高強度レーザーによる量子干渉効果を利用した非反転分布希ガス真空紫外レーザー
利用高强度激光量子干涉效应的非倒布居稀有气体真空紫外激光器
基本信息
- 批准号:11750045
- 负责人:
- 金额:$ 1.41万
- 依托单位:
- 依托单位国家:日本
- 项目类别:Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
- 财政年份:1999
- 资助国家:日本
- 起止时间:1999 至 2000
- 项目状态:已结题
- 来源:
- 关键词:
项目摘要
本研究では、小型放電励起装置を用いて希ガス原子(Kr)を励起し、レーザー発振を実現することに世界で初めて成功した。放電プラズマの制御と光共振器の品質向上が小型の放電励起装置ではこれまで報告がなかった真空紫外レーザーを実現した大きな要因であると考えている。量子干渉効果を利用するための希ガスに放電エネルギーを加えて希ガスの励起状態を生成した。昨年までの研究ではパルス無声放電励起方式を用いていたが、電流密度、入力パワー密度を桁違いに増加させるためにはこの方法では限界があることがわかった。そこで従来放電レーザーに用いられている紫外光予備電離を用いる容量移行型放電方式に変更した。この放電励起方式では無声放電の場合と大きく異なり、高気圧(10気圧程度)の希ガスで安定なグロー放電を実現することは非常に困難であった。しかしながら、放電励起回路の最適化、放電電極形状の最適化、さらにはガス中の不純物を抑制するための真空排気技術の向上により、クリプトン10気圧まで安定なグロー放電を達成することに成功した。このときの入力電力は20MW/cc程度であり、レーザー発振がすでに実現している電子ビーム励起方式のそれと比べて同程度の値を達成することができた。ここまでの研究結果をもとに放電励起装置に光共振器を構成した。予想される発振波長148nm付近で反射率が85%という国内で得られる最も品質の高い共振器鏡を用いて、真空紫外光の発光スペクトルを測定したところ、自然放出光のスペクトル幅が13nm程度あったものが、レーザー発振に伴いスペクトル幅は測定器の検出限界の0.4nmまで狭帯域化された。このことで世界で初めての放電励起希ガスエキシマレーザーの実現が裏付けられた。また出力エネルギーは0.15mJであり、小信号利得係数は1.1%/cmと見積もられた。
This study で は, small discharge excitation device を use い て bush ガ ス atoms (Kr) を excitation し, レ ー ザ ー 発 vibration を be presently す る こ と に め the early で て successful し た. Discharge プ ラ ズ マ の suppression と optical resonator device が small の discharge excitation up の quality で は こ れ ま で report が な か っ た vacuum ultraviolet レ ー ザ ー を be presently し た big き な by で あ る と exam え て い る. Quantum dry involved working fruit を using す る た め の bush ガ ス に discharge エ ネ ル ギ ー を plus え て bush ガ ス の excitation state を generated し た. Yesterday in ま で の research で は パ ル ス silent discharge excitation way を use い て い た が, current density, the force パ ワ ー density を girder violations い に raised plus さ せ る た め に は こ の way で は limit が あ る こ と が わ か っ た. そ こ で 従 to discharge レ ー ザ ー に with い ら れ て い る ultraviolet light to stand by ionization を い る に capacity transitional type discharge way - more し た. こ の discharge excitation up way で は silent discharge の big occasions と き く different な り, high 気 圧 (10 気 圧 degree) の bush ガ ス で settle な グ ロ ー discharge を be presently す る こ と は very difficult に で あ っ た. し か し な が ら, discharge excitation circuit の の optimization, discharge electrode shape optimization, さ ら に は ガ ス の in impurity content を inhibit す る た め の vacuum exhaust 気 technology の upward に よ り, ク リ プ ト ン 10 気 圧 ま で settle な グ ロ ー discharge を reached す る こ と に successful し た. こ の と き の power into force は 20 mw/cc degree で あ り, レ ー ザ ー 発 vibration が す で に be presently し て い る electronic ビ ー ム wound up way の そ れ と than べ て with degree の numerical を reached す る こ と が で き た. The research results of を を とに とに, the discharge excitation device に, and the optical resonator を constitute た た. To think さ れ る 発 resonance wavelength of 148 nm pay nearly 85% で reflectance が と い う で to domestic ら れ る も most high quality の い を resonator mirror with い て, vacuum ultraviolet の 発 light ス ペ ク ト ル を determination し た と こ ろ, natural emit light の ス ペ ク ト ル が picture 13 nm level あ っ た も の が, レ ー ザ ー 発 vibration に with い ス ペ ク ト ル picture は tester の 検 out The boundary is 0.04nm まで narrowband domainization された. <s:1> とで とで the world で initial めて めて <s:1> discharge excitation ガスエキシ レ レ ザ ザ が けられた the actual が is けられた. Youdaoplaceholder0 output force エネ エネ ギ ギ <s:1> また 0.15mJであ また, small signal gain coefficient また 1.1%/cmと product られた られた.
项目成果
期刊论文数量(22)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
S.Kubodera,J.Kawanaka,W.Sasaki: "Vacuum ultraviolet Ar excimer emission initiated by high intensity laser produced electrons"Optics Communications. 182. 407-412 (2000)
S.Kubodera,J.Kawanaka,W.Sasaki:“由高强度激光产生的电子引发的真空紫外Ar准分子发射”光学通讯。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
Shoichi Kubodera: "Ar excimer emission prodeuces from Ar dimers"Broceednys of JAERI Sympostum. (印刷中).
Shoichi Kubodera:“Ar 准分子发射由 Ar 二聚体产生”Broceednys of JAERI Sympostum(正在出版)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
中島耕作,横谷篤至,窪寺昌一,黒澤宏,佐々木亘: "放電励起希ガスエキシマレーザーに関する研究"宮崎大学工学部紀要. 29. 85-90 (2000)
中岛耕作、横谷敦、久保寺庄一、黑泽宏、佐佐木渡:“放电泵浦稀有气体准分子激光器的研究”宫崎大学工学部通报29. 85-90 (2000)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
南畑亮,河仲準二,窪寺昌一,佐々木亘: "電子ビーム励起希ガスエキシマレーザー"宮崎大学工学部紀要. 28. 175-180 (1999)
Ryo Minamihata、Junji Kawanaka、Shoichi Kubodera、Wataru Sasaki:“电子束激发稀有气体准分子激光器”宫崎大学工学部通报 28. 175-180 (1999)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
吉原 真哉: "真空紫外光によるSiウェハーの低温プロセス"宮崎大学工学部起要. 28. 181-188 (1999)
Shinya Yoshihara:“使用真空紫外光的硅晶片的低温处理”,宫崎大学工学部,28. 181-188 (1999)。
- DOI:
- 发表时间:
- 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
- 通讯作者:
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}
{{ item.title }}
- 作者:
{{ item.author }}
数据更新时间:{{ patent.updateTime }}
窪寺 昌一其他文献
Influence of park usage and travel behavior on health-related QOL: A cause-effect structural analysis
公园使用和出行行为对健康相关生活质量的影响:因果结构分析
- DOI:
- 发表时间:
2012 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
大道 博行;鈴木 庸司;河内 哲哉;福田武司;中桐 俊男;加来 昌典;窪寺 昌一;Junyi ZHANG and Toshio KOBAYASHI - 通讯作者:
Junyi ZHANG and Toshio KOBAYASHI
マイクロ・ナノプラズマ技術とその産業応用(第8章)Micro-/Nano-Plasma Technology and Industrial Applications
微/纳米等离子体技术及工业应用(第8章)
- DOI:
- 发表时间:
2006 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
東口 武史;窪寺 昌一 - 通讯作者:
窪寺 昌一
真空紫外線のナトリウム透過特性の測定
真空紫外光钠透过特性的测量
- DOI:
- 发表时间:
2012 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
大道 博行;鈴木 庸司;河内 哲哉;福田武司;中桐 俊男;加来 昌典;窪寺 昌一 - 通讯作者:
窪寺 昌一
"Molecular design of microbial rhodopsins"
“微生物视紫红质的分子设计”
- DOI:
- 发表时间:
2013 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
大道 博行;鈴木 庸司;河内 哲哉;福田武司;中桐 俊男;加来 昌典;窪寺 昌一;H. Kandori - 通讯作者:
H. Kandori
SiO2/TiO2誘電体多層膜を用いたヘテロコア光ファイバ センサの温度特性評価
SiO2/TiO2介质多层膜异芯光纤传感器温度特性评估
- DOI:
- 发表时间:
2020 - 期刊:
- 影响因子:0
- 作者:
油橋 孝二;西山 道子;窪寺 昌一;渡辺 一弘 - 通讯作者:
渡辺 一弘
窪寺 昌一的其他文献
{{
item.title }}
{{ item.translation_title }}
- DOI:
{{ item.doi }} - 发表时间:
{{ item.publish_year }} - 期刊:
- 影响因子:{{ item.factor }}
- 作者:
{{ item.authors }} - 通讯作者:
{{ item.author }}
{{ truncateString('窪寺 昌一', 18)}}的其他基金
フェムト秒レーザー加工分光セルを用いる生体分子検出システムの開発
飞秒激光加工分光池生物分子检测系统的研制
- 批准号:
24K08086 - 财政年份:2024
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Scientific Research (C)
超高圧希ガスを用いる超小型真空紫外マイクロレーザーへの挑戦
使用超高压稀有气体挑战超小型真空紫外微型激光器
- 批准号:
18656106 - 财政年份:2006
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
新しい卓上型短波長レーザー発振への挑戦
挑战新型桌面短波长激光振荡
- 批准号:
16656111 - 财政年份:2004
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
相似海外基金
新しい卓上型ハイブリッド励起真空紫外レーザー発振への挑戦
挑战新型桌面混合激发真空紫外激光振荡
- 批准号:
19656086 - 财政年份:2007
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
Analysis and control of the photon-induced dynamics of molecular systems by short-pulse ultraviolet and vacuum ultraviolet radiation (B 10)
短脉冲紫外和真空紫外辐射对分子系统光子诱导动力学的分析和控制(B 10)
- 批准号:
47571353 - 财政年份:2007
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Collaborative Research Centres
The Effects of Vacuum Ultraviolet Radiation on the Processing of Electronic Materials
真空紫外辐射对电子材料加工的影响
- 批准号:
0306582 - 财政年份:2003
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Continuing Grant
連続発振真空紫外レーザーをめざす高密度非平衡マイクロ放電の研究
连续波真空紫外激光高密度非平衡微放电研究
- 批准号:
14658131 - 财政年份:2002
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
波長可変真空紫外レーザーおよび画像観測法による状態選別した化学反応動力学の研究
波长可调谐真空紫外激光选态化学反应动力学及图像观察方法研究
- 批准号:
01J02635 - 财政年份:2001
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
全固体式真空紫外レーザーの実現
全固态真空紫外激光器的实现
- 批准号:
09875083 - 财政年份:1997
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Exploratory Research
真空紫外レーザー光励起による高励起状態の光分解動力学
真空紫外激光激发高激发态光解动力学
- 批准号:
06740461 - 财政年份:1994
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
真空紫外レーザー高分解能光電子分光法による4〜7原子から成るイオン分子の構造決定
真空紫外激光高分辨率光电子能谱测定4~7个原子组成的离子分子的结构
- 批准号:
04854010 - 财政年份:1992
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)
The Ninth International Conference on Vacuum Ultraviolet Radiation Physics, Honolulu, Hawaii, July 17-21, 1989
第九届真空紫外辐射物理国际会议,夏威夷檀香山,1989 年 7 月 17-21 日
- 批准号:
8905822 - 财政年份:1989
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Standard Grant
真空紫外レーザー螢光法によるプラズマ中の粒子計測
采用真空紫外激光荧光法测量等离子体中的颗粒
- 批准号:
01750039 - 财政年份:1989
- 资助金额:
$ 1.41万 - 项目类别:
Grant-in-Aid for Encouragement of Young Scientists (A)