Dual-Beam-FIB/SEM-Anlage

Das Ziel des Forschungsbaus LENA（Laboratory for Emerging Nanometrology）is die Etablierung einer rückführbaren Metrologie auf der Nanoskala. Hierfür韦尔登einerseits Nanostrukturen für die Metrologie hergestellt und erforscht，andererseits aber auch auf der Nanoskala rückführbare Messmethoden entwickelt.为了使双光束FIB-SEM能够实现对纳米结构的测量，柔性的测量和操纵可以使纳米结构的分析变得容易。非晶Schicht an der Oberfläche soll möglichst unter einem Nanometer liegen.这是一种不需要的爱的统一。Um noch vorhandene Oberflächenkontaminationen zu entfernen is ein Plasma-Cleaner anzuschaffen.他们在大街上的时候就开始跳舞了。Aufladungseffekte von nichtleitenden Oberflächen zu verhindern，ist die Oberflächen deposition z.B.金属与天然气喷射系统。在一个高精度的传输-电子-微处理器中进行分析，以便于使用韦尔登仪进行测量。Dazu是一种独特的纳米操作器，它可以将TEM-薄层从基底上操作和转移到TEM-探针上。

Das Ziel des Forschungsbaus LENA (Laboratory for Emerging Nanometrology) ist die Etablierung einer rückführbaren Metrologie auf der Nanoskala. Hierfür werden einerseits Nanostrukturen für die Metrologie hergestellt und erforscht, andererseits aber auch auf der Nanoskala rückführbare Messmethoden entwickelt. Für die gezielte Bearbeitung einzelner Nanostrukturen soll ein Dual-beam FIB-SEM zum Einsatz kommen, das die flexible Erzeugung und Manipulation sowie eine weitgehende Analyse solcher Nanostrukturen erlaubt. Die amorphisierte Schicht an der Oberfläche soll möglichst unter einem Nanometer liegen. Um das zu erreichen, ist eine Niederenergie-Beschleunigung ) der Ionen notwendig. Um noch vorhandene Oberflächenkontaminationen zu entfernen ist ein Plasma-Cleaner anzuschaffen. Um die zu präparierenden Schichten vor Strahlenschäden zu bewahren bzw. Aufladungseffekte von nichtleitenden Oberflächen zu verhindern, ist die Oberflächendeposition z.B. von Metallen mit verschiedenen GasInjektions-Systemen notwendig. Darüber hinausgehende Analysen sollen in einem höchstauflösenden Transmissions-Elektronen-Mikroskop erfolgen, für das Dünnschnitte mit dem FIB-SEM präpariert werden. Dazu ist ein dezidierter Nanomanipulator notwendig, der das Manipulieren und Transferieren der TEM-Lamellen vom Substrat zum TEM-Probenhalter ermöglicht.