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A study of compositite oxide super lattices fabricated by radical-surface-excitation room-temperature atomic layer deposition

A study of compositite oxide super lattices fabricated by radical-surface-excitation room-temperature atomic layer deposition
自由基表面激发室温原子层沉积复合氧化物超晶格的研究
批准号：
19H01884
负责人：
Hirose Fumihiko
金额：
$9.65万
依托单位：
Yamagata University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2019
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
2019-04-01 至 2022-03-31
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-19H01884/
关键词：
原子層堆積法酸化物異種接合結晶化複合酸化膜ナノ周期化超格子ナノ周期構造複合酸化物イオン吸着ガスバリアマイクロ波プラズマナノテクノロジー原子層堆積プラズマ原子層堆積アルミナシリカラジカル表面励起吸着

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Low-temperature atomic layer deposition of AlN explained by infrared absorption spectroscopy
红外吸收光谱解释 AlN 的低温原子层沉积
DOI： --
发表时间： 2022
期刊：
影响因子： --
作者： [Kentaro Saito, Masanori Miura, Kensaku Kanomata, Bashir Ahmmad, Shigeru Kubota and Fumihiko Hirose]
通讯作者： Shigeru Kubota and Fumihiko Hirose
Room-temperature atomic layer deposition of iron oxide using plasma excited humidified argon
使用等离子体激发湿氩进行氧化铁的室温原子层沉积
DOI： 10.1116/6.0001622
发表时间： 2022
期刊： Journal of Vacuum Science & Technology A
影响因子： --
作者： [Yoshida Kazuki, Nagata Issei, Saito Kentaro, Miura Masanori, Kanomata Kensaku, Ahmmad Bashir, Kubota Shigeru, Hirose Fumihiko]
通讯作者： Hirose Fumihiko
High Acid Corrosion Resistance of Nb2O5 Thin Film Deposited by Room Temperature ALD
室温ALD沉积Nb2O5薄膜的高耐酸腐蚀性能
DOI： --
发表时间： 2019
期刊：
影响因子： --
作者： [Taya Hidetoshi, Park Aaron, Cho Sungtae, Gubler Philipp, Hattori Koichi, Hong Juhee, Huang Xu-Guang, Lee Su Houng, Monnai Akihiko, Ohnishi Akira, Oka Makoto, Yang Di-Lun, Kazuki Yoshida; Kentaro Saito; Masanori Miura; Kensaku Kanomata; Bashir Ahmmad; Shigeru Kubota; Fumihiko Hirose]
通讯作者： Kazuki Yoshida; Kentaro Saito; Masanori Miura; Kensaku Kanomata; Bashir Ahmmad; Shigeru Kubota; Fumihiko Hirose
イオン吸着材、並びにそれを用いたＣｓ回収方法及び装置、および電子装置
离子吸附剂、使用其的Cs回收方法和装置以及电子装置
DOI： --
发表时间： 2023
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 22 条
    Study on room temperature atomic layer deposition and its application
    • 批准号：
      15H03536
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
    • 资助金额：
      $9.32万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Hirose Fumihiko
    • 依托单位：
      Yamagata University
    Study on fabrication of nanoparticle-type superatoms by using RT atomic layer deposition
    • 批准号：
      15K13299
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Challenging Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.5万
    • 财政年份：
      2015
    • 负责人：
      Hirose Fumihiko
    • 依托单位：
      Yamagata University
    海外基金