エキシマレーザ用キャピラリ型光ファイバの開発

准分子激光器用毛细管型光纤的研制

• 批准号: 09750376
• 负责人: 松浦 祐司
• 金额: $ 1.41万
• 依托单位: Tohoku University
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
• 财政年份: 1997
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1997 至 1998
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-09750376/
• 关键词: 中空導波路; エキシマレーザ; CVD; アリミMOCVD; エキシマレーザー; アルミMOCVD

紫外域で発振するエキシマレーザは、その高エネルギー密度の短波長光を応用した各種のシステムが開発され注目を集めている。工業分野では、半導体産業におけるリソグラフィー応用、金属の表面改質、また医療分野ではレーザ光による近視治療が世界的に進められており、その注目度は世界的にも非常に高い。しかしこのエキシマレーザがもつ大きな欠点は、レーザ光の波長が200nmと非常に短いため、石英のレーリー散乱が問題となり、通常の光ファイバを利用できないことである。そこで本研究は、今後発展するエキシマレーザ応用システムに必要不可欠である、低損失な光ファイバを提供することを目的とする。本年度はMOCVD法によって製作した中空ファイバの基本特性を評価するとともに、その特性改善のための製作条件の最適化にいて検討した。その結果,塩化チタニウムによる前処理工程のガス流量・処理時間や、アルミニウム成膜時の温度・ヒータ移動速度などの細かい製作条件を最適化することにより、アルミニウム表面をより平滑化することに成功した。また、伝送路として実用化レベルの特性が得られるように、レーザ光入射条件の最適化や出射光学系などについて検討した。その際、ArFレーザ伝送時には、中空ファイバのコア中の酸素がオゾン化されて伝送損失が上昇してしまうために、コア中に不活性ガスや窒素などを流入させる必要があることがわかり、そのためのガス導入機構を開発し、中空ファイバによるエキシマレーザ伝送システムの構築を行った。

The ultraviolet spectrum is very high, and the short wavelength spectrum is very high. Industrial division, semiconductor industry, surface modification of metals, medical division, myopia treatment, world progress, world attention is very high The wavelength of light is 200nm. The wavelength of quartz is very short. The wavelength of quartz is scattered. The wavelength of ordinary light is used. This study aims to provide the necessary information for future development, low loss and high efficiency. This year, the MOCVD method was used to evaluate the basic characteristics of the hollow glass and optimize the production conditions of the hollow glass. As a result, the optimization of pre-treatment process flow rate, treatment time, film formation temperature, film movement speed and fine production conditions was successful. The characteristics of the transmission path and the optical system are optimized. In the meantime, when the ArF is transmitted, the acid in the air is transmitted, and the loss of the air is increased. In the air, the inactive acid is transmitted, and the inflow of the acid is necessary. In the air, the introduction mechanism is opened, and the construction of the air is carried out.

项目成果

Y.Matsuura,M.Miyagi: "Flexible hollow waveguides for delivery of excimer-laser light" Opt.Lett.23・15. 1226-1228 (1998)

Y.Matsuura、M.Miyagi：“用于传输准分子激光的柔性空心波导”Opt.Lett.23・15 (1998)。

Y.Matsuura,M.Miyagi: "Aluminum-coated hollow glass fibers for ArF-excimer laser light fabricated by metal-organic chemical vapor deposition" App.Opt.(印刷中). (1999)

Y.Matsuura、M.Miyagi：“通过金属有机化学气相沉积制造的用于 ArF 准分子激光的铝涂层空心玻璃纤维”App.Opt（出版中）。