球面データム創成法による非球面形状の計測・評価システムの開発

使用球面基准创建方法开发非球面形状的测量和评估系统

• 批准号: 07650135
• 负责人: 高橋 正明
• 金额: $ 1.41万
• 依托单位: Tokyo Institute of Technology
• 依托单位国家: 日本
• 项目类别: Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
• 财政年份: 1995
• 资助国家: 日本
• 起止时间: 1995 至 无数据
• 项目状态: 已结题
• 来源: https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07650135/
• 关键词: 球面; 非球面; 形状; 測定; 計測; 球極座標系; 精密

本研究では,球面を球極座標で測定する手法の確立をその目的としている.測定基準となる球面データムは直交する2つの高精度回転軸(超精密静圧空気軸受)により創成する.このようなデータム創成法により,単純で安価な測定機構を実現できる.開発する測定システムでは,測定機系のデータムに球面・非球面部品のデータム(形状の基準となるもので軸心や球の中心など)を一致させることが必要となるが,そのままでは不可能である.そのため,アルゴリズムによって,両データムを一致させ,測定される球面・非球面の実体を再現することを試みる.そして,再現された形状と設計情報を比較することで,形状誤差等を把握することが可能になる.現在までに測定システムのハードウェアの基本部分をほぼ完成させた.今年度購入のレーザ式変位センサは,それを取り付け,データを収集可能な状態とした.本年度の実績としては,測定機系のデータムと球面試料のデータムを一致させる,ハード的な手法について検討,報告を行った.また,ハードでは,一致しきれない設定誤差による影響(特に極近傍であらわれる不連続な段差)について検討を行い,その現象の原因をあきらかにし,さらにそれを補正する方法を確立した.さらに,赤道近傍のデータ処理を中心に球面・非球面の試料についての評価法を確立し,球面,トーラス面などの試料の評価を行った.図形表示としては,等高線表示のプログラムなどを作成し,有効なプレゼンテーションを可能とした.今後は,極近傍でのデータ処理,非接触センサおよび接触式センサを用いた場合の違いの比較・検討などについて研究を進める予定である.

The purpose of this study is to establish a method for the determination of spherical polar coordinates. Measurement of reference spherical surface is a direct intersection of two high-precision rotary shaft (ultra-precision static pressure air shaft). This method is simple, simple and safe. It is necessary to determine whether the spherical and aspherical parts of the system are consistent with each other (the reference of the shape, the axis and the center of the sphere). The spherical and aspheric surfaces are measured in a consistent manner, and the spherical and aspheric surfaces are reproduced in a consistent manner. For example, the reproduction of shape and design information, comparison, shape error, etc. can be grasped. Now the basic part of the test system is complete. This year's purchase of a new type of change in the position of the original, all of which are paid, the collection of possible status. This year's performance has been consistent with the measurement of the system's data and data, and the methodology for reporting has been reviewed and reported. The causes of these phenomena are discussed and the methods for correcting them are established. In addition, the evaluation method for spherical and aspheric samples near the equator was established, and the evaluation method for spherical and aspheric samples was carried out. The shape of the contour line indicates that the contour line is formed, and the contour line is formed, and the contour line is formed. In the future, the data processing in close proximity, non-contact and contact-type data processing will be compared and discussed in the future.

项目成果

高橋 正明: "球面データム創成法による非球面形状の計測・評価システムの開発" 精密工学会春季大会講演論文集. (発表予定). (1996)

高桥正明：“使用球面基准创建方法开发非球面形状的测量和评估系统”日本精密工程学会春季会议论文集（待发表）。

高橋 正明: "球極座標における球面形状計測誤差の逆解析" 精密工学会秋季大会講演論文集. 134. 565-566 (1995)

高桥正明：“球极坐标中球面形状测量误差的逆分析”日本精密工程学会秋季会议论文集 134. 565-566 (1995)。

高橋 正明: "球極座標方式による部分球面形状測定に関する研究" 設計工学会春季研究発表会講演論文集. (発表予定). (1996)

高桥正明：“使用球面极坐标法进行部分球面形状测量的研究”日本设计工程学会春季研究会议论文集（待发表）（1996）。

高橋 正明: "球極座標方式による部分球面形状計測システムの開発(第2報)" 日本設計工学会誌. (掲載待). (1996)

Masaaki Takahashi：“使用球极坐标法开发部分球形测量系统（第二次报告）”日本设计工程学会杂志（待出版）。

高橋 正明: "球極座標方式による部分球面形状計測システムの開発(第1報)" 日本設計工学会誌. 31. 33-38 (1996)

Masaaki Takahashi：“使用球极坐标系的部分球形测量系统的开发（第一次报告）”日本设计工程学会杂志 31. 33-38（1996）。