高出力紫外レーザ用光学平面の超精密加工と表面の評価

高功率紫外激光器光学平面的超精密加工和表面评估

基本信息

  • 批准号:
    07650154
  • 负责人:
  • 金额:
    $ 1.41万
  • 依托单位:
  • 依托单位国家:
    日本
  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
  • 财政年份:
    1995
  • 资助国家:
    日本
  • 起止时间:
    1995 至 无数据
  • 项目状态:
    已结题

项目摘要

项目成果

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  • 项目类别:
    Grant-in-Aid for Exploratory Research
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    06650154
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    1994
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