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Development of high-efficiency polishing process of the diamond substrate for next-generation power devices

Development of high-efficiency polishing process of the diamond substrate for next-generation power devices
下一代功率器件金刚石基体高效抛光工艺开发
批准号：
25630029
负责人：
KUBOTA Akihisa
金额：
$2.58万
依托单位：
Kumamoto University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2015-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-25630029/
关键词：
ダイヤモンド精密研磨紫外光援用研磨先端機能デバイス精密部品加工

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紫外光援用研磨によるダイヤモンドの平坦化　－1cm角サイズの単結晶ダイヤモンド基板の加工－
紫外光辅助抛光金刚石平整-1cm见方单晶金刚石基片的加工-
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [赤峯彰, 山口 哲生, 沈立然, 津守 不二夫, 澤江 義則, 久保田章亀，田北隆浩，峠　睦]
通讯作者： 久保田章亀，田北隆浩，峠　睦
紫外光援用研磨によるダイヤモンド基板の平坦化　－研磨定盤の表面改質効果－
紫外光辅助抛光平整金刚石基体-抛光平台的表面改性效果-
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [赤峯彰, 山口 哲生, 沈立然, 津守 不二夫, 澤江 義則, 久保田章亀，田北隆浩，峠　睦, 田北隆浩，久保田章亀，峠　睦]
通讯作者： 田北隆浩，久保田章亀，峠　睦
紫外光照射と加熱併用による新しい研磨法の開発　－単結晶ダイヤモンド基板の加工特性の調査－
开发结合紫外线照射和加热的新型抛光方法 - 单晶金刚石基材加工特性的研究 -
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： [赤峯彰, 山口 哲生, 沈立然, 津守 不二夫, 澤江 義則, 久保田章亀，田北隆浩，峠　睦, 田北隆浩，久保田章亀，峠　睦, 田北隆浩，久保田章亀，峠　睦]
通讯作者： 田北隆浩，久保田章亀，峠　睦
加工方法及び加工装置
加工方法及加工设备
DOI： --
发表时间： 2014
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Development of the high efficiency high precision wet processing method required for the SiC power device fabrication
  • 批准号：
    23686027
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (A)
  • 资助金额：
    $17.47万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    KUBOTA Akihisa
  • 依托单位：
    Kumamoto University
Development of an ultra-smooth polishing technique required for thediamond power device fabrication
  • 批准号：
    23656110
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
  • 资助金额：
    $2.5万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    KUBOTA Akihisa
  • 依托单位：
    Kumamoto University
Development of an ultra-smooth surface formation technique required for highly efficient SiC power device fabrication.
  • 批准号：
    20760087
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Young Scientists (B)
  • 资助金额：
    $2.75万
  • 财政年份：
    2008
  • 负责人：
    KUBOTA Akihisa
  • 依托单位：
    Kumamoto University
国内基金
海外基金
氧化镓超精密研磨过程中解理断裂机理及其调控方法研究
  • 批准号：
    51675457
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    62.0万元
  • 批准年份：
    2016
  • 负责人：
    周海
  • 依托单位：
    盐城工学院
超声椭圆振动协同化学作用辅助固结磨粒高效超精密研磨大直径硅片技术
  • 批准号：
    51065011
  • 项目类别：
    地区科学基金项目
  • 资助金额：
    26.0万元
  • 批准年份：
    2010
  • 负责人：
    杨卫平
  • 依托单位：
    江西农业大学
弹性电化超精密研磨方法及设备的研究
  • 批准号：
    59375234
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    6.0万元
  • 批准年份：
    1993
  • 负责人：
    庞滔
  • 依托单位：
    哈尔滨工业大学
石材平板超精密研磨及其精度控制的研究
  • 批准号：
    59075192
  • 项目类别：
    面上项目
  • 资助金额：
    4.0万元
  • 批准年份：
    1990
  • 负责人：
    薛秉源
  • 依托单位：
    上海交通大学