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Erzeugung, Charakterisierung und Optimierung von lateralen Nanostrukturen mittels elektronenstrahlinduzierter Abscheidung von adsorbierten Molekülen

利用电子束诱导吸附分子沉积生成、表征和优化横向纳米结构

基本信息

批准号：
36924685
负责人：
Privatdozent Dr. Hubertus Marbach
金额：
--
依托单位：
Lehrstuhl für Physikalische Chemie II
依托单位国家：
德国
项目类别：
Research Grants
财政年份：
2007
资助国家：
德国
起止时间：
2006-12-31 至 2014-12-31
项目状态：
已结题

来源：
https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/36924685?language=en
关键词：
Erzeugung Charakterisierung und Optimierung von

项目摘要

Das Ziel des beantragten Vorhabens ist die Herstellung von definierten Nanostrukturen beliebiger Form und hoher Reinheit, mit minimalen Abmessungen von ~10 nm, auf verschiedenen Oberflächen unter ultrareinen Bedingungen mittels elektronenstrahlinduzierter Deposition (EBID) aus Precursormolekülen. Für das Vorhaben steht ein neuartiges, kombiniertes UHVRastertunnel-/ Rasterelektronenmikroskop mit Energieanalysator zur Verfügung. Da bisher keine systematischen Studien zur Nanostrukturierung mittels EBID unter UHV-Bedingungen vorliegen, befasst sich das Vorhaben zunächst mit der Untersuchung der elementaren Prozesse bzw. mit der Optimierung der verschiedenen Parameter von EBID, insbesondere im Hinblick auf Größe und Reinheit der erzeugten Strukturen. Basierend auf den hier erreichten Ergebnissen wird dann gezielt das Potential von EBID zur Herstellung unterschiedlichster Nanokomposite untersucht werden, die im Hinblick auf katalytische Fragestellungen interessant sind. Insbesondere ist die Herstellung von einkomponentigen metallischen Nanostrukturen, von oxidischen Nanostrukturen, von Legierungsnanokompositen und von Nanoschichtstrukturen vorgesehen. Darüber hinaus soll deren Stabilität in Bezug auf Temperatur und reaktive Gase, sowie die Adsorption von größeren Molekülen und Wachstumsprozesse von Metallen auf solchen Nanostrukturen studiert werden.

Das Ziel des beantragten Vorhabens ist die Herstellung von definierten Nanostrukturen belbiger Form und hoher Reinheit, mit minimalen Abmessungen von ~10 nm, auf verschiedenen Oberflächen under ultra - areinen Bedingungen mittel elektronenstrinduzierter Deposition (EBID) aus precursormolek<e:1> len。[4] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [3]在UHV-Bedingungen vorliegen下研究纳米结构的EBID，在Vorhaben zunächst mit der Untersuchung der ementaren Prozesse bzw。[2] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]纳米复合材料复合材料的电化学性能、催化性能和相互作用性能。纳米结构，纳米氧化结构，纳米复合材料，纳米结构，纳米结构，纳米结构。在高温和反应气相条件下制备纳米材料Stabilität，研究了纳米吸附技术在größeren molek<e:1>和Wachstumsprozesse中的应用。

项目成果

期刊论文数量（6）

专著数量（0）

科研奖励数量（0）

会议论文数量（0）

专利数量（0）

Thin membranes versus bulk substrates: investigation of proximity effects in focused electron beam-induced processing

薄膜与块状基板：聚焦电子束诱导加工中邻近效应的研究

DOI：
10.1088/0022-3727/45/22/225306
发表时间：
2012
期刊：
Journal of Physics D: Applied Physics
影响因子：
0
作者：
M.-M. Walz;F. Vollnhals;F. Rietzler;M. Schirmer;A. Kunzmann;H.P. Steinrück;H. Marbach
通讯作者：
H. Marbach

Investigation of proximity effects in electron microscopy and lithography