Dual-Beam-FIB/SEM-Anlage

新兴纳米计量学实验室（Das Ziel des Forschungsbaus LENA），德国<s:1> ckf<e:1>纳米计量学研究所。研究单位：<s:1>纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：<s:1>纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位：纳米结构研究单位[关键词]纳米结构，纳米结构，纳米结构，双光束光纤扫描电镜，纳米结构，纳米结构，纳米结构，纳米结构。纳米光谱线下的无定形Schicht和der Oberfläche soll möglichst。我的意思是，我的意思是，我的意思是，我的意思是，我的意思是，我的意思是我的意思。嗯还有vorhandene Oberflachenkontaminationen祖茂堂entfernen是静脉Plasma-Cleaner anzuschaffen。Um die zu präparierenden Schichten vor Strahlenschäden zu bewahren bzw。Aufladungseffekte von nichtleitenden Oberflächen zu verhindern, ist die Oberflächendeposition z.B. von Metallen mit verschiedenen注气系统研究。dar<s:1> ber hinausgehende Analysen sollen in einem höchstauflösenden transmission - elektronen - microskop erfolgen, ferr das dd<e:1> nnschnitte mit FIB-SEM präpariert werden。大足系在dezidierter纳米机械臂上，在TEM-Lamellen载体上的操纵和转移上，在TEM-Probenhalter ermöglicht。

Das Ziel des Forschungsbaus LENA (Laboratory for Emerging Nanometrology) ist die Etablierung einer rückführbaren Metrologie auf der Nanoskala. Hierfür werden einerseits Nanostrukturen für die Metrologie hergestellt und erforscht, andererseits aber auch auf der Nanoskala rückführbare Messmethoden entwickelt. Für die gezielte Bearbeitung einzelner Nanostrukturen soll ein Dual-beam FIB-SEM zum Einsatz kommen, das die flexible Erzeugung und Manipulation sowie eine weitgehende Analyse solcher Nanostrukturen erlaubt. Die amorphisierte Schicht an der Oberfläche soll möglichst unter einem Nanometer liegen. Um das zu erreichen, ist eine Niederenergie-Beschleunigung ) der Ionen notwendig. Um noch vorhandene Oberflächenkontaminationen zu entfernen ist ein Plasma-Cleaner anzuschaffen. Um die zu präparierenden Schichten vor Strahlenschäden zu bewahren bzw. Aufladungseffekte von nichtleitenden Oberflächen zu verhindern, ist die Oberflächendeposition z.B. von Metallen mit verschiedenen GasInjektions-Systemen notwendig. Darüber hinausgehende Analysen sollen in einem höchstauflösenden Transmissions-Elektronen-Mikroskop erfolgen, für das Dünnschnitte mit dem FIB-SEM präpariert werden. Dazu ist ein dezidierter Nanomanipulator notwendig, der das Manipulieren und Transferieren der TEM-Lamellen vom Substrat zum TEM-Probenhalter ermöglicht.