Erzeugung, Charakterisierung und Optimierung von lateralen Nanostrukturen mittels elektronenstrahlinduzierter Abscheidung von adsorbierten Molekülen

利用电子束诱导吸附分子沉积生成、表征和优化横向纳米结构

• 批准号: 36924685
• 负责人: Privatdozent Dr. Hubertus Marbach
• 金额: --
• 依托单位: Lehrstuhl für Physikalische Chemie II
• 依托单位国家: 德国
• 项目类别: Research Grants
• 财政年份: 2007
• 资助国家: 德国
• 起止时间: 2006-12-31 至 2014-12-31
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://gepris.dfg.de/gepris/projekt/36924685?language=en
• 关键词: Erzeugung; Charakterisierung; und; Optimierung; von

Das Ziel des beantragten Vorhabens ist die Herstellung von definierten Nanostrukturen beliebiger Form und hoher Reinheit, mit minimalen Abmessungen von ~10 nm, auf verschiedenen Oberflächen unter ultrareinen Bedingungen mittels elektronenstrahlinduzierter Deposition (EBID) aus Precursormolekülen. Für das Vorhaben steht ein neuartiges, kombiniertes UHVRastertunnel-/ Rasterelektronenmikroskop mit Energieanalysator zur Verfügung. Da bisher keine systematischen Studien zur Nanostrukturierung mittels EBID unter UHV-Bedingungen vorliegen, befasst sich das Vorhaben zunächst mit der Untersuchung der elementaren Prozesse bzw. mit der Optimierung der verschiedenen Parameter von EBID, insbesondere im Hinblick auf Größe und Reinheit der erzeugten Strukturen. Basierend auf den hier erreichten Ergebnissen wird dann gezielt das Potential von EBID zur Herstellung unterschiedlichster Nanokomposite untersucht werden, die im Hinblick auf katalytische Fragestellungen interessant sind. Insbesondere ist die Herstellung von einkomponentigen metallischen Nanostrukturen, von oxidischen Nanostrukturen, von Legierungsnanokompositen und von Nanoschichtstrukturen vorgesehen. Darüber hinaus soll deren Stabilität in Bezug auf Temperatur und reaktive Gase, sowie die Adsorption von größeren Molekülen und Wachstumsprozesse von Metallen auf solchen Nanostrukturen studiert werden.

前体的形状是确定纳米结构的形状和更高的硬度，其最小吸收波长约为10 nm，通过前体分子沉积（EBID）在超硬基底上进行超硬表面处理。Für das Vorhaben steht ein neuartiges，kombiniertes UHV Rastertunnel-/Rastektronenmikroskop mit Energieanalysator zur Verfügung.在UHV-Bedingungen的EBID下，没有系统地描述纳米结构，除非在基本过程中使用Vorhaben。通过对EBID参数的优化，可以在Hinblick中找到Größe和Reinheit的结构。基于此，EBID的潜在应用将使韦尔登的研究更加深入，并使Hinblick的碎片分解更加有趣。本发明涉及金属纳米结构、氧化纳米结构、传统纳米结构和纳米结构。通过对韦尔登的研究，发现在温度和反应性气体条件下，金属对大分子和水的吸附作用是稳定的。

项目成果

Thin membranes versus bulk substrates: investigation of proximity effects in focused electron beam-induced processing

薄膜与块状基板：聚焦电子束诱导加工中邻近效应的研究

• DOI: 10.1088/0022-3727/45/22/225306
• 发表时间: 2012
• 期刊: Journal of Physics D: Applied Physics
• 作者: M.-M. Walz;F. Vollnhals;F. Rietzler;M. Schirmer;A. Kunzmann;H.P. Steinrück;H. Marbach
• 通讯作者: H. Marbach

Investigation of proximity effects in electron microscopy and lithography

• DOI: 10.1063/1.3681593
• 发表时间: 2012-01-30
• 期刊: APPLIED PHYSICS LETTERS
• 影响因子: 4
• 作者: Walz, M. -M.;Vollnhals, F.;Marbach, H.
• 通讯作者: Marbach, H.

Electron beam induced surface activation: a method for the lithographic fabrication of nanostructures via catalytic processes

• DOI: 10.1007/s00339-014-8578-x
• 发表时间: 2014-11-01
• 期刊: APPLIED PHYSICS A-MATERIALS SCIENCE & PROCESSING
• 影响因子: 2.7
• 作者: Marbach, Hubertus