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高感度ファブリ・ペロー干渉計用光学面の研究

高灵敏度法布里-珀罗干涉仪光学表面研究

基本信息

批准号：
04234212
负责人：
難波義治
金额：
$ 1.6万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は、高感度ファブリ・ペロー干渉計に使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する光学素子を提供し、同干渉計による重力波の検出を側面より支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。また、高反射率・低損失ミラーの製作においては、散乱の原因となる光学面の表面粗さ並びに加工変質層が極めて重要であることは論を待たない。本研究の研究実績および結果を要約すると以下のようである。1)光学材料に超精密研削並びに各種超精密研磨を施し、研削のみで2オングストロームrms以下の面が得られるようになった。2)超鏡面の表面評価には、クラス10のクリーンルーム内の超高感度ノマルスキー式微分干渉顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、Talystepを使用した超精密表面粗さ解析システム、非接触超精密表面形状測定器TOPO2Dおよび3Dを用いて、加工表面の幾何学的評価を行なった。その結果、フロート・ポリシングにより1オングストロームrms以下の面が得られることが明らかとなった。3)加工による表面直下の欠陥の測定を行なうため、レーザ散乱を利用した内部全反射顕微鏡を製作した。4)レーザ核融合用光学部品を加工している従来法の光学研磨による表面のレーザ耐力よりも高いレーザ耐力が超精密研削面で得られ、フロート・ポリシング面では従来法よりも2倍高い値が得られた。この原因は、加工中のコンタミネーションの影響によるものと推測される。

This study aims to provide high accuracy, high transmittance, high reliability and high reliability for the use of optical sensors. The biggest problem point of high output power is the damage of optical elements caused by radiation. High damage, high output, easy development, miniaturization and high reliability of the entire device This depends on the material, surface roughness, and state of the surface layer. High reflectivity, low loss, high surface roughness, high reflectivity, high reflectivity, The results of this study are as follows: 1)Ultra-precision grinding of optical materials and application of various ultra-precision grinding, grinding of the surface below 2 ° C to obtain a high quality. 2)Ultra-mirror surface evaluation, ultra-high sensitivity within the range of 10 ° C, differential optical microscopy, walk-through optical microscopy, Talystep application, ultra-precision surface rough analysis, non-contact ultra-precision surface shape measurement TOPO2D and 3D applications, geometric evaluation of machined surfaces The results of the survey are as follows: 3)The measurement of the surface roughness is performed by using the internal total reflection micromirrors. 4) The optical components for nuclear fusion are processed in the middle of the optical polishing process. The surface of the optical polishing process has a high resistance. The surface of the optical polishing process has a high resistance. The surface of the optical polishing process has a high resistance. The reason for this is that the impact of the process on the production of the product is estimated.