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Research on synthesis of graphene-hBN based multi-heterostructure and the development of its applications

石墨烯-六方氮化硼基多元异质结构的合成研究及其应用开发

基本信息

批准号：
22K14141
负责人：
平田祐樹
金额：
$ 2.91万
依托单位：
Tokyo Institute of Technology
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Early-Career Scientists
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-04-01 至 2025-03-31
项目状态：
未结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22K14141/
关键词：
hBN PVD TEM XPS hBNナノシートグラフェンマルチヘテロ構造

项目摘要

窒素とホウ素が蜂の巣状に互いに強固に共有結合した単原子シートであるhBNナノシートは次世代のマイクロエレクトロニクスやその他の技術に統合できる最も有望な材料であり、将来的には量子コンピューティングや超伝導への応用につながる可能性も期待されている。hBNナノシートの物性は、数十～数百nmサイズの電子結晶の挙動が起源となっており、元素間における種々のナノ力学的相互作用を解明することにより、量子世界のエキゾチックな現象の数々について基礎的な知見を得ることができる。hBNナノシートの機械・電気・光学的特性を自由自在に制御するためには、B-N元素間における種々のナノ力学的相互作用を解明し、薄膜中の組成や結合状態、ナノ構造を原子レベルで制御可能な合成手法の開発が求められている。2022年度はRF電力や熱処理温度といった合成パラメータを変化させ、膜の断面TEM観察とXPSによる構造分析を行った。その結果、RF電力値と熱処理温度を制御することにより、膜の構造の最適化が可能であることを見出した。

The most promising materials for the next generation of quantum chemistry and other technologies are expected to be available in the future. The physical properties of hBN crystals, electronic crystallization of tens to hundreds of nm particles, the origin of electron crystallization, the explanation of mechanical interactions between elements, the number of phenomena in the quantum world, and the fundamental knowledge of electron crystallization. The mechanical, electrical, and optical properties of hBN Naositt can be controlled freely, and the various Naositt mechanical interactions between B-N elements can be understood. The composition, bonding state, and Naositt structure in thin films can be controlled by atomic elements. The development of synthesis methods has become a hot topic. In 2022, RF power and heat treatment temperature were analyzed by TEM and XPS. The result is that RF power and heat treatment temperature are controlled, and optimization of film structure is possible.