Development of high-efficiency polishing process of the diamond substrate for next-generation power devices

下一代功率器件金刚石基体高效抛光工艺开发

基本信息

  • 批准号:
    25630029
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.58万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 财政年份:
    2013
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2013-04-01 至 2015-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
紫外光援用研磨によるダイヤモンドの平坦化 -1cm角サイズの単結晶ダイヤモンド基板の加工-
紫外光辅助抛光金刚石平整-1cm见方单晶金刚石基片的加工-
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀,田北隆浩,峠 睦
  • 通讯作者:
    久保田章亀,田北隆浩,峠 睦
紫外光援用研磨によるダイヤモンド基板の平坦化 -研磨定盤の表面改質効果-
紫外光辅助抛光平整金刚石基体-抛光平台的表面改性效果-
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀,田北隆浩,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
  • 通讯作者:
    田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
紫外光照射と加熱併用による新しい研磨法の開発 -単結晶ダイヤモンド基板の加工特性の調査-
开发结合紫外线照射和加热的新型抛光方法 - 单晶金刚石基材加工特性的研究 -
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀,田北隆浩,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
  • 通讯作者:
    田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
加工方法及び加工装置
加工方法及加工设备
  • DOI:
  • 发表时间:
    2014
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
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  • 资助金额:
    $ 2.58万
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    2023
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    $ 2.58万
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    18H01353
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  • 资助金额:
    $ 2.58万
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    24560144
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    2012
  • 资助金额:
    $ 2.58万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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  • 批准号:
    24760096
  • 财政年份:
    2012
  • 资助金额:
    $ 2.58万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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  • 批准号:
    21760093
  • 财政年份:
    2009
  • 资助金额:
    $ 2.58万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
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  • 批准号:
    42225879
  • 财政年份:
    2007
  • 资助金额:
    $ 2.58万
  • 项目类别:
    Research Grants
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