球面データム創成法による非球面形状の計測・評価システムの開発

使用球面基准创建方法开发非球面形状的测量和评估系统

• 批准号: 07650135
• 负责人: 高橋 正明
• 金额: $ 1.41万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07650135/
• 关键词: 球面; 非球面; 形状; 測定; 計測; 球極座標系; 精密

本研究では,球面を球極座標で測定する手法の確立をその目的としている.測定基準となる球面データムは直交する2つの高精度回転軸(超精密静圧空気軸受)により創成する.このようなデータム創成法により,単純で安価な測定機構を実現できる.開発する測定システムでは,測定機系のデータムに球面・非球面部品のデータム(形状の基準となるもので軸心や球の中心など)を一致させることが必要となるが,そのままでは不可能である.そのため,アルゴリズムによって,両データムを一致させ,測定される球面・非球面の実体を再現することを試みる.そして,再現された形状と設計情報を比較することで,形状誤差等を把握することが可能になる.現在までに測定システムのハードウェアの基本部分をほぼ完成させた.今年度購入のレーザ式変位センサは,それを取り付け,データを収集可能な状態とした.本年度の実績としては,測定機系のデータムと球面試料のデータムを一致させる,ハード的な手法について検討,報告を行った.また,ハードでは,一致しきれない設定誤差による影響(特に極近傍であらわれる不連続な段差)について検討を行い,その現象の原因をあきらかにし,さらにそれを補正する方法を確立した.さらに,赤道近傍のデータ処理を中心に球面・非球面の試料についての評価法を確立し,球面,トーラス面などの試料の評価を行った.図形表示としては,等高線表示のプログラムなどを作成し,有効なプレゼンテーションを可能とした.今後は,極近傍でのデータ処理,非接触センサおよび接触式センサを用いた場合の違いの比較・検討などについて研究を進める予定である.

In this study, で で, the spherical を polar coordinate で measurement する method <e:1> is used to establish をそ the purpose of と て て る る る. By measuring と な る spherical デ ー タ ム は rectangular す る 2 つ の high-precision back planning axis (ultra precision static 圧 empty 気 shaft by) に よ り chuang cheng す る. こ の よ う な デ ー タ ム gen diagnosis に よ り, 単 pure で Ann 価 な determination agencies を be presently で き る. Determination of open 発 す る シ ス テ ム で は, measuring machine is の デ ー タ ム に spherical, aspherical part の デ ー タ ム (shape の benchmark と な る も の や ball の で axis center な ど) を consistent さ せ る こ と が necessary と な る が, そ の ま ま で は impossible で あ る. そ の た め, ア ル ゴ リ ズ ム に よ っ て, struck デ ー タ ム を consistent さ せ, determination of さ れ る ball Surface, aspheric の be body を reappearance す る こ と を try み る. そ し て, reappearance さ れ た shape と design intelligence を compare す る こ と で, form error such as を grasp す る こ と が may に な る. Now までに determines that システム ハ ハ ドウェア ドウェア the basic part をほぼ is completed させた. Our buying の レ ー ザ type - a セ ン サ は, そ れ を り pay け, デ ー タ を 収 set may と な state し た. This year の be performance と し て は, measuring machine is の デ ー タ ム と ball interview material の デ ー タ ム を consistent さ せ る, ハ ー ド な gimmick に つ い て 検 please, report line を っ た. ま た, ハ ー ド で は, consistent し き れ な い setting error に よ る impact (especially に extremely close alongside で あ ら わ れ る not even 続 な period of poor) に つ い て 検 for line を い, そ を の の phenomenon reason あ き ら か に し, さ ら に そ れ を corrected す を る method established し た. さ ら に, close to the equator alongside の デ ー タ 処 Richard を center に spherical, aspherical の sample に つ い て を 価 の evaluation method to establish し, sphere, ト ー ラ ス surface な ど の sample の review 価 を line っ た. 図 form said と し て は, contour said の プ ロ グ ラ ム な ど を し consummate, have sharper な プ レ ゼ ン テ ー シ ョ ン を may と し た. Henceforth は, extremely close alongside で の デ ー タ 処, non-contact セ ン サ お よ び contact セ ン サ を with い た occasions の violations い の comparison, 検 beg な ど に つ い を て research into め る designated で あ る.

项目成果

高橋 正明: "球面データム創成法による非球面形状の計測・評価システムの開発" 精密工学会春季大会講演論文集. (発表予定). (1996)

高桥正明：“使用球面基准创建方法开发非球面形状的测量和评估系统”日本精密工程学会春季会议论文集（待发表）。

高橋 正明: "球極座標における球面形状計測誤差の逆解析" 精密工学会秋季大会講演論文集. 134. 565-566 (1995)

高桥正明：“球极坐标中球面形状测量误差的逆分析”日本精密工程学会秋季会议论文集 134. 565-566 (1995)。

高橋 正明: "球極座標方式による部分球面形状測定に関する研究" 設計工学会春季研究発表会講演論文集. (発表予定). (1996)

高桥正明：“使用球面极坐标法进行部分球面形状测量的研究”日本设计工程学会春季研究会议论文集（待发表）（1996）。

高橋 正明: "球極座標方式による部分球面形状計測システムの開発(第2報)" 日本設計工学会誌. (掲載待). (1996)

Masaaki Takahashi：“使用球极坐标法开发部分球形测量系统（第二次报告）”日本设计工程学会杂志（待出版）。

高橋 正明: "球極座標方式による部分球面形状計測システムの開発(第1報)" 日本設計工学会誌. 31. 33-38 (1996)

Masaaki Takahashi：“使用球极坐标系的部分球形测量系统的开发（第一次报告）”日本设计工程学会杂志 31. 33-38（1996）。