大強度パルス重イオンビーム照射により材料表面の汚染層を剥離して除去する技術の開発

开发利用高强度脉冲重离子束照射剥离去除材料表面污染层的技术

基本信息

  • 批准号:
    18656270
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 2.18万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
  • 财政年份:
    2006
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    2006 至 2007
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

本年度は,まず昨年度に建設したレーザーイオン源と誘導線型加速器からなる大強度パルスイオンビーム発生装置からビームを取り出し,ビーム電流測定及びビーム集束試験を行った.ポリエチレンターゲットをレーザーで照射して陽子ビームの発生を試みたが,炭素イオンが混合して陽子ビームの純度が低下することが分った.またポリエチレンは低融点のためレーザーの照射により表面に凹凸が生じ,短時間でビーム出力が著しく低下することが分った.そこで,レーザー照射に対して耐久性があり,長時間安定にビームを発生できる黒鉛ターゲットを用い,炭素イオンビームを照射することにした.イメージングプレート及び感熱紙を照射してビーム径の測定を行い,同心球状電極のほぼ中心でビームが集束することを確認した.レーザーの照射強度を調整し,焦点でビーム電流密度約1A/cm2を得た.次に表面を鏡面研磨したオーステナイト系ステンレス鋼試料にビームを照射し,表面層の剥離除去実験を行った.積算照射量の増加とともに表面の黒化が見られた.結局,固溶限を超える濃度の炭素原子を注入することに成功した.しかし表面の剥離は観察できなかった.照射後試料に10MeVの35Clビームを入射角30度で照射し,弾性反跳検出分析(ERDA)法により打ち込まれた炭素原子の深さプロファイル測定を試みた.一次イオンビーム,試料標的及び荷電粒子検出器等の配置に基づく運動学的計算との比較を行った結果,深さ60nmをピークとして炭素イオンが注入されていることが明らかになった.絶対濃度もビーム照射量からの計算結果と10%程度の誤差範囲内で一致した.ピークの深さ60nmはモンテカルロ計算コードTRIMによる計算結果の半分程度であり,この差は試料表面の粗さに起因することが分った.
This year は ま ず yesterday annual に construction し た レ ー ザ ー イ オ ン source と induction linear accelerator か ら な る intensive パ ル ス イ オ ン ビ ー ム 発 raw device か ら ビ ー ム を take り し, ビ ー ム rheometry and び ビ ー ム cluster test line を っ た. ポ リ エ チ レ ン タ ー ゲ ッ ト を レ ー ザ ー で irradiation し て yoko ビ ー ム の 発 raw を try み た が, carbon イ オ ン が mixed し て yoko ビ ー ム の low purity が す る こ と が points っ た. ま た ポ リ エ チ レ ン は low melting point の た め レ ー ザ ー の irradiation に よ に り surface concave and convex が じ, short time で ビ ー ム output が the し く low す る こ と が points っ た. そ こ で, レ ー ザ ー irradiation に し seaborne て durability が あ り, long settle に ビ ー ム を 発 で き る black lead タ ー ゲ ッ ト を い, carbon イ オ ン ビ ー ム を irradiation す る こ と に し た. イ メ ー ジ ン グ プ レ ー ト and び thermal paper を irradiation し て ビ ー の ム diameter measurement を い, concentric spherical electrode の ほ ぼ center で ビ ー ム が cluster す る こ と を confirm し た. レ ー ザ ー の irradiation intensity を adjust し, focus で ビ ー ム current density of about 1 a/c m2を gives た. に を mirror surface grinding し た オ ー ス テ ナ イ ト department ス テ ン レ ス steel sample に ビ ー ム し を exposure, surface layer の detachment remove be 験 を line っ た. Integrating exposure の raised plus と と も に surface の black が see ら れ た. Ending, solid solution limit を super え る concentration の carbon atoms を injection す る こ と に successful し た. し か し surface の stripping は 観 examine で き な か っ た. Sample after irradiation に 10 mev の 35 cl ビ ー ム を し で exposure incident Angle of 30 degrees, 弾 sex bounce 検 out analysis method (ERDA) に よ り play ち 込 ま れ た carbon atoms の deep さ プ ロ フ ァ イ ル determination を try み た. Try a イ オ ン ビ ー ム, mark and び charged particles 検 extractor etc. の configuration に base づ く kinematics calculation と の is line を っ た result, deep さ 60 nm を ピ ー ク と し て carbon イ オ ン が injection さ れ て い る こ と が Ming ら か に な っ た. Unique concentration seaborne も ビ ー ム exposure か ら の 10% degree fan 囲 の error calculation results と で consistent し た. ピ ー ク の deep さ 60 nm は モ ン テ カ ル ロ computing コ ー ド TRIM に よ る results の half degree で あ り, こ の poor は の sample surface coarse さ に cause す る こ と が points っ た.

项目成果

期刊论文数量(2)
专著数量(0)
科研奖励数量(0)
会议论文数量(0)
专利数量(0)
Development of a Surface Decontamination Technique Using High-Power Ion Irradiation
使用高功率离子辐照的表面净化技术的开发
ハイパワーパルスイオンビームによる材料表面汚染除去技術の研究
高功率脉冲离子束材料表面污染物去除技术研究
  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    久保拓弥;粕谷英一;高橋聖生・市野隆雄;高橋聖生・半田千尋・市野隆雄;新國崇之
  • 通讯作者:
    新國崇之
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小栗 慶之其他文献

内包フラーレン生成のためのイオン注入装置の開発
开发用于内嵌富勒烯生产的离子注入装置
  • DOI:
  • 发表时间:
    2009
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    片渕 竜也;渡辺 智;長谷川 純;小栗 慶之
  • 通讯作者:
    小栗 慶之
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  • DOI:
  • 发表时间:
    2008
  • 期刊:
  • 影响因子:
    0
  • 作者:
    片渕 竜也;渡辺 智;長谷川 純;小栗 慶之;T. Satoh
  • 通讯作者:
    T. Satoh

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