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Atmospheric pressure thermal plasma jet generation by MEMS integration

Atmospheric pressure thermal plasma jet generation by MEMS integration
通过 MEMS 集成产生大气压热等离子体射流
批准号：
20K20911
负责人：
Higashi Seiichiro
金额：
$4.16万
依托单位：
Hiroshima University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
财政年份：
2020
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2020-07-30 至 2023-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K20911/
关键词：
大気圧プラズマMEMS微細加工

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微小プラズマジェット発生技術及びその集積化に関する研究
微等离子体射流发生技术及其集成研究
DOI： --
发表时间： 2020
期刊：
影响因子： --
作者： [山下　隆祐, 花房　宏明, 東　清一郎]
通讯作者： 東　清一郎
Development of single-crystalline silicon CMOS technology on flexible substrate by atomospheric pressure thermal plasma jet crystallizetion
  • 批准号：
    16H04334
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
  • 资助金额：
    $5.32万
  • 财政年份：
    2016
  • 负责人：
    Higashi Seiichiro
  • 依托单位：
    Hiroshima University
Study on Hetero Integration Technology of Devices on Flexible Substrate
  • 批准号：
    15K13976
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.33万
  • 财政年份：
    2015
  • 负责人：
    Higashi Seiichiro
  • 依托单位：
    Hiroshima University
国内基金
海外基金
导航级MEMS陀螺能量损耗及其失配机理研究
  • 批准号：
    2026JJ50499
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    樊波
  • 依托单位：
    南华大学
基于MEMS惯性传感器的工业机器人标定与校正方法技术开发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    王捍兵
  • 依托单位：
    常州机电职业技术学院
面向MEMS重力仪的低频噪声抑制关键技术研究
  • 批准号：
    JCZRQNB202600477
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
  • 依托单位：
    湖北光谷实验室
用于凝血和血小板功能检测的谐振式MEMS智能传感器研发
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    蔡先法
  • 依托单位：
    南京邮电大学