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ダイヤモンド/SiCヘテロエピタキシャル構造電子放出素子の基礎研究

金刚石/SiC异质外延结构电子发射器件基础研究

基本信息

批准号：
09750384
负责人：
作田健
金额：
$ 1.54万
依托单位：
Osaka University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至 1998
项目状态：
已结题

项目摘要

ダイヤモンドを用いた電子放出機構の基礎的な知見を得るため、孤立粒子と連続膜からの電子放出特性をF-N plotにより比較した。その結果、孤立粒子と連続膜からでは、算出される仕事関数の値に明らかに違いが見られた。仕事関数は連続膜の場合が小さい。この事は放出機構が異なっていることを示している。連続膜では、電子はバックコンタクトから、ダイヤモンド表面へ、グラファイトや結晶欠陥を含むダイヤモンドの粒界を伝わり、バンドギャップ中の欠陥準位を伝って放出されると考えられ、さらに連続膜の場合はダイヤモンド表面とバックコンタクト間にも電界が印加されるため、実質的にはギャップ中そより点い準位に励起されつつ放出されることになる。擬フェルミ準位は熱平衡状態のフェルミ準位よりも高くなり、したがって仕事関数は小さくなる。一方、孤立粒子の場合は連続膜と異なり、電子はバックコンタクトからダイヤモンド表面へ伝わるのに、バルクではなく水素終端されたことに起因する低抵抗の表面伝導層を伝わる。したがって、電圧降下はほとんど生じず、電子は励起されず、価電子帯近傍から放出されることになる。すなわち擬フェルミ準位は熱平衡状態のフェルミ準位とほとんど変わらないため、仕事関数は連続膜に比べ相対的に大きくなる。実際の電子放出素子として、表面伝導型と呼ばれる平面構造の素子を試作した。ダイヤモンドが成長した平面に2μm程度のギャップを設け、その間に電子を放出させる構造である。今回試作した素子はダイヤモンドを各種金属上(Au,Ti等)に成長させた。その結果、20V程度の比較的低い電圧から電子放出が観察された。また、放出された電子を蛍光面に引き出すことで蛍光体の発光も確認できた。放出機構としては前述した連続膜からのそれに近いものであった。

The basic knowledge of electron emission mechanism in the field of particle physics is obtained, and the electron emission characteristics of isolated particles and continuous films are compared with F-N plot. The result is that the isolated particles are connected to the membrane, and the calculation results are related to the number of particles. It is important to know the number of cases in which the membrane is connected. This is the first time I've ever seen a woman. In case of continuous film, the surface of the film, the crystal defect, the grain boundary of the film, the defect in the film, and the surface of the film, the crystal defect in the film, the film, and the film. The quality of the product is not limited to the quality of the product. The thermal equilibrium state of the quasi-thermal level is high, and the number of factors is small. On the one hand, isolated particles are connected to the surface of the film, and on the other hand, electrons are connected to the surface of the film. For example, when the voltage drops, the electrons are excited, and the electrons are emitted nearby. The thermal equilibrium state of the system depends on the number of connections and the relative size of the system. In fact, the electron emission element, surface conduction type and planar structure element are tried. The structure of the electron emission system is designed to grow up to about 2μm in the plane. Now try to grow on various metals (Au,Ti, etc.) The results, 20V level of comparison of low voltage and electron emission are observed. The light emitting surface of the electron emitting layer is confirmed. The release mechanism is not in place.