Ta/Cu/Ta薄膜で発現する特異なTaキャップ効果

Ta/Cu/Ta 薄膜表现出独特的 Ta 帽效应

基本信息

  • 批准号:
    18656202
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.18万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 财政年份:
    2006
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2006 至 2008
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

Si基板上にスパッタ法によりTaバリア層(35nm)、Cuを順次成膜したTa/Cu、更にTaキャップ(5nm)を付加したTa/Cu/Taについて、弾性率測定、X線回折実験および走査電子顕微鏡観察を行った。Cu膜は<IH>配向性が高く、Cu(III)からのX線回折強度Icu(III)の膜厚依存性を調べた。膜厚500nm以下ではIcu(III)の理論値は膜厚に比例して減少する.Ta/CuからのIcu(III)は、膜厚200nm-30nmの間は膜厚に比例して減少するが、30nm以下では階段状に数分の1に低下する.オメガスキャンの結果から、30nm以下でIcu(III)が低下するのは<III>配向性分布が大きくなったためであることが分かった.試料積層時には膜厚は連続的に増えるから、30nmを越すとCuキャップ効果により既存の30nm部分の結晶粒の<III>配向性が高くなることを意味する.TalCu1Taでは、Icu(III)の30nm以下での低下はなだらかになっており、Taキャップ効果により既存の30nm部分の結晶粒の<III>配向性が高くなることを意味する.一方、Cu弾性率が、tCu<100nmでは理論値から外れて低い値を示し、その程度はTa1Cu1Taで著しいが、この弾性率低下はナノ構造における結晶粒界層の擬弾性に起因している。金ナノ結晶ではクリープ変形は結晶粒の回転により進行することから、CuキャップおよびTaキャップによる応力発生に起因して<IH>配向性を高めるような粒回転が起きたと推測される.30nm前後でCuキャップ効果が異なることは、配線幅が30nm以下になると組織変化が起きる可能性を示唆する.
Si substrate with Ta layer (35nm), Cu layer (5 nm), Ta/Cu layer (5nm), Ta/Cu layer (5nm), conductivity measurement, X-ray reflection, and electron microscopy. Cu film has <IH>high anisotropy, Cu(III) and X-ray reflection intensity Icu(III), and film thickness dependence. The theoretical value of Icu(III) decreases when the film thickness is below 500nm.Ta/Cu decreases when the film thickness is between 200nm and 30 nm. Icu(III) is lower than 30nm, and the anisotropy distribution is larger than 30nm<III>. When the sample is laminated, the film thickness is increased, and the 30nm thickness is exceeded. Cu (III) has a higher alignment than the 30nm portion<III>. Cu (III) has a lower alignment than the 30 nm portion. Cu (III) has a higher alignment than the 30nm portion<III>. On the one hand, the Cu resistivity is high, tCu&lt;100nm, the theoretical value is low, the degree is low, the resistivity is low, the structure is low, the crystal boundary layer is pseudo-crystalline. The <IH>origin of the force generation of the crystal grain is high. The origin of the force generation of the crystal grain is high. The origin of the force generation of the crystal grain is high. The origin of the force generation of the crystal grain is high. The origin of the force generation of the force generation of the crystal grain is high. The origin of the force generation of the force generation is high. The origin of the force generation of the force generation is high. The origin of the force generation of the

项目成果

期刊论文数量(3)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Morphology Control of Nanoporous Au by Post-Compression
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  • DOI:
  • 发表时间:
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  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    杉森貴之;谷本久典;水林博
  • 通讯作者:
    水林博
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2007
  • 期刊:
  • 影响因子:
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  • 作者:
    H. Mizubayashi;I. Nakamuura;K. Yamagishi;H. Tanimoto
  • 通讯作者:
    H. Tanimoto
{{ item.title }}
{{ item.translation_title }}
  • DOI:
    {{ item.doi }}
  • 发表时间:
    {{ item.publish_year }}
  • 期刊:
  • 影响因子:
    {{ item.factor }}
  • 作者:
    {{ item.authors }}
  • 通讯作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ journalArticles.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ monograph.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ sciAawards.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ conferencePapers.updateTime }}

{{ item.title }}
  • 作者:
    {{ item.author }}

数据更新时间:{{ patent.updateTime }}

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    {{ item.factor }}
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{{ showInfoDetail.title }}

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