课题基金 / 基金详情

高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と表面の評価

高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と表面の評価
高功率紫外激光器光学平面的超精密加工和表面评估
批准号：
04650120
负责人：
難波 義治
金额：
$1.41万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04650120/
关键词：
アルミニウム反射鏡合成石英AFMフロート・ポリシング超精密研削超精密ダイヤモンド切削レーザ耐力表面粗さ

项目摘要

项目成果

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中文摘要
翻译
本研究は、紫外の高出力レーザに使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する平面光学素子を提供し、高出力エキシマ・レーザおよびレーザ核融合の開発を側面より強力に支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。本研究の研究実績および結果を要約すると以下のようである。1)各種光学ガラス並びに非線形光学結晶の紫外透過率の測定を行なった。2)紫外用に新たに開発された光学ガラスを超精密平面研磨し、2オングストロームrmsの表面粗さを得た。3)光学材料内部の欠陥並びに加工による表面直下の欠陥を測定する方法として内部全反射顕微鏡を開発した。4)合成石英を超精密平面研磨することにより表面粗さ0.7オングストロームrmsを得た。5)光学ガラスの超精密研削面を走査型原子間力顕微鏡で測定した結果、測定範囲50μm角で2オングストロームrms以下の世界で最も滑かな研削面を得た。6)赤外から紫外にかけて一定の反射率を有するアルミニウムを超精密ダイヤモンド切削し、パルス幅3nseeのレーザを照射してレーザ損傷のしきい値を測定した結果、1064nmでは7.2J/mm^2、532nmでは1.8J/mm^2、355nmでは1.2J/mm^2、266nmでは0.8J/mm^2のレーザ耐力が得られた。
英文摘要
本研究は、紫外の高出力レーザに使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する平面光学素子を提供し、高出力エキシマ・レーザおよびレーザ核融合の開発を側面より強力に支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。本研究の研究実績および結果を要約すると以下のようである。1)各種光学ガラス並びに非線形光学結晶の紫外透過率の測定を行なった。2)紫外用に新たに開発された光学ガラスを超精密平面研磨し、2オングストロームrmsの表面粗さを得た。3)光学材料内部の欠陥並びに加工による表面直下の欠陥を測定する方法として内部全反射顕微鏡を開発した。4)合成石英を超精密平面研磨することにより表面粗さ0.7オングストロームrmsを得た。5)光学ガラスの超精密研削面を走査型原子間力顕微鏡で測定した結果、測定範囲50μm角で2オングストロームrms以下の世界で最も滑かな研削面を得た。6)赤外から紫外にかけて一定の反射率を有するアルミニウムを超精密ダイヤモンド切削し、パルス幅3nseeのレーザを照射してレーザ損傷のしきい値を測定した結果、1064nmでは7.2J/mm^2、532nmでは1.8J/mm^2、355nmでは1.2J/mm^2、266nmでは0.8J/mm^2のレーザ耐力が得られた。
期刊论文(12)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Y.Namba: "Ultra-Precision Machining and its Applications for X-Ray/EUV Optics" Preceedings of Sino-Japan Symposium on Engineering Optics. 160-165 (1992)
Y.Namba：“X射线/EUV光学超精密加工及其应用”中日工程光学研讨会论文集。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
吉田 国雄: "高レーザー耐力多層膜光学素子技術" 核融合研究. 68. 227-233 (1992)
Kunio Yoshida：“高激光强度多层光学元件技术” Fusion Research 68. 227-233 (1992)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y.Namba: "Surface Structure of Mn-Zn Ferrite Siugle Crystals Ground by an Ultra-Precision Surface Grinder with Various Diamond Wheels" Annals of the CIRP. 41. 347-351 (1992)
Y.Namba：“使用各种金刚石砂轮的超精密平面磨床研磨锰锌铁氧体 Siugle 晶体的表面结构”CIRP 年鉴。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y.Namba: "Ultra-Precision Griuding of Optical Glasses to Produce Super-Smooth Surfaces" Annals the CIRP. 42. (1993)
Y.Namba：“光学玻璃超精密研磨以产生超光滑表面”CIRP 编年史。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    次世代高性能硬Ｘ線非球面望遠鏡の超平滑面創成
    • 批准号：
      13F03056
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $1.47万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    超精密ダイヤモンド工具刃先のin situナノ形状計測による超精密加工技術
    • 批准号：
      16656054
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    レーザ・フォーミング法を利用した超精密光軸調整法の開発研究
    • 批准号：
      11875016
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.22万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    宇宙X線望遠鏡用反射鏡の製作とその表面評価の研究
    • 批准号：
      97F00316
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $0.9万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    海外基金