Influence of charge delocalization in nanofabrication induced by ionizing radiations
Influence of charge delocalization in nanofabrication induced by ionizing radiations
电离辐射引起的纳米加工中电荷离域的影响
批准号：
15K06662
负责人：
Okamoto Kazumasa
金额：
$3.08万
依托单位：
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
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パルスラジオリシス法によるフッ素樹脂の放射線化学反応の解明
用脉冲辐射分解法阐明氟树脂的辐射化学反应
用脉冲辐射分解法阐明氟树脂的辐射化学反应
DOI：
--
发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
--
作者：
[野村直矢, 岡本一将, 藤吉亮子, 梅垣菊男, 山本洋揮, 古澤孝弘]
通讯作者：
古澤孝弘
Dynamics of radical cations of poly(4-hydroxystyrene) in the presence and absence of triphenylsulfonium triflate as determined by pulse radiolysis of its highly concentrated solution
通过脉冲辐射分解高浓度溶液测定聚（4-羟基苯乙烯）在三苯锍三氟甲磺酸盐存在和不存在下的自由基阳离子动力学
通过脉冲辐射分解高浓度溶液测定聚（4-羟基苯乙烯）在三苯锍三氟甲磺酸盐存在和不存在下的自由基阳离子动力学
DOI：
10.1016/j.cplett.2016.05.058
发表时间：
2016
期刊：
Chem. Phys. Lett.
影响因子：
--
作者：
[K. Okamoto, T. Ishida, H. Yamamoto, T. Kozawa, R. Fujiyoshi, and K. Umegaki]
通讯作者：
and K. Umegaki
Dynamics of radical ions of fluorinated polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) lithography
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
DOI：
10.1117/12.2193060
发表时间：
2015
期刊：
Proc. SPIE
影响因子：
--
作者：
[N. Nomura, K. Okamoto, H. Yamamoto, T. Kozawa, R. Fujiyoshi, K. Umegaki]
通讯作者：
K. Umegaki
化学増幅型レジストへのスルホン化合物の添加効果
添加砜化合物对化学放大型抗蚀剂的影响
添加砜化合物对化学放大型抗蚀剂的影响
DOI：
--
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
作者：
[岡本 一将, 藤井 槙哉, 山本 洋揮, 古澤 孝弘, 井谷 俊郎]
通讯作者：
井谷 俊郎
量子ビーム応用医工学研究室ホームページ
量子束应用医学工程实验室主页
量子束应用医学工程实验室主页
DOI：
--
发表时间：
期刊：
影响因子：
--
作者：
[]
通讯作者：
共 16 条
Elucidation of deprotonation induced mechanism in nano-and microfabrication process using ionizing radiations and its applications
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批准号：19K05330
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项目类别：Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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资助金额：$2.58万
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财政年份：2019
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负责人：Okamoto Kazumasa
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依托单位：
海外基金