Elucidation of deprotonation induced mechanism in nano-and microfabrication process using ionizing radiations and its applications
阐明电离辐射纳米和微加工过程中去质子化诱导机制及其应用
基本信息
- 批准号:19K05330
- 负责人:
- 金额:$ 2.58万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
- 财政年份:2019
- 资助国家:日本
- 起止时间:2019-04-01 至 2022-03-31
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
项目成果
期刊论文数量(11)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Dependence of dose rate on the sensitivity of the resist under ultra-high flux extreme ultraviolet (EUV) pulse irradiation
超高通量极紫外 (EUV) 脉冲照射下剂量率对光刻胶灵敏度的依赖性
- DOI:10.35848/1882-0786/abfca3
- 发表时间:2021
- 期刊:
- 影响因子:2.3
- 作者:Okamoto Kazumasa;Kawai Shunpei;Ikari Yuta;Hori Shigeo;Konda Akihiro;Ueno Koki;Arai Yohei;Ishino Masahiko;Thanhhung Dinh;Nishikino Masaharu;Kon Akira;Owada Shigeki;Inubushi Yuichi;Kinoshita Hiroo;Kozawa Takahiro
- 通讯作者:Kozawa Takahiro
Sensitivity enhancement of chemically amplified EUV resist by adding diphenyl sulfone derivatives
添加二苯砜衍生物提高化学放大型 EUV 光刻胶的灵敏度
- DOI:10.1117/12.2551865
- 发表时间:2020
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Okamoto Kazumasa;Kawai Shunpei;Kozawa Takahiro
- 通讯作者:Kozawa Takahiro
Sensitivity enhancement of chemically amplified EUV resist by adding dipheyl sulfone derivatives
通过添加二苯基砜衍生物提高化学放大型 EUV 光刻胶的灵敏度
- DOI:
- 发表时间:2020
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:Kazumasa Okamoto;Shunpei Kawai;Takahiro Kozawa
- 通讯作者:Takahiro Kozawa
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
Okamoto Kazumasa其他文献
Heating effect of the radiation chemistry of polyhydroxystyrene-type chemically amplified resists
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- 影响因子:1.5
- 作者:
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Tamura Takao
衛星測位における建築物の地震時応答変位観測に関する基礎研究
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- 作者:
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田嶋一之・向井智久・毎田悠承・南部禎士・鹿嶋俊英
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加藤 英毅,池田 孝介,佐藤 航己,郷治 侑真,大久保 章,稲場 肇,吉井 一倫, 洪 鋒雷
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接收进食信号的胆汁酸受体 TGR5
- DOI:
- 发表时间:
2020 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
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佐藤隆一郎
Fabrication of color-toned micro/nanopattern surface by submerged photosynthesis method
浸没光合作用法制备彩色微纳图案表面
- DOI:
10.1016/j.mee.2022.111727 - 发表时间:
2022 - 期刊:
- 影响因子:2.3
- 作者:
Tsukamura Jumpei;Takahashi Yuki;Zhang Lihua;Jeem Melbert;Okamoto Kazumasa;Watanabe Seiichi - 通讯作者:
Watanabe Seiichi
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{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
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$ 2.58万 - 项目类别:
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LE230100091 - 财政年份:2023
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$ 2.58万 - 项目类别:
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- 批准号:
RTI-2023-00195 - 财政年份:2022
- 资助金额:
$ 2.58万 - 项目类别:
Research Tools and Instruments
Accelerating the discovery and development of neurotracers via high-throughput radiochemistry
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Accelerating the discovery and development of neurotracers via high-throughput radiochemistry
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