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近接場顕微鏡によるナノマシシング技術の開発

利用近场显微镜开发纳米加工技术

基本信息

批准号：
10135221
负责人：
三澤弘明
金额：
$ 1.15万
依托单位：
The University of Tokushima
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research on Priority Areas (A)
财政年份：
1998
资助国家：
日本
起止时间：
1998 至无数据
项目状态：
已结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/grant/KAKENHI-PROJECT-10135221/
关键词：
近接場顕微鏡 NSOM マイクロマシン微粒子ペリレン

项目摘要

現在,マイクロマシンの加工技術としては,半導体加工技術を応用したフォトリソグラフィーや,LIGAプロセスなどが主に用いられている。しかし,これらの加工装置は非常に大がかりであり,しかもその分解能は光の波長によって制限される。近接場顕微鏡による加工技術が確立されれば,比較的簡便な装置で,光の波長による制約を超えて100nmよりも小さな加工が可能となり,マイクロマシンの作製に大きな進歩を与えることができる。加工技術を発達させるには,加工したものを観察・評価し,加工技術にフィードバックさせることが必要不可欠である。近接場顕微鏡による加工を評価する場合は,ナノスケールの分解能が必要である。そのような形状観察法としては電子顕微鏡や原子間力顕微鏡などが挙げられるが,これらは形状観察は可能だがそれ以外の物性の測定はできない。そこで,加工を行った近接場顕微鏡そのもので評価することが非常に有効であると考えられる。この方法では,偏光などの光物性の測定ができ,分解能も加工法に対応しており,しかも観測の際の位置決めが極めて簡単という利点がある。偏光の測定は,ポリマーなどの加工を行う際には非常に重要である。そこで今年度は,加工の評価装置という観点から,近接場顕微鏡を使って偏光測定を中心とする微小物体の分光測定を行った。試料としては,数ナノメートルの細孔を持つハニカム構造を有する直径〜200nmのシリケイト微粒子を用いた。細孔中にCVD法を用いて蛍光色素であるペリレン分子を集積化させ,個々の微粒子の蛍光スペクトルや蛍光強度の偏光依存性を検討した。その結果,微粒子ごとに蛍光スペクトルに違いがあることが明らかになった。これはペリレン分子の集積量の違いを反映している。また,偏光依存性にも微粒子ごとに違いがみられた。これは細孔内での分子の規則的な配列に起因すると思われるが,これが観測できたことから,現有する近接場顕微鏡は加工の評価に使用可能と考えられる。

At present, the semiconductor processing technology is used in the main application of LIGA. The processing equipment is very large, and the decomposition energy is limited by the wavelength of light. The processing technology of near-field micromirrors has been established, and the device is relatively simple. The wavelength of light is restricted to 100nm. The processing of small mirrors is possible. Processing technology development, processing, inspection, evaluation, processing technology development, inspection, evaluation and evaluation In the case of near field micromirrors, the decomposition energy is necessary for evaluation. The shape observation method also includes the measurement of physical properties other than electron micromirrors and interatomic force micromirrors. The processing of micromirrors in the near field is very important. This method is used to determine the optical properties of polarized light, decomposition energy and processing method. Polarization measurement is very important during processing. This year, the evaluation device of the processing point, the near field microscope to make the polarization measurement center, the spectroscopic measurement of small objects. The sample has a fine pore structure with a diameter of ~ 200nm and a fine particle structure. The polarization dependence of the fluorescence intensity of the micro-particles was investigated by using the CVD method. As a result, the particles are not visible. The concentration of these molecules is reflected in the reaction. Polarization-dependent micro-particles. The reason for the regular arrangement of molecules in the pores is that the existing near-field micromirrors can be used for evaluation.