课题基金 / 基金详情

次世代高性能硬X線非球面望遠鏡の超平滑面創成

次世代高性能硬X線非球面望遠鏡の超平滑面創成
为下一代高性能硬X射线非球面望远镜创建超光滑表面
批准号:
13F03056
负责人:
難波 義治
金额:
$1.47万
依托单位:
依托单位国家:
日本
项目类别:
Grant-in-Aid for JSPS Fellows
财政年份:
2013
资助国家:
日本
项目状态:
已结题
起止时间:
2013-04-01 至 2015-03-31

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项目成果

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欧米の協力の下に日本が2015年度に打上げる硬X線望遠鏡と軟X線望遠鏡を搭載したX線天文衛星ASTRO-Hの開発は終了し、現在は打ち上げ前の種々のテストを行っている。高性能な硬X線望遠鏡を開発するには現状の円錐近似の反射鏡ではなく、正確な回転放物面と回転双曲面からなる反射鏡が必須であり、軽量化のためには超精密な非球面金型からレプリカ法で非球面反射鏡基板を製作する方法がベストである。従来は前加工のし易さからアルミニウム合金を超精密ダイヤモンド切削し、それに無電解ニッケルを成膜し、ダイヤモンド切削と研磨で非球面金型を製作する方法と合成石英を研削・研磨して非球面金型を製作する方法を研究開発して来た。しかし、日米欧の経済状態から次世代の硬X線望遠鏡にはより安価に非球面金型を製作する技術の開発が急務となった。特に、合成石英の非球面研磨では所用の形状を創成するのに年単位の時間が必要であった。そこで、本年度は、前加工が極めて容易なグラファイトを金型材料として採用し、非球面切削後に炭化珪素を化学気相成長させ、その表面をこの研究で開発したShape Adaptive Grinding (SAG)工具で研削する方法を見出した。この工具は研究室内で極めて容易に製作でき、工具寿命も10時間以上あり、表面粗さ0.4nm Ra以下の面を従来法に比べ1~2桁高能率な10~100mm3/minの除去速度で加工できることを見出した。液晶用ガラスをX線反射鏡基板として使う場合に使用できる非球面金型をこのSAG研削のみで製作できることが判明し、次世代の高性能硬X線非球面望遠鏡の新しい製作法として注目を浴びている。この研究により研究分担者は国際生産工学アカデミー(CIRP)より2015年8月にTaylor Medalを受賞することになった。
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专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Edge control in CNC polishing : simulation and validation of tool influence functions on edges
CNC抛光中的边缘控制:刀具对边缘影响函数的模拟和验证
DOI: --
发表时间: 2013
期刊: Optics Express
影响因子: 3.8
作者: [C. H. Lee, T. Nishimura, T. Tabata, D. D. Zhao, K. Nagashio, and A. Toriumi, H. Li]
通讯作者: H. Li
DOI: 10.1016/j.cirp.2013.03.010
发表时间: 2013-01-01
期刊: CIRP ANNALS-MANUFACTURING TECHNOLOGY
影响因子: 4.1
作者: [Beaucamp, Anthony, Namba, Yoshiharu]
通讯作者: Namba, Yoshiharu
Finishing of EUV photomask substrates by CNC precessed bonnet polisher
使用 CNC 加工机盖抛光机对 EUV 光掩模基板进行精加工
DOI: --
发表时间: 2013
期刊: Proc. SPIE
影响因子: --
作者: [Md. Anisuzzaman Siddique, Asif Zaman, Yasuhiko Morimoto, A. Beaucamp]
通讯作者: A. Beaucamp
SAG工具の開発とその硬質セラミックス金型への応用
SAG刀具的研制及其在硬质陶瓷模具中的应用
DOI: --
发表时间: 2014
期刊:
影响因子: --
作者: [Anthony Beaucamp, Yoshiharu Namba]
通讯作者: Yoshiharu Namba
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    超精密ダイヤモンド工具刃先のin situナノ形状計測による超精密加工技術
    • 批准号:
      16656054
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额:
      $2.24万
    • 财政年份:
      2004
    • 负责人:
      難波 義治
    • 依托单位:
    レーザ・フォーミング法を利用した超精密光軸調整法の開発研究
    • 批准号:
      11875016
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额:
      $1.22万
    • 财政年份:
      1999
    • 负责人:
      難波 義治
    • 依托单位:
    宇宙X線望遠鏡用反射鏡の製作とその表面評価の研究
    • 批准号:
      97F00316
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额:
      $0.9万
    • 财政年份:
      1998
    • 负责人:
      難波 義治
    • 依托单位:
    高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と表面の評価
    • 批准号:
      07650154
    • 项目类别:
      Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
    • 资助金额:
      $1.41万
    • 财政年份:
      1995
    • 负责人:
      難波 義治
    • 依托单位: