课题基金 / 基金详情

高出力紫外レ-ザ用光学平面の超精密加工と表面の評価

高出力紫外レ-ザ用光学平面の超精密加工と表面の評価
高功率紫外激光器光学平面的超精密加工和表面评估
批准号：
03650115
负责人：
難波 義治
金额：
$1.28万
依托单位：
Chubu University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1991
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1991 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-03650115/
关键词：
フロ-ト・ポリシングレ-ザ損傷超精密研削レ-ザ核融合表面粗さコンタミネ-ション

项目摘要

项目成果

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レ-ザ核融合および高出力エキシマレ-ザの開発において最も大きな問題となる紫外用光学部品の表面創成とレ-ザ損傷に関して研究を行なった結果、以下の結論が得られた。1)超精密加工後の光学材料の紫外域での透過率を測定するための分光システムを構築した。2)無機非線形光学結晶を超精密加工し、これを組み込んで赤外のYACレ-ザを3倍、4倍高調波である紫外光に変換する装置を製作した。3)超精密加工面の微細形状をSTMで測定するため、導電性被膜の最適化に関して研究を行ない、カ-ボンと白金の多層膜を試料にマグネトロン・スパッタ・コ-ティングすることにより、試料の表面粗さをコ-ティングにより劣化させないで、導電性の膜が作成できることを見出した。従来法である金や白金の単層膜コ-ティングでは、逆に膜厚の増加と共にコ-ティング膜面の表面粗さは劣化し、膜厚が薄いと十分な導電性が得られない。4)各種光学ガラスを超精密研削並びに超精密研磨した結果、前者では0.16nm rms、後者では0.07nm rmsの表面粗さの面が得られた。5)光学材料の各種超精密加工面をAFMで測定した結果、フロ-ト・ポリシング面が最も滑かな面であることが判明すると共にフロ-ト・ガラスの表面はAFMの測定範囲内では極めて滑かで光学研磨面よりも優れていることが判明した。6)レ-ザガラスに各種超精密加工を施し、これに大阪大学レ-ザ-核融合研究センタ-の高出力レ-ザを照射して表面のレ-ザ耐力を測定した結果、フロ-ト・ポリシング面では従来の超精密研磨面の2倍の耐力を示した。従来法の超精密光学研磨面のレ-ザ耐力低下の主要因は、加工表面のコンタミネ-ションにあることを明らかにした。
期刊论文(22)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
後藤 義隆: "有機結晶カルコンによる内部共振器型波長変換" 1992年春季第39回応用物理学関係連合講演会講演予稿集. (1992)
Yoshitaka Goto：“使用有机晶体查耳酮的内腔型波长转换”1992 年第 39 届春季应用物理会议论文集（1992 年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
難波 義治: "超精密鏡面加工と評価" 重点領域研究「X線結像光学」第11回研究会講演資料集. 21-25 (1991)
难波芳晴：《超精密镜面加工与评价》优先领域研究《X射线成像光学》第11期讲习班讲义资料（1991年）。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Y.NAMBA: "Ultra-Precision Grinding of Optical Glasses" Meeting Digest of CLEO '92. (1992)
Y.NAMBA：“光学玻璃的超精密磨削”CLEO 92 会议摘要。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
難波 義治: "各種超精密加工法によるLHGー8レ-ザガラスのレ-ザ耐力" 1991年秋季第52回応用物理学会学術講演会講演予稿集. 870 (1991)
Yoshiharu Namba：“使用各种超精密加工方法的LHG-8激光玻璃的激光证明强度”第52届日本应用物理学会学术会议记录，1991年秋季。870（1991）
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
共 22 条
    次世代高性能硬Ｘ線非球面望遠鏡の超平滑面創成
    • 批准号：
      13F03056
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $1.47万
    • 财政年份：
      2013
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    超精密ダイヤモンド工具刃先のin situナノ形状計測による超精密加工技術
    • 批准号：
      16656054
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $2.24万
    • 财政年份：
      2004
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    レーザ・フォーミング法を利用した超精密光軸調整法の開発研究
    • 批准号：
      11875016
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for Exploratory Research
    • 资助金额：
      $1.22万
    • 财政年份：
      1999
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    宇宙X線望遠鏡用反射鏡の製作とその表面評価の研究
    • 批准号：
      97F00316
    • 项目类别：
      Grant-in-Aid for JSPS Fellows
    • 资助金额：
      $0.9万
    • 财政年份：
      1998
    • 负责人：
      難波 義治
    • 依托单位：
      Chubu University
    海外基金