Development of Simulator for Super-Precision Machining by Nano-Bubbles based on Computational Method
Development of Simulator for Super-Precision Machining by Nano-Bubbles based on Computational Method
批准号:
20K05147
负责人:
Ozawa Nobuki
金额:
$2.5万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2020
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2020-04-01 至 2023-03-31
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Cooperative Roles of Chemical Reactions and Mechanical Friction in Chemical Mechanical Polishing of Gallium Nitride Assisted by OH Radicals: Tight-Binding Quantum Chemical Molecular Dynamics Simulations
OH自由基辅助氮化镓化学机械抛光中化学反应和机械摩擦的协同作用:紧束缚量子化学分子动力学模拟
DOI:
10.1039/d0cp05826b
发表时间:
2021
期刊:
Phys. Chem. Chem. Phys.
影响因子:
--
作者:
[K. Kawaguchi, Y. Wang, J. Xu, Y. Ootani, Y. Higuchi, N. Ozawa, M. Kubo]
通讯作者:
M. Kubo
ウルトラファインバブルを活用した化学機械研磨プロセスの 反応分子動力学シミュレーション
超细气泡化学机械抛光过程的反应分子动力学模拟
DOI:
--
发表时间:
2021
期刊:
Journal of the Japan Society for Abrasive Technology
影响因子:
--
作者:
[Jin Jianchen, Iizuka Takashi, 尾澤伸樹,木村颯太,久保百司]
通讯作者:
尾澤伸樹,木村颯太,久保百司
DOI:
10.1021/acsami.1c09468
发表时间:
2021-08-17
期刊:
ACS APPLIED MATERIALS & INTERFACES
影响因子:
9.5
作者:
[Kawaguchi, Kentaro, Wang, Yang, Kubo, Momoji]
通讯作者:
Kubo, Momoji
反応分子動力学法に基づくウルトラファインバブルが窒化物半導体基板の CMPプロセスに与える影響の検討
基于反应分子动力学方法考察超细气泡对氮化物半导体衬底CMP工艺的影响
DOI:
--
发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
作者:
[リム ユフィ, 三浦 天聖, 大川原 徹, 竹原 健司, 尾澤伸樹,久保百司]
通讯作者:
尾澤伸樹,久保百司
ウルトラファインバブルの圧壊による窒化物半導体基板の酸化促進プロセス :反応力場分子動力学シミュレーション
超细气泡破裂加速氮化物半导体衬底氧化过程:反作用力场分子动力学模拟
DOI:
--
发表时间:
2020
期刊:
影响因子:
--
作者:
[山下正太郎, 岡野成威, 望月正人, 才田一幸, 尾澤伸樹,木村颯太,久保百司]
通讯作者:
尾澤伸樹,木村颯太,久保百司
Development of Simulator for High Efficient Chemical Mechanical Polishing of Hard-to-Process Materials by Computational Method
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批准号:17K06110
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项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额:$2.66万
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财政年份:2017
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负责人:Ozawa Nobuki
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依托单位:
国内基金
海外基金
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高镍不锈钢的零件精密加工工艺开发
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2026
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负责人:徐安林
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依托单位:
基于磁粒研磨的超精密加工技术及其工艺开发
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批准号:
-
项目类别:省市级项目
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资助金额:--
-
批准年份:2026
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负责人:陈晓明
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依托单位:
复杂电子产品超精密加工及检测关键技术研究与应用
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
-
批准年份:2025
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负责人:曾和平
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依托单位:
多能场辅助SiCf/SiC复合材料精密加工机理及调控方法研究
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批准号:2025JJ70033
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2025
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负责人:黄梁
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依托单位:
碳纤维增强复合材料的超快激光精密加工
关键技术与装备
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2024
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负责人:
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依托单位:
超精密加工刀具误差智能感知与协同补偿机器人系统
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批准号:
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项目类别:省市级项目
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资助金额:100.0万元
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批准年份:2024
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负责人:张国庆
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依托单位:
基于自整型液态金属研抛盘的大面积柔性衬
底超精密加工新方法
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批准号:Z24E050045
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2024
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负责人:张利
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依托单位:
塔式起重机塔身部件整体精密加工装备关键技术研究
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批准号:2023JJ50313
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2023
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负责人:杨兴发
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依托单位:
基于人工智能的数控机床精密加工关键技术研究
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批准号:2023JJ60219
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项目类别:省市级项目
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资助金额:--
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批准年份:2023
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负责人:郭俊
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依托单位:
超薄碳碳复合材料筛网结构激光调控精密加工技术
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批准号:52375410
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项目类别:面上项目
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资助金额:50.00万元
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批准年份:2023
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负责人:马建伟
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依托单位: