Study on growth of nanoparticle in spatio-temporal electric field fluctuation
Study on growth of nanoparticle in spatio-temporal electric field fluctuation
批准号:
19K03809
负责人:
KAMATAKI Kunihiro
金额:
$2.83万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份:
2019
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2019-04-01 至 2022-03-31
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Particle-In-Cellモンテカルロ衝突モデルによる容量結合型Arプラズマにおける下部バイアス電圧印加シミュレーション
使用细胞内粒子蒙特卡罗碰撞模型模拟电容耦合 Ar 等离子体中的较低偏压应用
DOI:
--
发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
作者:
[阿部滉平, 山本晃大, 長尾伊織, 大高真寛, 山下大輔, 鎌滝晋礼, 奥村賢直, 板垣奈穂, 古閑一憲, 白谷正治]
通讯作者:
白谷正治
Study of effect of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS plasma
调幅放电对TEOS等离子体中纳米颗粒生长影响的研究
DOI:
--
发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
作者:
[M.Shiratani, K. Kamataki, K. Abe, A. Yamamoto, I. Nagao, M. Otaka, D. Yamashita, N. Itagaki, T. Okumura, K. Koga]
通讯作者:
K. Koga
Developing Prediction of Key Plasma Processing Parameter from Small Data of Experimental Results by Machine Learning Method
通过机器学习方法从实验结果的小数据中预测关键等离子体处理参数
DOI:
--
发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
--
作者:
[K. Kamataki, R. Iwamoto, S. Okunaga, D. Yamashita, N. Itagaki, K. Koga, M. Shiratani]
通讯作者:
M. Shiratani
Investigation of relationship between growth of nanoparticle and plasma generation due to amplitude modulated discharge voltage in TEOS plasma
研究 TEOS 等离子体中调幅放电电压引起的纳米粒子生长与等离子体产生之间的关系
DOI:
--
发表时间:
2022
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Kunihiro Kamataki, Kohei Abe, Akihiro Yamamoto, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Naho Itagaki, Kazunori Koga, Masaharu Shiratani]
通讯作者:
Masaharu Shiratani
Effect of rf bias on properties of amorphous silicon oxide films deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
射频偏压对等离子体增强化学气相沉积非晶氧化硅薄膜性能的影响
DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
作者:
[Akihiro Yamamoto, Kohei Abe, Iori Nagao, Michihiro Otaka, Daisuke Yamashita, Kunihiro Kamataki, Takamasa Okumura, Naho Itagaki, Kazunori Koga1, Masaharu Shiratani]
通讯作者:
Masaharu Shiratani
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