权益分类	功能权益	普通用户	{{item.name}}会员
{{category.name}}	{{benefitItem.name}}

高感度ファブリ・ペロー干渉計用光学面の研究

高灵敏度法布里-珀罗干涉仪光学表面研究

基本信息

批准号：
04234212
负责人：
難波義治
金额：
$ 1.6万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1992
资助国家：
日本
起止时间：
1992 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

本研究は、高感度ファブリ・ペロー干渉計に使用できる高精度、高透過率もしくは高反射率、高レーザ耐力、高信頼性を有する光学素子を提供し、同干渉計による重力波の検出を側面より支援することを目的とする。高出力レーザの現状での最大の問題点は、レーザ照射による光学素子の損傷である。レーザ損傷のしきい値が高くなれば、高出力レーザの開発が容易になると共に、装置全体を小型化し、高信頼化できる。このしきい値は材料、表面粗さ、表面層の状態に依存する。また、高反射率・低損失ミラーの製作においては、散乱の原因となる光学面の表面粗さ並びに加工変質層が極めて重要であることは論を待たない。本研究の研究実績および結果を要約すると以下のようである。1)光学材料に超精密研削並びに各種超精密研磨を施し、研削のみで2オングストロームrms以下の面が得られるようになった。2)超鏡面の表面評価には、クラス10のクリーンルーム内の超高感度ノマルスキー式微分干渉顕微鏡、走査型トンネル顕微鏡、Talystepを使用した超精密表面粗さ解析システム、非接触超精密表面形状測定器TOPO2Dおよび3Dを用いて、加工表面の幾何学的評価を行なった。その結果、フロート・ポリシングにより1オングストロームrms以下の面が得られることが明らかとなった。3)加工による表面直下の欠陥の測定を行なうため、レーザ散乱を利用した内部全反射顕微鏡を製作した。4)レーザ核融合用光学部品を加工している従来法の光学研磨による表面のレーザ耐力よりも高いレーザ耐力が超精密研削面で得られ、フロート・ポリシング面では従来法よりも2倍高い値が得られた。この原因は、加工中のコンタミネーションの影響によるものと推測される。

This research uses a high-sensitivity Fiberglass interference meter with high precision, high transmittance, high reflectivity, and high durability. , high confidence in the nature of the optical elements provided by the same, the same as the dry plan and the gravity wave of the gravity wave, the side and the support, and the purpose of the same. The current situation of the high power laser is the biggest problem, and the damage to the optical element caused by the radiation of the laser is the biggest problem.レーザdamage のしきい値が高くなれば, high power レーザの开発がeasy になると公に, the entire device is miniaturized, and high-trust 頼化できる.このしきい値は material, surface roughness, and surface layer state dependence.また、High reflectivity and low loss ミラーのにおいては、The cause of scattering となるoptics The surface roughness of the surface and the processing of the texture layer are extremely important and the treatment is very important. The research results of this study are the results of the research and the results are the following. 1) Ultra-precision grinding of optical materials and various types of ultra-precision grinding and grinding. 2) Ultra-mirror surface evaluation, クラス10のクリーンルーム内のsuper high sensitivityノマルスキー type differential dry scan microscope, walk-through type scanned scan microscope, Talyste pをUse of ultra-precision surface roughness analysis system, non-contact ultra-precision surface shape measuring device TOPO2D 3D application, and evaluation of machined surface geometry.そのRESULT, フロート・ポリシングにより1オングストロームrms の面が got られることが明らかとなった. 3) Processing the surface of the machine directly below the surface to measure the unevenness, and use the internal total reflection micromirror to make the machine. 4) Optical parts for nuclear fusion are processed by the optical polishing method and the surface is polished and the endurance is high.ーザresistant ultra-precision ground surface でられ, フロート・ポリシング面では従来法よりも 2 times higher いヤが得られた. The cause of the problem and the influence of the processing during processing are speculated on.