鉄原子マッピング観察のための顕微メスバウア分光装置の開発

开发用于铁原子测绘观测的微型穆斯堡尔谱仪

• 批准号: 17656009
• 负责人: 吉田 豊
• 金额: $ 1.79万
• 依托单位: Shizuoka Institute of Science and Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for Exploratory Research
• 财政年份: 2005
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 2005 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-17656009/
• 关键词: 多結晶太陽電池材料; 鉄不純不純物; メスアバウア分光; 顕微測定; 格子欠陥分布; 鉄ゲッタリング; 拡散・析出; キャリア捕捉

マルチキャピラリX線レンズ"とマイクロチャンネルプレートを組み合わせた顕微メスバウア分光装置(2次元位置敏感型メスバウア分光装置)を開発した."マルチキャピラリX線レンズ"により平行ビームとして集光し,^<57>Feで無反跳γ線吸収後の内部転換電子計測による2次元位置敏感型メスバウア・スペクトルの測定を行った.これにより,鉄を熱拡散により故意汚染したシリコンウェーハ表面から100nmまでの深さに存在する鉄不純物の格子位置や鉄シリサイド同定し,さらにウェーハ面内、数μmの空間分解能での^<57>Fe2次元画像観察を目指した.・50mCiの高密度^<57>Co線源(直径4mmの有効径)からの^<57>Fe-14.4keVγ線を数ミクロンの細孔を多数有する"マルチキャピラリX線レンズ"で集光し、直径0.2mmの平行ビームを取り出した(島津製作所より購入).これにより,単純な鉛コリメータを利用する場合に比べて、強度を約3桁向上させ,メスバウア・スペクトルの2次元マッピング測定を可能にした.・2次元位置敏感型メスバウア分光装置とするために,試料を測定チェンバー内のX-Yステージに固定し,これをステップモーターで制御し,X-Yの関数として内部転換電子によるメスバウア・スペクトル測定を行った.レンズ位置および光軸調整をしながら最適画像が得られる条件を系統的に探し、シミュレーションと比較・検討した。・^<57>Feを熱拡散やイオン注入により故意汚染したシリコンウェーハを本装置でマッピング観察を行い,表面から100nmまでの深さに存在する^<57>Fe不純物の格子位置や鉄シリサイド分布を数10μmの空間分解能で観察した。・2006年春の応用物理学関連連合講演会・結晶工学の一般講演および多結晶シリコン太陽電池に関するシンポジウムで発表した。

In the first place, we need to realize the operation of the two-dimensional position-sensitive spectroscopic device (2-D position-sensitive spectroscopic device). In order to improve the accuracy of the two-dimensional position-sensitive device, the two-dimensional position-sensitive device is used for the measurement of the two-dimensional position sensitive device of the internal electronic computer, which is sensitive to the position of the two-dimensional electronic computer, the lt;57>Fe has no rebound gamma-ray absorption, and the two-dimensional position-sensitive device is sensitive. In this case, it is not necessary to intentionally dye the 100nm on the surface of the surface. The location of the object lattice is the same as that in the plane, several μ m space decomposition energy analysis ^ & lt;57>Fe2 dimensional portrait is observed. 50mCi high-density ^ & lt;57>Co source (diameter 4mm has a diameter). Most of the holes have a parallel diameter of 0.2mm to collect light, and the diameter is parallel to collect light. In this paper, we use the combination of the temperature, the strength and the strength of the truss to measure the possibility of the rise of the truss. The two-dimensional position-sensitive spectroscopic device is sensitive to the position, and the material is used to determine that the equipment is fixed, and that the system is fixed. The number of X-ray, Y, Y. The location of the camera, the light, and the most accurate portrait of the system are compared to each other. ^ & lt;57>Fe dispersive devices are injected into the system deliberately. This device is used to observe the line of observation. There is a temperature in the surface of the 100nm. The position of the lattice is different from that of the lt;57>Fe. The distribution number is 10 μ m. The space decomposition can be used to detect. In the spring of 2006, the Institute of Physics and Engineering will conduct a general demonstration of the performance of the multi-method computer and the performance of the computer pool.

项目成果

"メスバウア分光鉄顕微鏡"の開発

开发“穆斯堡尔光谱铁显微镜”

• 发表时间: 2006
• 期刊: 第53回応用物理学関連連合講演会・講演予稿集 No1
• 作者: 鈴木都文;吉田 豊;早川一生;行平憲一;副島啓義
• 通讯作者: 副島啓義