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近接場顕微鏡によるナノマシニング技術の開発

利用近场显微镜开发纳米加工技术

基本信息

批准号：
09241221
负责人：
三澤弘明
金额：
$ 1.28万
依托单位：
The University of Tokushima
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas
财政年份：
1997
资助国家：
日本
起止时间：
1997 至无数据
项目状态：
已结题

项目摘要

近接場顕微鏡によるナノマシニングでは,加工対象物に応じて近接場顕微鏡に導入する光の波長,さらにはファイバープローブを適切に選択する必要がある。しかし,市販のファイバープローブではこれらの要求に十分対応することができない。そこで本研究では,ファイバープローブを作製する技術について開発を行った。ファイバープローブは,光ファイバーを炭酸ガスレーザーで局所的に加熱して引き伸ばすことにより作製する。この方法で,十分に鋭利な先端を高い再現性で得られるように,光ファイバーの前処理,加熱の強さ,引き伸ばす強さとタイミングなどについて検討した。それらの条件を変えて多数のファイバーを加工し,その先端形状や先端からの出力光のパターンを調べて,よりよい作製条件を探索した結果,使用に耐えられるようなプローブを高い再現性で得ることに成功した。さらに,この先端部の側面へアルミニウムを真空蒸着する研究も開始しており,今後実際に使用するファイバープローブを作製し,ナノマシニングに利用していく予定である。これに加えて,市販のファイバープローブを用いて近接場顕微鏡によるナノマシニングを試みた。試料としてカバーガラス上に作製したポジ型フォトレジスト薄膜を用い,近接場顕微鏡により,400nm,633nm,800nmの光を線状に照射した。これを原子間力顕微鏡により観察したところ,400nm,633nmの光を照射した試料ではその部分に線状のパターンが観察された。その線幅は約150nmであり,通常のファーフィールド光の場合の原理的な限界(回折限界)よりも高い分解能が得られることが確認された。これに対し,800nmの光を照射した試料では何も観察されなかった。そのため,観察されたパターンは,プローブの先端とフォトレジストとの物理的な接触によるものではなく,照射した光,あるいは光によるプローブ先端の発熱により形成したものと考えられる。

The wavelength of light introduced into the near-field micro-mirror is necessary for the appropriate selection of the processing object. The market is full of people. This study is aimed at developing a new technology for the production of high-quality products. The heat of the fire is the heat of the fire, and the heat of the fire is the heat of the fire. This method is very sharp and has high reproducibility. It can be used for pre-treatment, heating and stretching. The conditions for the production of the products are as follows: In this paper, the bottom surface of the tip of the vacuum evaporation research began, the future use of the vacuum evaporation control, the use of the vacuum evaporation in the predetermined time. This is the first time that a person has ever been involved in a crime. The samples were fabricated on thin films with near-field micromirrors and irradiated linearly with light at 400nm,633nm and 800nm. The atomic force microscope was used to detect the light at 400nm and 633nm. The amplitude of the line is about 150nm. Usually, the principle of the light is limited (folded limit). The high resolution energy can be obtained. For example,800nm light is used to illuminate the sample. The first step is to open the door, open the door.