Erzeugung, Charakterisierung und Optimierung von lateralen Nanostrukturen mittels elektronenstrahlinduzierter Abscheidung von adsorbierten Molekülen

前体的形状是确定纳米结构的形状和更高的硬度，其最小吸收波长约为10 nm，通过前体分子沉积（EBID）在超硬基底上进行超硬表面处理。Für das Vorhaben steht ein neuartiges，kombiniertes UHV Rastertunnel-/Rastektronenmikroskop mit Energieanalysator zur Verfügung.没有必要对EBID中的纳米结构进行系统研究，尤其是在UHV-Bedingungen vorliegen下，更重要的是，Vorhaben zunächst with der Untersuchung der elementaren Prozesse bzw。通过对EBID参数的优化，可以在Hinblick中找到Größe和Reinheit的结构。基于此，EBID的潜在应用将使韦尔登的研究更加深入，并使Hinblick的碎片分解更加有趣。本发明涉及金属纳米结构、氧化纳米结构、传统纳米结构和纳米结构。通过对韦尔登的研究，发现在温度和反应性气体条件下，金属对大分子和水的吸附作用是稳定的。

Das Ziel des beantragten Vorhabens ist die Herstellung von definierten Nanostrukturen beliebiger Form und hoher Reinheit, mit minimalen Abmessungen von ~10 nm, auf verschiedenen Oberflächen unter ultrareinen Bedingungen mittels elektronenstrahlinduzierter Deposition (EBID) aus Precursormolekülen. Für das Vorhaben steht ein neuartiges, kombiniertes UHVRastertunnel-/ Rasterelektronenmikroskop mit Energieanalysator zur Verfügung. Da bisher keine systematischen Studien zur Nanostrukturierung mittels EBID unter UHV-Bedingungen vorliegen, befasst sich das Vorhaben zunächst mit der Untersuchung der elementaren Prozesse bzw. mit der Optimierung der verschiedenen Parameter von EBID, insbesondere im Hinblick auf Größe und Reinheit der erzeugten Strukturen. Basierend auf den hier erreichten Ergebnissen wird dann gezielt das Potential von EBID zur Herstellung unterschiedlichster Nanokomposite untersucht werden, die im Hinblick auf katalytische Fragestellungen interessant sind. Insbesondere ist die Herstellung von einkomponentigen metallischen Nanostrukturen, von oxidischen Nanostrukturen, von Legierungsnanokompositen und von Nanoschichtstrukturen vorgesehen. Darüber hinaus soll deren Stabilität in Bezug auf Temperatur und reaktive Gase, sowie die Adsorption von größeren Molekülen und Wachstumsprozesse von Metallen auf solchen Nanostrukturen studiert werden.