Development of high-efficiency polishing process of the diamond substrate for next-generation power devices
下一代功率器件金刚石基体高效抛光工艺开发
基本信息
- 批准号:25630029
- 负责人:
- 金额:$ 2.58万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
- 财政年份:2013
- 资助国家:日本
- 起止时间:2013-04-01 至 2015-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(6)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
紫外光援用研磨によるダイヤモンドの平坦化 -1cm角サイズの単結晶ダイヤモンド基板の加工-
紫外光辅助抛光金刚石平整-1cm见方单晶金刚石基片的加工-
- DOI:
- 发表时间:2015
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀,田北隆浩,峠 睦
- 通讯作者:久保田章亀,田北隆浩,峠 睦
紫外光援用研磨によるダイヤモンド基板の平坦化 -研磨定盤の表面改質効果-
紫外光辅助抛光平整金刚石基体-抛光平台的表面改性效果-
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀,田北隆浩,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
- 通讯作者:田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
紫外光照射と加熱併用による新しい研磨法の開発 -単結晶ダイヤモンド基板の加工特性の調査-
开发结合紫外线照射和加热的新型抛光方法 - 单晶金刚石基材加工特性的研究 -
- DOI:
- 发表时间:2014
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:赤峯彰;山口 哲生;沈立然;津守 不二夫;澤江 義則;久保田章亀,田北隆浩,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,峠 睦;田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
- 通讯作者:田北隆浩,久保田章亀,峠 睦
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