课题基金 / 基金详情

Elucidation of AlN conversion layer formation mechanism by nitrogen plasma and single crystal growth by reactive sputtering

Elucidation of AlN conversion layer formation mechanism by nitrogen plasma and single crystal growth by reactive sputtering
氮等离子体和反应溅射单晶生长阐明 AlN 转化层形成机制
批准号：
18K04962
负责人：
Ozawa Tetsuo
金额：
$2.83万
依托单位：
Shizuoka Institute of Science and Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2018
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2018-04-01 至 2021-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-18K04962/
关键词：
反応性RFスパッタAlNInAlN窒化物半導体結晶成長混晶単結晶単結晶成長反応性スパッタリングAlN／Al2O3RF反応性スパッタサファイア窒素プラズマナノロッドInAlN混晶

项目摘要

项目成果

Ozawa Tetsuo的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
期刊论文(0)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
AlN single crystals growth converted from Al2O3 under atomic nitrogen plasma
国内基金
海外基金
异质衬底低温AlN缓冲层外延与界面调控机制研究
  • 批准号：
    2026JJ80239
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2026
  • 负责人：
    刘三姐
  • 依托单位：
    湖南理工学院
离子注入辅助有序化磨削减薄AlN/TiN复合陶瓷静电吸附调控表面纹理创成机理
  • 批准号：
    52505507
  • 项目类别：
    青年科学基金项目（C类）
  • 资助金额：
    30.00万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    杨雪
  • 依托单位：
    上海理工大学
基于自动乳腺超声影像组学的深度学习结合临床特征模型在ALN肿瘤负荷预测中的应用与验证
  • 批准号：
  • 项目类别：
    省市级项目
  • 资助金额：
    --
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    黄德益
  • 依托单位：
高锰高铝钢冶炼过程中AlN夹杂物生成及演变行为研究
  • 批准号：
    52504349
  • 项目类别：
    青年科学基金项目（C类）
  • 资助金额：
    30.00万元
  • 批准年份：
    2025
  • 负责人：
    储建华
  • 依托单位：
    安徽工业大学