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Development of Simulator for Super-Precision Machining by Nano-Bubbles based on Computational Method

Development of Simulator for Super-Precision Machining by Nano-Bubbles based on Computational Method
基于计算方法的纳米气泡超精密加工模拟器的研制
批准号:
20K05147
负责人:
Ozawa Nobuki
金额:
$2.5万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2020
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2020-04-01 至 2023-03-31

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DOI: 10.1039/d0cp05826b
发表时间: 2021
期刊: Phys. Chem. Chem. Phys.
影响因子: --
作者: [K. Kawaguchi, Y. Wang, J. Xu, Y. Ootani, Y. Higuchi, N. Ozawa, M. Kubo]
通讯作者: M. Kubo
DOI: --
发表时间: 2021
期刊: Journal of the Japan Society for Abrasive Technology
影响因子: --
作者: [Jin Jianchen, Iizuka Takashi, 尾澤伸樹,木村颯太,久保百司]
通讯作者: 尾澤伸樹,木村颯太,久保百司
DOI: 10.1021/acsami.1c09468
发表时间: 2021-08-17
期刊: ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES
影响因子: 9.5
作者: [Kawaguchi, Kentaro, Wang, Yang, Kubo, Momoji]
通讯作者: Kubo, Momoji
反応分子動力学法に基づくウルトラファインバブルが窒化物半導体基板の CMPプロセスに与える影響の検討
基于反应分子动力学方法考察超细气泡对氮化物半导体衬底CMP工艺的影响
DOI: --
发表时间: 2021
期刊:
影响因子: --
作者: [リム ユフィ, 三浦 天聖, 大川原 徹, 竹原 健司, 尾澤伸樹,久保百司]
通讯作者: 尾澤伸樹,久保百司
Development of Simulator for High Efficient Chemical Mechanical Polishing of Hard-to-Process Materials by Computational Method
  • 批准号:
    17K06110
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 资助金额:
    $2.66万
  • 财政年份:
    2017
  • 负责人:
    Ozawa Nobuki
  • 依托单位:
国内基金
海外基金
高镍不锈钢的零件精密加工工艺开发
  • 批准号:
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2026
  • 负责人:
    徐安林
  • 依托单位:
基于磁粒研磨的超精密加工技术及其工艺开发
  • 批准号:
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2026
  • 负责人:
    陈晓明
  • 依托单位:
复杂电子产品超精密加工及检测关键技术研究与应用
多能场辅助SiCf/SiC复合材料精密加工机理及调控方法研究
  • 批准号:
    2025JJ70033
  • 项目类别:
    省市级项目
  • 资助金额:
    --
  • 批准年份:
    2025
  • 负责人:
    黄梁
  • 依托单位: