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Study on room temperature atomic layer deposition and its application

Study on room temperature atomic layer deposition and its application
室温原子层沉积及其应用研究
批准号：
15H03536
负责人：
Hirose Fumihiko
金额：
$9.32万
依托单位：
Yamagata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2015
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2015-04-01 至 2018-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-15H03536/
关键词：
原子層堆積薄膜吸着太陽電池赤外吸収分光原子層堆積法ナノコーティング複合吸着色素増感太陽電池ゼオライトナノ材料複合材料・物性マイクロ・ナノデバイス原子分子処理複合金属酸化膜酸化金属腐食

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Temperature-controlled atomic layer deposition of GaN using plasma-excited nitrogen source
使用等离子体激发氮源进行 GaN 温控原子层沉积
DOI： --
发表时间： 2015
期刊：
影响因子： --
作者： [P.Pungboon Pansila, Kensaku Kanomata, Bashir Ahammad, Shigeru Kubota, Fumihiko Hirose]
通讯作者： Fumihiko Hirose
Room-temperature atomic layer deposition of zirconium oxide using plasma excited water vapor
使用等离子体激发水蒸气进行氧化锆的室温原子层沉积
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [Kentaro Tokoro, Kensaku Kanomata, Masanori Miura, Bashir Ahmmad, Shigeru Kubota, Fumihiko Hirose]
通讯作者： Fumihiko Hirose
Room-Temperature Atomic Layer Deposition of Aluminum Silicate and its Application in Dye sensitized Solar Cells
硅酸铝的室温原子层沉积及其在染料敏化太阳能电池中的应用
DOI： 10.1116/1.5002716
发表时间： 2017
期刊： Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films
影响因子： --
作者： [Takahiro Imai, Yoshiharu Mori, Kensaku Kanomata, Masanori Miura, Bashir Ahmmad, Shigeru Kubota, Fumihiko Hirose]
通讯作者： Fumihiko Hirose
RT atomic layer deposition of TiO2 and its application to nanoparticle coating
TiO2 的 RT 原子层沉积及其在纳米粒子涂层中的应用
DOI： --
发表时间： 2016
期刊：
影响因子： --
作者： [K. Kanomata, K. Kikuchi, B. Ahmmad, S. Kubota, F. Hirose]
通讯作者： F. Hirose
共 20 条
    A study of compositite oxide super lattices fabricated by radical-surface-excitation room-temperature atomic layer deposition
    • 批准号：
      19H01884
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.65万
    • 财政年份：
      2019
    • 负责人：
      Hirose Fumihiko
    • 依托单位：
      Yamagata University
    Study on fabrication of nanoparticle-type superatoms by using RT atomic layer deposition
    • 批准号：
      15K13299
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Hirose Fumihiko
    • 依托单位：
      Yamagata University
    国内基金
    海外基金
    高性能抗氧化BOPP薄膜加工关键技术研究
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      王晓丽
    • 依托单位：
      江苏海洋大学
    汽车后视镜用高耐腐蚀银合金薄膜材料开发
    • 批准号：
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      林改
    • 依托单位：
      江苏城乡建设职业学院
    基于稀疏天线阵列的薄膜铌酸锂光学相控阵
    • 批准号：
      JCZRMS202600414
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
    • 依托单位：
      中国地质大学（武汉）
    CsₓWO₃/CeO₂异质结的构建及其自修复透明隔热薄膜研究
    • 批准号：
      2026JJ50456
    • 项目类别：
      省市级项目
    • 资助金额：
      --
    • 批准年份：
      2026
    • 负责人：
      谭彦妮
    • 依托单位：
      中南大学