课题基金 / 基金详情

レーザー走査顕微鏡を用いた新しいマイクロマシン作製技術の開発

レーザー走査顕微鏡を用いた新しいマイクロマシン作製技術の開発
利用激光扫描显微镜开发新型微机械制造技术
批准号：
07650309
负责人：
三澤 弘明
金额：
$1.41万
依托单位：
The University of Tokushima
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for General Scientific Research (C)
财政年份：
1995
资助国家：
日本
项目状态：
已结题
起止时间：
1995 至 --
来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-07650309/
关键词：
レーザー走査顕微鏡マイクロマシン三次元光加工光硬化性樹脂光造形法

项目摘要

项目成果

三澤 弘明的其他基金

相似基金

相关文献

中文摘要
翻译
点击翻译按钮获取中文摘要
英文摘要
高度で精緻な医療技術を必要とする医療分野において、マイクロマシンの開発の要求が高まっている。このマイクロマシンに関する研究はシリコンの微細加工技術を基軸とした研究が、現在活発に進められている。しかし、シリコン加工技術は薄膜形成とエッチングという2次元微細加工技術が基本であるため、立体的なマイクロマシンを作製することは本質的に難しい。本研究は申請者が行ってきた高分子材料とレーザーを利用したマイクロマシンに関する研究をさらに発展させ、レーザー走査顕微鏡により光硬化性樹脂に集光した高強度のレーザー光を照射し、非線形現象である二光子吸収を誘起させ、極めて高い加工分解能で三次元的にマイクロマシンを作製するという新しい光造形法を開発することを目的としている。平成7年度は水溶性および油溶性の光硬化性樹脂に355nmまたは532nmのレーザー光を照射して三次元光加工を行い、その加工分解能を評価した。励起光として532nmのピコ秒パルスレーザー光を用いた場合には、水溶性および油溶性のどちらの樹脂も光硬化はほとんど観測できなかった。一方、355nmのパルスレーザーを用いた場合は、水溶性のアクリル酸モノマーおよび油溶性のノプコキュア800、ノプコキュアL1020のいずれも光硬化が観測され、様々な形状の高分子樹脂を作製することに成功した。特に、ノプコキュア800を用いた場合には加工分解能が約1μmであり、極めて高い精度によって加工を行えることが明らかとなった。
期刊论文(10)
专著(0)
科研奖励(0)
会议论文
H. Misawa, et al.: "Laser Manipulation Technique and Its Role in Study of Micromachine" Proceedings of the International Symposium on Microsystems, Intelligent Materials and Robots. 67-70 (1995)
H. Misawa 等人：“激光操纵技术及其在微机械研究中的作用”微系统、智能材料和机器人国际研讨会论文集。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
H. Misawa, et al.: "Micrometer Size Effect upon the Viscosity of Individual Droplets Dispersed in the Oil/Water/Dodecyl Sulfate System: A Transient Absorption Microspectroscopic Study" J. Phys. Chem.99. 15192-15197 (1995)
H. Misawa 等人：“微米尺寸对分散在油/水/十二烷基硫酸盐系统中的单个液滴粘度的影响：瞬态吸收显微光谱研究”J. Phys。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
H. Misawa, et al.: "Spectroscopic and Kinetic Studies on Volume Expansion Processes of Photoresponsive Polyacrylamide Microgels in Water" Bull. Chem. Soc. Jpn.68. 3397-3402 (1995)
H. Misawa 等人：“光响应聚丙烯酰胺微凝胶在水中体积膨胀过程的光谱和动力学研究”公牛。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
H. Misawa, et al.: "LED-based Nanosecond UV-light Source for Fluorescence Lifetime Measurements" Rev. Sci. Instrum.66. 5469-5472 (1995)
H. Misawa 等人：“用于荧光寿命测量的基于 LED 的纳秒紫外光源”Rev. Sci。
DOI： --
发表时间：
期刊：
影响因子： --
作者： []
通讯作者：
Construction of an innovative photoreaction fields that possess quantum coherent strong coupling and study of its fundamental principle
  • 批准号：
    23H05464
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (S)
  • 资助金额：
    $130.71万
  • 财政年份：
    2023
  • 负责人：
    三澤 弘明
  • 依托单位：
    Hokkaido University
Development and elucidation of highly efficient photoreaction systems using a strong coupling between nanocavity and plasmon
  • 批准号：
    18H05205
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Specially Promoted Research
  • 资助金额：
    $397.45万
  • 财政年份：
    2018
  • 负责人：
    三澤 弘明
  • 依托单位：
    Hokkaido University
フォトニック結晶と結合する局在プラズモンを用いた光アンモニア合成
  • 批准号：
    17H01041
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $27.96万
  • 财政年份：
    2017
  • 负责人：
    三澤 弘明
  • 依托单位：
    Hokkaido University
金ナノ構造/酸化チタン電極界面におけるプラズモン励起電子移動プロセスの解明
  • 批准号：
    23245001
  • 项目类别：
    Grant-in-Aid for Scientific Research (A)
  • 资助金额：
    $17.22万
  • 财政年份：
    2011
  • 负责人：
    三澤 弘明
  • 依托单位：
    Hokkaido University
海外基金