High performance SAW devices with other element doped AlN films / layered structure substrates

具有其他元素掺杂AlN薄膜/层状结构衬底的高性能SAW器件

基本信息

  • 批准号:
    19K15024
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.58万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
  • 财政年份:
    2019
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2019-04-01 至 2022-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(33)
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会议论文数量(0)
专利数量(0)
Polarity Control of (0001) Oriented AlN Films by Si Doping and Applications to Polarity Inverted SiAlN/AlN Film Bulk Acoustic Wave Resonators
Si掺杂对(0001)取向AlN薄膜的极性控制及其在极性反转SiAlN/AlN薄膜体声波谐振器中的应用
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Jun Sekimoto;Suzuki Masashi;Kakio Shoji
  • 通讯作者:
    Kakio Shoji
Crドープがc軸配向AlN薄膜の結晶配向性と電気機械結合係数に及ぼす影響
Cr掺杂对c轴取向AlN薄膜晶体取向及机电耦合系数的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    高野 佑成;早川 竜盛;鈴木 雅視;垣尾 省司
  • 通讯作者:
    垣尾 省司
Enhancement of coupling factor in 0th to 4th mode Rayleigh surface acoustic waves on polarity inverted multilayered ScAlN film/AlN and BN substrates
极性反转多层 ScAlN 薄膜/AlN 和 BN 基底上 0 至 4 模瑞利表面声波耦合因子的增强
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/ac5650
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Takano Yusei;Suzuki Masashi;Kakio Shoji
  • 通讯作者:
    Kakio Shoji
ScAlN圧電層 / LiNbO3圧電基板での縦型リーキーSAW伝搬におけるオイラー角の検討
ScAlN压电层/LiNbO3压电基片垂直漏声表面波传播的欧拉角研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    高野 佑成;鈴木 雅視;垣尾 省司
  • 通讯作者:
    垣尾 省司
極性反転 SiAlN/AlN 多層膜 HBAR の形成、評価と極性反転 AlNFBAR の共振特性解析
极性反转SiAlN/AlN多层HBAR的形成与评估以及极性反转AlNFBAR的谐振特性分析
  • DOI:
  • 发表时间:
    2022
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    関本淳;鈴木雅視;垣尾省司
  • 通讯作者:
    垣尾省司
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Masashi Suzuki其他文献

Analysis of longitudinal leaky surface acoustic wave propagation characteristics on piezoelectric ScAlN layer/ sapphire or quartz substrate
压电ScAlN层/蓝宝石或石英衬底上纵向漏声表面声波传播特性分析
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Masashi Suzuki;Naoya Sawada;and Shoji Kakio
  • 通讯作者:
    and Shoji Kakio
Feedback regulation of YUCCA gene expression in Auxin biosynthesis through SCFTIR1/AFB complex
通过 SCFTIR1/AFB 复合物反馈调节生长素生物合成中的 YUCCA 基因表达
  • DOI:
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Shin Takato;Akiko Sato;Masashi Suzuki;Yusuke Kakei;Ken-ichiro Hayashi;Ayako Nakamura;Kazuo Soeno; Yukihisa Shimada
  • 通讯作者:
    Yukihisa Shimada
Double-diffraction waveguide-type acousto-optic modulator with interchangeable input and output ports
可互换输入输出口的双衍射波导型声光调制器
  • DOI:
    10.7567/jjap.57.07ld16
  • 发表时间:
    2018
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Y. Hiramatsu;Masashi Suzuki;S. Kakio
  • 通讯作者:
    S. Kakio
Expression of Escherichia coli DcuS-R two-component regulatory system is regulated by the secondary internal promoter which is activated by CRP-cAMP.
大肠杆菌DcuS-R双组分调控系统的表达受CRP-cAMP激活的二级内部启动子调控。
  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
    3
  • 作者:
    T. Oyamada;K. Yokoyama;Michiko Morinaga;Masashi Suzuki;K. Makino
  • 通讯作者:
    K. Makino
Visual representation of the complete genomic DNA sequence of the thermophilic archaeon Thermoplasma volcanium
嗜热古菌 Thermoplasma volcanium 完整基因组 DNA 序列的可视化表示
  • DOI:
    10.2183/pjab.79b.15
  • 发表时间:
    2003
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Y. Minezaki;T. Kawashima;N. Amano;Sonomi Ebihara;Yohko Suzuki;Keiko Suzuki;H. Koike;Masashi Suzuki
  • 通讯作者:
    Masashi Suzuki

Masashi Suzuki的其他文献

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  • 影响因子:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
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  • 资助金额:
    $ 2.58万
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