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Anion engineering of atomically- thin oxide sheets and development of dielectric materials for next-generation electric devices

原子薄氧化物片的阴离子工程和下一代电子器件介电材料的开发

基本信息

批准号：
22H01907
负责人：
小林亮
金额：
$ 11.4万
依托单位：
Nagoya University
依托单位国家：
日本
项目类别：
Grant-in-Aid for Scientific Research (B)
财政年份：
2022
资助国家：
日本
起止时间：
2022-04-01 至 2026-03-31
项目状态：
未结题

来源：
https://kaken.nii.ac.jp/en/grant/KAKENHI-PROJECT-22H01907/
关键词：
ナノシート酸窒化物酸フッ化物誘電体原子膜原子層材料

项目摘要

2022年度は，（１）窒化度を制御した酸窒化チタンおよび酸窒化ペロブスカイトナノシートの合成方法の検討，（２）酸フッ化ペロブスカイト固溶体ナノシートの合成，（３）ナノシートの電子構造評価，を実施した．（１）前駆層状化合物の窒化条件を変えることでその剥離によって得られるナノシートの窒化度制御を試みた．酸窒化チタンでは，合成条件による窒化度の違いはほとんど見られなかった一方で，酸窒化ペロブスカイトでは，窒化時に加える炭酸塩の量を増加させると，窒化度が高くなることが確認された．また窒化処理により，剥離が容易なDion-Jacobson相から剥離が困難なRuddlesden-Popper相への転移が窒化と共に進行するが，洗浄によりDion-Jacobson相へ戻ることが明らかとなった．これら一連の実験により，窒化度を制御した単結晶性酸窒化ペロブスカイトナノシートの合成に成功した．（２）既報のSrNb2O6F－ナノシートの合成を参考にし，(Ca, Sr)(Nb, Ta)2O6F－ナノシートの合成を試みた．合成条件の調節することにより，SrTa2O6F－ナノシートを作製に成功し，また，Nb体と同様に，そのコロイド溶液が，近紫外領域に発光を示すことが示唆された．Ca体においては異相が析出してしまうことから，合成条件の更なる検討が必要であった．（３）導電性基板に積層させたナノシートを用いて，紫外および逆光電子分光，反射電子エネルギー分光による電子構造評価を試みた．膜厚が薄い場合は基板の影響が，膜厚が厚い場合はチャージアップによる影響が確認された．加えて，文献調査などにより，基板とシートの相互作用による影響も加味しなければならないことが示唆され，更なる検討が必要であることが明らかとなった．

In 2022, (1) the degree of asphyxiation, (1) the degree of as (1) the asphyxiation condition of the precursor compound, the asphyxiation condition, the temperature, the temperature and the temperature. The degree of asphyxiation is very high. The temperature is very high. The temperature is very high. It is easy to remove the Dion-Jacobson phase. The Ruddlesden-Popper phase is removed. The Ruddlesden-Popper phase is removed. The asphyxiation rate is high. Wash the Dion-Jacobson phase to determine the temperature. The degree of asphyxiation was determined by the degree of asphyxiation. The synthesis was successful. (2) both SrNb2O6F- and Nb were synthesized successfully. (Ca, Sr) (Nb, Ta) 2O6F-maleic acid was synthesized successfully. The synthesis conditions were successful, and the Nb compounds were successfully synthesized. In the near-ultraviolet field, the temperature of the solution is sensitive to the temperature of the solution, and the near-ultraviolet field shows that the phase precipitates out of the solution, and the synthesis conditions are more effective. (3) the electrical substrate is active in the temperature field, and the reverse photoelectron spectroscopy is used in UV spectroscopy. Reflective electrons, spectroscopic devices, electronic devices, electronic devices, thin film thickness, thin film, thin film, thin film, Please tell me that it is necessary to tell you that it is necessary to tell you that it is necessary to do so.