Dynamics of radical ions of fluorinated polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) lithography
Dynamics of radical ions of fluorinated polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) lithography
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
批准号：
25630424
负责人：
Fujiyoshi Ryoko
金额：
$2.16万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2013
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2013-04-01 至 2016-03-31
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Deprotonation mechanism of ionized poly(4-hydroxystyrene)
电离聚(4-羟基苯乙烯)的去质子化机理
电离聚(4-羟基苯乙烯)的去质子化机理
DOI：
10.1117/12.2045881
发表时间：
2014
期刊：
Proc. SPIE
影响因子：
--
作者：
[Toshihiko Susa, Kazumasa Okamoto , Takuya Ishida , Hiroki Yamamoto , Takahiro Kozawa , Ryoko Fujiyoshi, and Kikuo Umegaki]
通讯作者：
and Kikuo Umegaki
Pulse radiolysis in concentrated poly(4-hydroxystyrene) solution: Acid generation dynamics in EUV and electron-beam chemically amplified resist
浓聚（4-羟基苯乙烯）溶液中的脉冲辐射分解：EUV 和电子束化学放大抗蚀剂中的酸生成动力学
浓聚（4-羟基苯乙烯）溶液中的脉冲辐射分解：EUV 和电子束化学放大抗蚀剂中的酸生成动力学
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Okamoto, T. Ishida, H. Yamamoto, T. Kozawa, R. Fujiyoshi, K. Umegaki]
通讯作者：
K. Umegaki
ポリ(4-ヒドロキシスチレン)(PHS)濃厚溶液の脱プロトン反応の粘度効果
浓聚（4-羟基苯乙烯）（PHS）溶液去质子化反应的粘度效应
浓聚（4-羟基苯乙烯）（PHS）溶液去质子化反应的粘度效应
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[石田拓也, 岡本一将, 山本洋揮, 古澤孝弘, 藤吉亮子, 住吉 孝]
通讯作者：
住吉 孝
Dynamics of radical ions of fluorinated polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) lithography
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
DOI：
10.1117/12.2193060
发表时间：
2015
期刊：
Proc. SPIE
影响因子：
--
作者：
[N. Nomura, K. Okamoto, H. Yamamoto, T. Kozawa, R. Fujiyoshi, K. Umegaki]
通讯作者：
K. Umegaki
Pulse Radiolysis Study of Polystyrene-based Polymers with Adding Photoacid Generators (PAGs): Molecular Dynamics of Extreme-ultraviolet and Electron Beam Resist
添加光酸发生器 (PAG) 的聚苯乙烯基聚合物的脉冲辐解研究：极紫外和电子束抗蚀剂的分子动力学
添加光酸发生器 (PAG) 的聚苯乙烯基聚合物的脉冲辐解研究：极紫外和电子束抗蚀剂的分子动力学
DOI：
--
发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
--
作者：
[K. Okamoto, K. Tominaga, T. Hori, H. Yamamoto, T. Kozawa, R. Fujiyoshi, and T. Sumiyoshi]
通讯作者：
and T. Sumiyoshi
共 22 条
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