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高感度ファブリ・ペロー干渉計用光学面の研究

高感度ファブリ・ペロー干渉計用光学面の研究
高灵敏度法布里-珀罗干涉仪光学表面研究
批准号：
04234212
负责人：
難波 義治
金额：
$1.6万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1992 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-04234212/
关键词：
ファブリ・ペロー干渉計フロート・ポリシング超精密研削超精密研磨表面粗さレーザ損傷内部全反射顕微鏡散乱

项目摘要

项目成果

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本研究は、高感度ファブリ・ペロー干渉計に使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する光学素子を提供し、同干渉計による重力波の検出を側面より支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。また、高反射率・低損失ミラーの製作においては、散乱の原因となる光学面の表面粗さ並びに加工変質層が極めて重要であることは論を待たない。本研究の研究実績および結果を要約すると以下のようである。1)光学材料に超精密研削並びに各種超精密研磨を施し、研削のみで2オングストロームrms以下の面が得られるようになった。2)超鏡面の表面評価には、クラス10のクリーンルーム内の超高感度ノマルスキー式微分干渉顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、Talystepを使用した超精密表面粗さ解析システム、非接触超精密表面形状測定器TOPO2Dおよび3Dを用いて、加工表面の幾何学的評価を行なった。その結果、フロート・ポリシングにより1オングストロームrms以下の面が得られることが明らかとなった。3)加工による表面直下の欠陥の測定を行なうため、レーザ散乱を利用した内部全反射顕微鏡を製作した。4)レーザ核融合用光学部品を加工している従来法の光学研磨による表面のレーザ耐力よりも高いレーザ耐力が超精密研削面で得られ、フロート・ポリシング面では従来法よりも2倍高い値が得られた。この原因は、加工中のコンタミネーションの影響によるものと推測される。
期刊论文(12)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
Y.NAMBA: "Ultra-Precision Grinding of Optical Glasses to Produce Super-Smooth Surfaces" Annals of the CIRP. 42. (1993)
Y.NAMBA：“光学玻璃超精密研磨以产生超光滑表面”CIRP 年鉴。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
佐々木 孝友: "有機非線形光学結晶の育成および加工" 光学. 21. 284-285 (1992)
Takatomo Sasaki：“有机非线性光学晶体的生长和加工”光学。21. 284-285 (1992)
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
吉田 国雄: "高レーザー耐力多層膜光学素子技術" 核融合研究. 68. 227-233 (1992)
Kunio Yoshida：“高激光强度多层光学元件技术” Fusion Research 68. 227-233 (1992)。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y.NAMBA: "Ultra-Precision Grinding of Optical Glasses" OSA 1992 Technical Digest Series. 12. 144-145 (1992)
Y.NAMBA：“光学玻璃的超精密研磨”OSA 1992 技术文摘系列。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 6 条
    次世代高性能硬Ｘ線非球面望遠鏡の超平滑面創成
    • 批准号：
      13F03056
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $1.47万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    超精密ダイヤモンド工具刃先のin situナノ形状計測による超精密加工技術
    • 批准号：
      16656054
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    レーザ・フォーミング法を利用した超精密光軸調整法の開発研究
    • 批准号：
      11875016
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.22万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    宇宙X線望遠鏡用反射鏡の製作とその表面評価の研究
    • 批准号：
      97F00316
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $0.9万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University