Dual-Beam-FIB/SEM-Anlage

Das Ziel des Forschungsbaus Lena(新兴纳米计量学实验室)是纳诺斯卡拉的Eablierung einer rrrbaren Metrologie auf der Nanoskala。它是一种新的技术，也是一种新的技术和技术。Für die gezielte beearbeitung einzelner Nanostrukturen soll in双光束FIB-SEM zum einsatz komman，das die Flexpline Erzeugung and Manipment Sowie eine Weitgehende analycher solcher Nanostrukturen erlabt.无定型性和无定型性是纳米技术的基础。这是一件很重要的事，我不知道该怎么办。Um noch vorhandene OberflächenkonTaminationen zu entfernen Ein血浆清洁剂anzuschaffen.Um die zu Präparierenden Schichten vor Strahlenschäden zu bewahren bzw.Aufladungseffekte von Nichtleitenden OberfläChen zu verhindern，is die die of Oberflächendeposation z.B.von Metallen MIT verschiedenen GasInjektions-Systmentwendig.Darüber hinaugehende Analysen Sollen in Einem HöchstauflöSenden变速器-Elektronen-Mikroskop erfolgen，für das Dünnschnitte MIT DEM FIB-SEM Präpariert Wardden。大足是一种新型的纳米操纵器，也是一种新型的纳米操纵器。

Das Ziel des Forschungsbaus LENA (Laboratory for Emerging Nanometrology) ist die Etablierung einer rückführbaren Metrologie auf der Nanoskala. Hierfür werden einerseits Nanostrukturen für die Metrologie hergestellt und erforscht, andererseits aber auch auf der Nanoskala rückführbare Messmethoden entwickelt. Für die gezielte Bearbeitung einzelner Nanostrukturen soll ein Dual-beam FIB-SEM zum Einsatz kommen, das die flexible Erzeugung und Manipulation sowie eine weitgehende Analyse solcher Nanostrukturen erlaubt. Die amorphisierte Schicht an der Oberfläche soll möglichst unter einem Nanometer liegen. Um das zu erreichen, ist eine Niederenergie-Beschleunigung ) der Ionen notwendig. Um noch vorhandene Oberflächenkontaminationen zu entfernen ist ein Plasma-Cleaner anzuschaffen. Um die zu präparierenden Schichten vor Strahlenschäden zu bewahren bzw. Aufladungseffekte von nichtleitenden Oberflächen zu verhindern, ist die Oberflächendeposition z.B. von Metallen mit verschiedenen GasInjektions-Systemen notwendig. Darüber hinausgehende Analysen sollen in einem höchstauflösenden Transmissions-Elektronen-Mikroskop erfolgen, für das Dünnschnitte mit dem FIB-SEM präpariert werden. Dazu ist ein dezidierter Nanomanipulator notwendig, der das Manipulieren und Transferieren der TEM-Lamellen vom Substrat zum TEM-Probenhalter ermöglicht.