Dual-Beam-FIB

“新材料与新技术（ZMP）的研究进展”，《科学与技术》，《科学与技术》，《科学与技术》interdisziplinären。Dabei stehen Metalle, Keramik and Kohlenstoff and deren Verbunde in werdergrund。荷兰die interdisziplinäre Zusammenarbeit werden neue innovative Werkstoff- and Verarbeitungskonzepte erarbeitet。[8] [9] [9] [9] [9] [9] [9] [9] [9] [9][1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1] [1]双光束聚焦长光束（FIB）在元件中的应用[j]； [j]; [j]。Das Dual-Beam-FIB trägt dabei entscheidend zur Lösung der Problemstellungen der einzelnen Partner des ZMPs beund verspricht einen <s:2> berproportional gron ßen Erkenntnisgewinn。（纳米）复合材料，（纳米）复合材料，（纳米）复合材料，（纳米）复合材料，（纳米）复合材料，（纳米）复合材料，（纳米）材料，（纳米）材料，（纳米）材料，（纳米）材料，（纳米）材料，（纳米）材料，（纳米）材料，（纳米）材料，（纳米）材料。”

„Wissenschaftliche Zielsetzung des Zentralinstituts für Neue Materialien und Prozesstechnik (ZMP) ist es, in einem interdisziplinären Umfeld neue Leichtbauwerkstoffkonzepte und Fertigungsmethoden zu entwickeln. Dabei stehen Metalle, Keramik und Kohlenstoff und deren Verbunde im Vordergrund. Durch die interdisziplinäre Zusammenarbeit werden neue innovative Werkstoff- und Verarbeitungskonzepte erarbeitet. Für eine gezielte Werkstoff- und Prozesstechnikentwicklung ist dabei eine detaillierte Kenntnis der Mikrostruktur-Eigenschaftsbeziehung notwendig. Nur über eine detaillierte Kenntnis der Mikrostruktur, einschließlich des dreidimensionalen Aufbaus und ihrer Veränderungen durch die einzelnen Prozessschritte ist es möglich, gezielt die (mechanischen) Eigenschaften der Werkstoffe zu verbessern und neue auch unter Ausnutzung neuer nanotechnologischer Ansätze zu entwickeln. In diesem Zusammenhang stellt das Dual-Beam Focused-lon-Beam(FIB) ein elementares Werkzeug für mikroskopische Charakterisierungs- und Strukturierungsaufgaben dar. Das Dual-Beam-FIB trägt dabei entscheidend zur Lösung der Problemstellungen der einzelnen Partner des ZMPs bei und verspricht einen überproportional großen Erkenntnisgewinn. Der methodische Ansatz ist die Verwendung des Dual-Beam-FIB für die mikrostrukturelle Charakterisierung von gradierten Werkstoffsystemen, (Nano-)Kompositen, Beschichtungen, zur Zielpräparation von transmissionselektronenmikroskopischen Proben, zur 3D-Materialanalyse durch in situ Untersuchung von FIB-präparierten Querschnitten und Schnitten in die Tiefe des Materials und zum Nanomachining im hochenergetischen Ionenstrahl.“