Atmospheric pressure thermal plasma jet generation by MEMS integration

通过 MEMS 集成产生大气压热等离子体射流

基本信息

  • 批准号：
    20K20911
  • 负责人：
    Higashi Seiichiro
  • 金额：
    $ 4.16万
  • 依托单位：
    Hiroshima University
  • 依托单位国家：
    日本
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Research (Exploratory)
  • 财政年份：
    2020
  • 资助国家：
    日本
  • 起止时间：
    2020-07-30 至 2023-03-31
  • 项目状态：
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量（1）
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专利数量（0）
微小プラズマジェット発生技術及びその集積化に関する研究
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  • DOI：
  • 发表时间：
    2020
  • 期刊：
  • 影响因子：
    0
  • 作者：
    山下　隆祐;花房　宏明;東　清一郎
  • 通讯作者：
    東　清一郎
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
  • 发表时间：
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者：
    {{ item.author }}

数据更新时间：{{ patent.updateTime }}

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  • 通讯作者：
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{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI：
    {{ item.doi }}
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    {{ item.publish_year }}
  • 期刊：
    {{ item.journal_name }}
  • 影响因子：
    {{ item.factor }}
  • 作者：
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者：
    {{ item.author }}
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{{ showInfoDetail.title }}

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