课题基金 / 基金详情

高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と表面の評価

高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と表面の評価
高功率紫外激光器光学平面的超精密加工和表面评估
批准号：
06650154
负责人：
難波 義治
金额：
$1.28万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1994
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1994 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-06650154/
关键词：
紫外レーザCVD-SiC超精密研削表面粗さ延性研削レーザ耐力反射率フラクタル

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究は、紫外の高出力レーザに使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する平面光学素子を提供し、高出力エキシマ・レーザおよびレーザ核融合の開発を側面より強力に支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。1)金属は赤外および可視域では高い反射率を示すが、紫外域では急速に反射率が低下し、200nm以下ではSiCの反射率の方が高くなる。そこで、高出力紫外レーザ用反射鏡材料として高融点で熱伝導が高く鏡面加工ができるCVD-SiCを採用することを考え、これをレジノイドボンドダイヤモンド砥石と超精密平面研削盤で超精密研削した。その結果、捨て研削をして砥粒切れ刃の高さを調整することにより、研削のみで表面粗さ0.4nm rmsの鏡面が得られた。2)CVD-SiCをレジノイドボンドタイヤモンド砥石で研削した結果、♯1500砥石で延性研削が可能であり、メタルボンドダイヤモンド砥石においては、ドレッシング直後♯2000では延性と脆性の混在面になり、♯4000で延性研削面になることが明らかとなった。3)トロイダル面を創成するため、メタルボンドダイヤモンド砥石と超精密研削加工機でCVD-SiCを研削した結果、長さ500mm、幅50mmの試料をサブミクロンの精度で非球面加工することができた。4)表面粗さの解析法として、フラクタルを利用した方法を考案し、各種測定法間の測定値の互換性を得ることが出来るようになった。
英文摘要
本研究は、紫外の高出力レーザに使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する平面光学素子を提供し、高出力エキシマ・レーザおよびレーザ核融合の開発を側面より強力に支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。1)金属は赤外および可視域では高い反射率を示すが、紫外域では急速に反射率が低下し、200nm以下ではSiCの反射率の方が高くなる。そこで、高出力紫外レーザ用反射鏡材料として高融点で熱伝導が高く鏡面加工ができるCVD-SiCを採用することを考え、これをレジノイドボンドダイヤモンド砥石と超精密平面研削盤で超精密研削した。その結果、捨て研削をして砥粒切れ刃の高さを調整することにより、研削のみで表面粗さ0.4nm rmsの鏡面が得られた。2)CVD-SiCをレジノイドボンドタイヤモンド砥石で研削した結果、♯1500砥石で延性研削が可能であり、メタルボンドダイヤモンド砥石においては、ドレッシング直後♯2000では延性と脆性の混在面になり、♯4000で延性研削面になることが明らかとなった。3)トロイダル面を創成するため、メタルボンドダイヤモンド砥石と超精密研削加工機でCVD-SiCを研削した結果、長さ500mm、幅50mmの試料をサブミクロンの精度で非球面加工することができた。4)表面粗さの解析法として、フラクタルを利用した方法を考案し、各種測定法間の測定値の互換性を得ることが出来るようになった。
期刊论文(32)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
鈴木 弘: "斜入射X線ミラー用超精密研削加工機の開発" 精密工学会誌. 60. 1309-1313 (1994)
Hiroshi Suzuki：“斜入射 X 射线镜超精密磨床的开发”日本精密工程学会杂志 60. 1309-1313 (1994)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
佐伯 守彦: "有機非線形光学結晶加工面の時間的特性変化とその防止策" 1995年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. (1995)
Morihiko Saeki：“有机非线性光学晶体加工表面的时间特性变化及其预防措施”1995 年日本精密工程学会春季会议论文集（1995 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
高部英明: "レーザー研シンポジウム′94共同研究成果報告書" 大阪大学レーザー核融合センター, 232 (1994)
高部秀明：“激光实验室研讨会94联合研究结果报告”大阪大学激光融合中心，232（1994）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
難波 義治: "カップ型ダイヤモンド砥石を用いた光学ガラスの超精密研削における接触弧の形状" 1994年度砥粒加工学会学術講演会講演論文集. 425-428 (1994)
Yoshiharu Namba：“使用杯形金刚石砂轮进行光学玻璃超精密磨削中的接触弧形状”磨料加工学会 1994 年学术会议论文集 425-428 (1994)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 16 条
    次世代高性能硬Ｘ線非球面望遠鏡の超平滑面創成
    • 批准号：
      13F03056
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $1.47万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    超精密ダイヤモンド工具刃先のin situナノ形状計測による超精密加工技術
    • 批准号：
      16656054
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    レーザ・フォーミング法を利用した超精密光軸調整法の開発研究
    • 批准号：
      11875016
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.22万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    宇宙X線望遠鏡用反射鏡の製作とその表面評価の研究
    • 批准号：
      97F00316
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $0.9万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    海外基金