Erzeugung, Charakterisierung und Optimierung von lateralen Nanostrukturen mittels elektronenstrahlinduzierter Abscheidung von adsorbierten Molekülen

利用电子束诱导吸附分子沉积生成、表征和优化横向纳米结构

• 批准号: 36924685
• 负责人: Privatdozent Dr. Hubertus Marbach
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Physikalische Chemie II
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2006-12-31 至 2014-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/36924685?language=en
• 关键词: Erzeugung; Charakterisierung; und; Optimierung; von

Das Ziel des beantragten Vorhabens ist die Herstellung von definierten Nanostrukturen beliebiger Form und hoher Reinheit, mit minimalen Abmessungen von ~10 nm, auf verschiedenen Oberflächen unter ultrareinen Bedingungen mittels elektronenstrahlinduzierter Deposition (EBID) aus Precursormolekülen. Für das Vorhaben steht ein neuartiges, kombiniertes UHVRastertunnel-/ Rasterelektronenmikroskop mit Energieanalysator zur Verfügung. Da bisher keine systematischen Studien zur Nanostrukturierung mittels EBID unter UHV-Bedingungen vorliegen, befasst sich das Vorhaben zunächst mit der Untersuchung der elementaren Prozesse bzw. mit der Optimierung der verschiedenen Parameter von EBID, insbesondere im Hinblick auf Größe und Reinheit der erzeugten Strukturen. Basierend auf den hier erreichten Ergebnissen wird dann gezielt das Potential von EBID zur Herstellung unterschiedlichster Nanokomposite untersucht werden, die im Hinblick auf katalytische Fragestellungen interessant sind. Insbesondere ist die Herstellung von einkomponentigen metallischen Nanostrukturen, von oxidischen Nanostrukturen, von Legierungsnanokompositen und von Nanoschichtstrukturen vorgesehen. Darüber hinaus soll deren Stabilität in Bezug auf Temperatur und reaktive Gase, sowie die Adsorption von größeren Molekülen und Wachstumsprozesse von Metallen auf solchen Nanostrukturen studiert werden.

Das Ziel des beantragten Vorhabens ist die Herstellung von definierten Nanostrukturen beliebiger Form and hoher Reinheit, mit minien Abmessungen von ~10 nm, auf verschiedenen Oberflächen unter ultrareinen Bedingungen mittels elektronenstrahlinduzierter Deposition (EBID) aus 前体分子。 Für das Vorhaben steht ein neuartiges, kombiniertes UHVRastertunnel-/ Rasterelektronenmikroskop mit Energieanalysator zur Verfügung。在 UHV-Bedingungen vorliegen 下的纳米结构系统研究 EBID，首先是 Vorhaben zunächst mit der Suchung der elementaren Prozesse bzw。 EBID 参数的优化，是在结构中的粗略和规则中体现出来的。潜在的 EBID 潜力是在纳米复合材料的基础上实现的，它是一种有趣的化学反应。这是金属纳米结构、氧化纳米结构、纳米复合材料和纳米结构的组成部分。在温度和反应气体中实现稳定，在纳米结构研究中进行大分子分子吸附和金属流动过程。

项目成果

Thin membranes versus bulk substrates: investigation of proximity effects in focused electron beam-induced processing

薄膜与块状基板：聚焦电子束诱导加工中邻近效应的研究

• DOI: 10.1088/0022-3727/45/22/225306
• 发表时间: 2012
• 期刊: Journal of Physics D: Applied Physics
• 作者: M.-M. Walz;F. Vollnhals;F. Rietzler;M. Schirmer;A. Kunzmann;H.P. Steinrück;H. Marbach
• 通讯作者: H. Marbach

Investigation of proximity effects in electron microscopy and lithography

• DOI: 10.1063/1.3681593
• 发表时间: 2012-01-30
• 期刊: APPLIED PHYSICS LETTERS
• 影响因子: 4
• 作者: Walz, M. -M.;Vollnhals, F.;Marbach, H.
• 通讯作者: Marbach, H.

Electron beam induced surface activation: a method for the lithographic fabrication of nanostructures via catalytic processes

• DOI: 10.1007/s00339-014-8578-x
• 发表时间: 2014-11-01
• 期刊: APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING
• 影响因子: 2.7
• 作者: Marbach, Hubertus