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Study on fabrication of nanoparticle-type superatoms by using RT atomic layer deposition

Study on fabrication of nanoparticle-type superatoms by using RT atomic layer deposition
RT原子层沉积制备纳米粒子型超原子的研究
批准号：
15K13299
负责人：
Hirose Fumihiko
金额：
$2.5万
依托单位：
Yamagata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2017-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-15K13299/
关键词：
原子層堆積ナノ微粒子コアシェル紫外線センサー原子層堆積法ナノコーティング微粒子酸化チタン酸化錫光触媒センサーセンサ

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RT atomic layer deposition of TiO2 and its application to nanoparticle coating
TiO2 的 RT 原子层沉积及其在纳米粒子涂层中的应用
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Kanomata, K. Kikuchi, B. Ahmmad, S. Kubota, F. Hirose]
通讯作者： F. Hirose
室温室原子層堆積法によるTi０２チャンネルTFTの試作と光センサへの応用
采用温室原子层沉积方法的Ti02通道TFT的原型制作及其在光学传感器中的应用
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [菊地航, 三浦正範, 鹿又健作, 有馬ボシールアハンマド, 久保田繁, 廣瀬文彦]
通讯作者： 廣瀬文彦
酸化物薄膜形成方法及び酸化物薄膜形成装置
氧化物薄膜的形成方法及氧化物薄膜的形成装置
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
プラズマ励起法を用いたナノ微粒子用原子層堆積装置開発
等离子体激发法纳米颗粒原子层沉积装置的研制
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [菊地航, 鹿又健作, 有馬ボシルアハンマド, 久保田繁, 廣瀬文彦]
通讯作者： 廣瀬文彦
共 7 条
    A study of compositite oxide super lattices fabricated by radical-surface-excitation room-temperature atomic layer deposition
    • 批准号：
      19H01884
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.65万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Hirose Fumihiko
    • 依托单位：
      Yamagata University
    Study on room temperature atomic layer deposition and its application
    • 批准号：
      15H03536
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.32万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Hirose Fumihiko
    • 依托单位：
      Yamagata University
    海外基金