Strukturierungsverfahren für mikro- und nanooptische Elemente in Lithiumniobat.

锂离子电池是一种材料，它具有很强的固有特性。为了完整和不完整的光学，我们有一顶大帽子。在这种材料中，微结构和纳米结构是不可缺少的，也不能实现韦尔登。在2007-2009年的第一个周期中，我们看到了一个新的技术基础，它包括离子辐射和纳米化学物质，这些物质是三维的，质量高的微结构和纳米结构的锂离子电池。一个真正的结构，如z.B.自由膜中的Rippenwellenleitern和photonischen Kristallen，wurden die großen Potentiale des Verfahrens gezeigt.Die Zielstellung des Fortsetzungsprojektes ist die methodische Klärung wichtiger offener Fragestellungen，die die Universalität，Reproduzierbarkeit sowie die Praktikabilität der Methode einschränken.这是建立在铁路基础上的。该方法解决了非线性局部化费尔德在光子晶体中的相互作用问题，并具有韦尔登的缺陷。

Lithiumniobat ist ein Material das außerordentlich interessante Eigenschaften besitzt und deshalb u.a. für die integrierte und nichtlineare Optik eine große Bedeutung hat. Mikro- und Nanostrukturen konnten in diesem Material mangels geeigneter Strukturierungsverfahren bislang nur ungenügend oder gar nicht realisiert werden. Innerhalb der zurückliegenden Förderperiode 2007-2009 ist es uns gelungen, eine Technologie grundlegend zu entwickeln, welche mittels maskierter Ionenbestrahlung und nachfolgendem nasschemischem Ätzen die Herstellung von dreidimensionalen, qualitativ hochwertigen Mikro- und Nanostrukturen in Lithiumniobat gestattet. An realen Strukturen, wie z.B. Rippenwellenleitern und photonischen Kristallen in freitragenden Membranen, wurden die großen Potentiale des Verfahrens gezeigt.Die Zielstellung des Fortsetzungsprojektes ist die methodische Klärung wichtiger offener Fragestellungen, die die Universalität, Reproduzierbarkeit sowie die Praktikabilität der Methode einschränken. Insbesondere ist die Erweiterung der erreichbaren Tiefen geplant. Die Leistungsfähigkeit der Methode soll am Beispiel der nichtlinearen Interaktion lokalisierter Felder in photonischen Kristallen mit Punkdefekten sowie Defektwellenleitern demonstriert werden.