Influence of charge delocalization in nanofabrication induced by ionizing radiations

电离辐射引起的纳米加工中电荷离域的影响

基本信息

  • 批准号:
    15K06662
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 3.08万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    2015
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2015-04-01 至 2018-03-31
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
パルスラジオリシス法によるフッ素樹脂の放射線化学反応の解明
用脉冲辐射分解法阐明氟树脂的辐射化学反应
  • DOI:
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    野村直矢;岡本一将;藤吉亮子;梅垣菊男;山本洋揮;古澤孝弘
  • 通讯作者:
    古澤孝弘
Dynamics of radical cations of poly(4-hydroxystyrene) in the presence and absence of triphenylsulfonium triflate as determined by pulse radiolysis of its highly concentrated solution
通过脉冲辐射分解高浓度溶液测定聚(4-羟基苯乙烯)在三苯锍三氟甲磺酸盐存在和不存在下的自由基阳离子动力学
  • DOI:
    10.1016/j.cplett.2016.05.058
  • 发表时间:
    2016
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    K. Okamoto;T. Ishida;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;and K. Umegaki
  • 通讯作者:
    and K. Umegaki
Dynamics of radical ions of fluorinated polymer for Extreme Ultraviolet (EUV) lithography
用于极紫外 (EUV) 光刻的氟化聚合物自由基离子动力学
  • DOI:
    10.1117/12.2193060
  • 发表时间:
    2015
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    N. Nomura;K. Okamoto;H. Yamamoto;T. Kozawa;R. Fujiyoshi;K. Umegaki
  • 通讯作者:
    K. Umegaki
化学増幅型レジストへのスルホン化合物の添加効果
添加砜化合物对化学放大型抗蚀剂的影响
  • DOI:
  • 发表时间:
    2017
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    岡本 一将;藤井 槙哉;山本 洋揮;古澤 孝弘;井谷 俊郎
  • 通讯作者:
    井谷 俊郎
量子ビーム応用医工学研究室ホームページ
量子束应用医学工程实验室主页
  • DOI:
  • 发表时间:
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
  • 通讯作者:
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Okamoto Kazumasa其他文献

Heating effect of the radiation chemistry of polyhydroxystyrene-type chemically amplified resists
聚羟基苯乙烯型化学放大型光刻胶的辐射化学热效应
  • DOI:
    10.35848/1347-4065/aba7d7
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    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    1.5
  • 作者:
    Ikari Yuta;Okamoto Kazumasa;Konda Akihiro;Kozawa Takahiro;Tamura Takao
  • 通讯作者:
    Tamura Takao
衛星測位における建築物の地震時応答変位観測に関する基礎研究
卫星定位建筑物地震响应位移观测基础研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2021
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Murakami Shuntaro;Zhang Lihua;Jeem Melbert;Okamoto Kazumasa;Nakagawa Yuki;Shibayama Tamaki;Ohnuma Masato;Watanabe Seiichi;田嶋一之・向井智久・毎田悠承・南部禎士・鹿嶋俊英
  • 通讯作者:
    田嶋一之・向井智久・毎田悠承・南部禎士・鹿嶋俊英
デュアルコム分光のための近赤外光周波数コムの可視化
用于双梳光谱的近红外光学频率梳的可视化
  • DOI:
  • 发表时间:
    2019
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Kudo Hiroto;Fukunaga Mari;Yamada Teppei;Yamakawa Shinji;Watanabe Takeo;Yamamoto Hiroki;Okamoto Kazumasa;Kozawa Takahiro;加藤 英毅,池田 孝介,佐藤 航己,郷治 侑真,大久保 章,稲場 肇,吉井 一倫, 洪 鋒雷
  • 通讯作者:
    加藤 英毅,池田 孝介,佐藤 航己,郷治 侑真,大久保 章,稲場 肇,吉井 一倫, 洪 鋒雷
Sensitivity enhancement of chemically amplified EUV resist by adding diphenyl sulfone derivatives
添加二苯砜衍生物提高化学放大型 EUV 光刻胶的灵敏度
摂食シグナルを受容する胆汁酸受容体TGR5
接收进食信号的胆汁酸受体 TGR5
  • DOI:
  • 发表时间:
    2020
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    Murakami Yoshiyuki;Ishiwari Fumitaka;Okamoto Kazumasa;Kozawa Takahiro;Saeki Akinori;佐藤隆一郎
  • 通讯作者:
    佐藤隆一郎

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  • 发表时间:
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  • 作者:
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  • 通讯作者:
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Elucidation of deprotonation induced mechanism in nano-and microfabrication process using ionizing radiations and its applications
阐明电离辐射纳米和微加工过程中去质子化诱导机制及其应用
  • 批准号:
    19K05330
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    2019
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    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)

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    Grant-in-Aid for Encouragement of Scientists
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    $ 3.08万
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    24H00443
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    2024
  • 资助金额:
    $ 3.08万
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    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
放射線プロセスによる位置制御可能なケミカルフリー水中酸化物結晶生成法の確立
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  • 批准号:
    22K04986
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    2022
  • 资助金额:
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  • 批准号:
    21KK0262
  • 财政年份:
    2022
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Fund for the Promotion of Joint International Research (Fostering Joint International Research (A))
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  • 批准号:
    20H02489
  • 财政年份:
    2020
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
water-soluble nanopatterning material using water-coating and water-developable processes for edible pharmaceutical polymer films
采用水涂覆和水显影工艺的水溶性纳米图案材料,用于可食用药用聚合物薄膜
  • 批准号:
    19K05235
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Elucidation of deprotonation induced mechanism in nano-and microfabrication process using ionizing radiations and its applications
阐明电离辐射纳米和微加工过程中去质子化诱导机制及其应用
  • 批准号:
    19K05330
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Systematization of Non-Charging Exposure Conditions in Electron Beam Lithography
电子束光刻中非充电曝光条件的系统化
  • 批准号:
    19K04519
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
Fabrication of inorganic resists for pulsed EUV light source
用于脉冲 EUV 光源的无机光刻胶的制造
  • 批准号:
    19K05663
  • 财政年份:
    2019
  • 资助金额:
    $ 3.08万
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
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知道了