates auf die unterschiedlichsten zu untersuchenden Systeme aufzubringen. Das bislang dafür vorhandene System (Univex 450) ist dem benötigten Durchsatz an Proben nicht mehr gewachsen und zu einem Engpass im Ablauf der Probenherstellung geworden, der die Arbeit der Nutzer behindert. Die Materialien, die in der neuen Beschichtungsanlage metallisiert werden sollen, sind primär zweidimensionale Ladungsträgersysteme, Bulk-Halbleiter, ferromagnetische Halbleiter (GaMnAs), Kohlenstoffnanorohren und, seit neuestem, Graphen. Das Gerät wird von allen Diplomanden, Doktoranden und Postdocs, die im Reinraum des Institutes für Experimentelle und Angewandte Physik tätig sind, regelmäßig und intensiv genutzt. Unser jetziges System (Univex 450) hat keine separate Schleusenkammer (Load-Lock), so dass vor einem Beschichtungsvorgang das gesamte Rezipientenvolumen abgepumpt werden muss. Um den benötigten Basisdruck von 5x10-6 mbar zu erreichen, muss eine Abpumpzeit von ca. 90 Minuten veranschlagt werden. Um die Abpumpzeiten zu verkürzen und somit den Durchsatz an Proben zu erhöhen, soll das neue System mit einem Load-Lock ausgestattet sein.

这种运输系统是由韦尔登、铁路和闸门共同组成的。Univex 450系统在测试过程中没有梅尔大的优势，在测试过程中也没有一个有效的方法，这是因为螺母的工作受到了阻碍。新的金属韦尔登材料，主要有两个维度的半导体系统，体半导体，铁磁半导体（GaMnAs），Kohlenstoffnanorohren和最新的石墨。Das Gert wird von艾伦Diplomanden，Doktoranden and Postdocs，die im Reinraum des Institutes für Experimentelle und Angewandte Physik tätig sind，regelmäßig und intensiv genutzt. Unser jetziges System（Univex 450）hat keine separate Schleusenkammer（Load-Lock），so dass vor einem Beschichtungsvorgang das gesamte Rezipientenvolumen abgepumpt韦尔登muss.在5x 10 -6毫巴的压力下，必须有一个大约。90分钟后见韦尔登。Um die Abpumpzeiten zu verkürzen and somit den Durchelian Proben zu erhen，soll das neue System mit einem Load-Lock ausgestattet sein.

项目成果

Ultrafast graphene-based broadband THz detector

• DOI: 10.1063/1.4813621
• 发表时间: 2013-07-08
• 期刊: APPLIED PHYSICS LETTERS
• 影响因子: 4
• 作者: Mittendorff, Martin;Winnerl, Stephan;Helm, Manfred
• 通讯作者: Helm, Manfred

Phase coherent transport in graphene nanoribbons and graphene nanoribbon arrays

• DOI: 10.1103/physrevb.86.155403
• 发表时间: 2012-10-03
• 期刊: PHYSICAL REVIEW B
• 影响因子: 3.7
• 作者: Minke, S.;Bundesmann, J.;Eroms, J.
• 通讯作者: Eroms, J.