Study on growth of nanoparticle in spatio-temporal electric field fluctuation

时空电场波动中纳米颗粒的生长研究

• 批准号: 19K03809
• 负责人: KAMATAKI Kunihiro
• 金额: $ 2.83万
• 依托单位: Kyushu University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
• 财政年份: 2019
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2019-04-01 至 2022-03-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19K03809/
• 关键词: プラズマプロセス; 電場; ナノ粒子生業; プラズマCVD; AM変調放電; PIC-MCC; 機械学習; ナノ粒子成長; 電場揺動; 反応生プラズマ; 反応性プラズマ; 時空間揺動; 変調放電

项目成果

Study of effect of amplitude modulated discharge on growth of nanoparticles in TEOS plasma

调幅放电对TEOS等离子体中纳米颗粒生长影响的研究

• 发表时间: 2021
• 作者: M.Shiratani;K. Kamataki;K. Abe;A. Yamamoto;I. Nagao;M. Otaka;D. Yamashita;N. Itagaki;T. Okumura;K. Koga
• 通讯作者: K. Koga

Particle-In-Cellモンテカルロ衝突モデルによる容量結合型Arプラズマにおける下部バイアス電圧印加シミュレーション

使用细胞内粒子蒙特卡罗碰撞模型模拟电容耦合 Ar 等离子体中的较低偏压应用

• 发表时间: 2021
• 作者: 阿部滉平;山本晃大;長尾伊織;大高真寛;山下大輔;鎌滝晋礼;奥村賢直;板垣奈穂;古閑一憲;白谷正治
• 通讯作者: 白谷正治

Developing Prediction of Key Plasma Processing Parameter from Small Data of Experimental Results by Machine Learning Method

通过机器学习方法从实验结果的小数据中预测关键等离子体处理参数

• 发表时间: 2019
• 作者: K. Kamataki;R. Iwamoto;S. Okunaga;D. Yamashita;N. Itagaki;K. Koga;M. Shiratani
• 通讯作者: M. Shiratani

Investigation of relationship between growth of nanoparticle and plasma generation due to amplitude modulated discharge voltage in TEOS plasma

研究 TEOS 等离子体中调幅放电电压引起的纳米粒子生长与等离子体产生之间的关系

• 发表时间: 2022
• 作者: Kunihiro Kamataki;Kohei Abe;Akihiro Yamamoto;Iori Nagao;Michihiro Otaka;Daisuke Yamashita;Naho Itagaki;Kazunori Koga;Masaharu Shiratani
• 通讯作者: Masaharu Shiratani

SiH4+N2 プラズマによる SiNx の低温高品質成膜

使用 SiH4+N2 等离子体进行低温、高质量 SiNx 沉积

• 发表时间: 2021
• 作者: 鎌滝晋礼 ;佐々木勇輔 ;奥村賢直 ，板垣奈穂 ，古閑一憲 ，白谷正治
• 通讯作者: 奥村賢直 ，板垣奈穂 ，古閑一憲 ，白谷正治