Development of Simulator for Super-Precision Machining by Nano-Bubbles based on Computational Method

基于计算方法的纳米气泡超精密加工模拟器的研制

• 批准号: 20K05147
• 负责人: Ozawa Nobuki
• 金额: $ 2.5万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2020
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2020-04-01 至 2023-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-20K05147/
• 关键词: ウルトラファインバブル; 精密加工; 化学機械研磨; マルチフィジックス現象; 反応分子動力学法; 圧壊; マルチフィジックス; 分子動力学法; ナノバブル; 超精密加工; 反応力場

项目成果

Cooperative Roles of Chemical Reactions and Mechanical Friction in Chemical Mechanical Polishing of Gallium Nitride Assisted by OH Radicals: Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulations

OH自由基辅助氮化镓化学机械抛光中化学反应和机械摩擦的协同作用：紧束缚量子化学分子动力学模拟

• DOI: 10.1039/d0cp05826b
• 发表时间: 2021
• 期刊: Phys. Chem. Chem. Phys.
• 作者: K. Kawaguchi;Y. Wang;J. Xu;Y. Ootani;Y. Higuchi;N. Ozawa;M. Kubo
• 通讯作者: M. Kubo

ウルトラファインバブルを活用した化学機械研磨プロセスの 反応分子動力学シミュレーション

超细气泡化学机械抛光过程的反应分子动力学模拟

• 发表时间: 2021
• 期刊: Journal of the Japan Society for Abrasive Technology
• 作者: Jin Jianchen;Iizuka Takashi;尾澤伸樹，木村颯太，久保百司
• 通讯作者: 尾澤伸樹，木村颯太，久保百司

Atom-by-Atom and Sheet-by-Sheet Chemical Mechanical Polishing of Diamond Assisted by OH Radicals: A Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulation Study

• DOI: 10.1021/acsami.1c09468
• 发表时间: 2021-08-17
• 期刊: ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES
• 影响因子: 9.5
• 作者: Kawaguchi, Kentaro;Wang, Yang;Kubo, Momoji
• 通讯作者: Kubo, Momoji

反応分子動力学法に基づくウルトラファインバブルが窒化物半導体基板の CMPプロセスに与える影響の検討

基于反应分子动力学方法考察超细气泡对氮化物半导体衬底CMP工艺的影响

• 发表时间: 2021
• 作者: リム ユフィ;三浦 天聖;大川原 徹;竹原 健司;尾澤伸樹，久保百司
• 通讯作者: 尾澤伸樹，久保百司

ウルトラファインバブルの圧壊による窒化物半導体基板の酸化促進プロセス ：反応力場分子動力学シミュレーション

超细气泡破裂加速氮化物半导体衬底氧化过程：反作用力场分子动力学模拟

• 发表时间: 2020
• 作者: 山下正太郎;岡野成威;望月正人;才田一幸;尾澤伸樹，木村颯太，久保百司
• 通讯作者: 尾澤伸樹，木村颯太，久保百司